對檢漏(lou)(lou)方法的(de)要求(qiu)：穩定性好，即(ji)可以(yi)(yi)在(zai)足夠長時(shi)間內(nei)靈敏度；所用(yong)“示蹤氣(qi)體(ti)”在(zai)空(kong)氣(qi)中(zhong)含量低(di)，***，充氣(qi)柜(ju)檢漏(lou)(lou)，不腐蝕零件；氦質譜(pu)檢漏(lou)(lou)主要領域：空(kong)調(diao)(diao)制冷(leng)工業——壓縮機、冷(leng)凝器、蒸發器及閥(fa)門等(deng)；真空(kong)科學(xue)與工業——泵、閥(fa)門、真空(kong)規管(guan)以(yi)(yi)及鍍膜(mo)機、真空(kong)爐(lu)等(deng)真空(kong)系統；對于容積較小的(de)部件，如波紋管(guan)、各(ge)種充氣(qi)接(jie)頭和氣(qi)管(guan)焊接(jie)件等(deng)，采用(yong)氦罩法被檢工件抽空(kong)，檢漏(lou)(lou)儀調(diao)(diao)到漏(lou)(lou)率(lv)（10-11Pa.m3/s），然后對氦罩沖(chong)氦。

儀(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)器(qi)工作在(zai)(zai)穩定的(de)(de)(de)狀態，在(zai)(zai)儀(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)器(qi)的(de)(de)(de)檢(jian)(jian)漏(lou)口噴一定量的(de)(de)(de)氦(hai)(hai)(hai)氣(qi)， 分別(bie)采(cai)取持(chi)續抽、空氣(qi)清(qing)(qing)氦(hai)(hai)(hai)、氮(dan)氣(qi)清(qing)(qing)氦(hai)(hai)(hai)的(de)(de)(de)清(qing)(qing)氦(hai)(hai)(hai)方式(shi)，儀(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)器(qi)再按(an)開始鍵，記錄清(qing)(qing)氦(hai)(hai)(hai)所(suo)需時間。而通過實驗(yan)表明，利用氮(dan)氣(qi)來清(qing)(qing)氦(hai)(hai)(hai)的(de)(de)(de)效率是高的(de)(de)(de)。鑒于儀(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)器(qi)在(zai)(zai)檢(jian)(jian)漏(lou)的(de)(de)(de)過程中氮(dan)氣(qi)清(qing)(qing)氦(hai)(hai)(hai)的(de)(de)(de)性，對(dui)(dui)儀(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)器(qi)的(de)(de)(de)系統(tong)進(jin)行(xing)改進(jin)。增(zeng)加清(qing)(qing)氦(hai)(hai)(hai)電磁閥。在(zai)(zai)氦(hai)(hai)(hai)質譜(pu)檢(jian)(jian)漏(lou)儀(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)中增(zeng)加氮(dan)氣(qi)清(qing)(qing)洗設(she)置(zhi)，有(you)效的(de)(de)(de)避免了在(zai)(zai)檢(jian)(jian)漏(lou)過程中，氦(hai)(hai)(hai)氣(qi)殘留對(dui)(dui)儀(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)器(qi)檢(jian)(jian)測靈敏度的(de)(de)(de)影響(xiang)，另外儀(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)器(qi)控制(zhi)中還可以(yi)增(zeng)加大漏(lou)保(bao)護設(she)置(zhi)，即儀(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)器(qi)在(zai)(zai)檢(jian)(jian)測到(dao)大漏(lou)時，儀(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)器(qi)自動(dong)停止，防止大量氦(hai)(hai)(hai)氣(qi)再進(jin)入(ru)儀(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)器(qi)中。再者將前級泵換(huan)成干泵也是不錯的(de)(de)(de)選擇，利于對(dui)(dui)儀(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)器(qi)的(de)(de)(de)清(qing)(qing)氦(hai)(hai)(hai)，保(bao)證(zheng)儀(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)器(qi)檢(jian)(jian)測的(de)(de)(de)高靈敏度。

氦質譜檢(jian)(jian)(jian)漏(lou)(lou)儀(yi)在(zai)管(guan)(guan)道檢(jian)(jian)(jian)測方(fang)面(mian)有兩種檢(jian)(jian)(jian)測方(fang)法，負(fu)(fu)壓(ya)(ya)法和正壓(ya)(ya)法，一般化工(gong)管(guan)(guan)道采(cai)用(yong)的(de)是(shi)負(fu)(fu)壓(ya)(ya)法。負(fu)(fu)壓(ya)(ya)法就是(shi)常(chang)說的(de)抽真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)，這是(shi)氦質譜檢(jian)(jian)(jian)漏(lou)(lou)儀(yi)常(chang)用(yong)的(de)檢(jian)(jian)(jian)漏(lou)(lou)方(fang)法。氦質譜檢(jian)(jian)(jian)漏(lou)(lou)主(zhu)要領域(yu)：空(kong)調制冷工(gong)業——壓(ya)(ya)縮機、冷凝器(qi)、蒸發器(qi)及閥(fa)(fa)門等；真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)科學與工(gong)業——泵、閥(fa)(fa)門、真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)規(gui)管(guan)(guan)以及鍍膜機、真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)爐等真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)系統；對于體(ti)積較大的(de)工(gong)件，采(cai)用(yong)背壓(ya)(ya)發，按照工(gong)件體(ti)積的(de)大小(xiao)試用(yong)不同大小(xiao)的(de)檢(jian)(jian)(jian)漏(lou)(lou)罐(guan)。通常(chang)把被檢(jian)(jian)(jian)工(gong)件沖入0.6MPa的(de)純氦或氦（含(han)量30%）-氮混合(he)氣體(ti)，然(ran)后(hou)放入檢(jian)(jian)(jian)漏(lou)(lou)罐(guan)中。