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（1)泵總體(ti)結(jie)構型式真空泵的(de)泵體(ti)的(de)布置結(jie)構決定了泵的(de)總體(ti)結(jie)構。立式結(jie)構的(de)進、排(pai)氣口水平設置，裝配和連(lian)接管路(lu)都比較方便。但(dan)泵的(de)較高，在高速(su)運轉時穩定性差，故這種型式多用于小泵。

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雙螺和多螺下面以三螺桿為例。它主要是由固定在泵體中的襯套（泵缸）以及安插在泵缸中的主動螺桿和與其嚙合的兩根從動螺桿所組成。三根互相嚙合的螺桿，在泵缸內按每個導程形成為一個密封腔，EGE液位控制器，造成吸排口之間的密封。

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根據(ju)對市場(chang)需求的調研，我們對控制(zhi)器設定的主要設計參數和(he)預(yu)期目標為(wei):(l)泵的單(dan)個(ge)住(zhu)復(fu)行程(cheng)的排量(liang)為(wei)100ml:(2)輸出脈沖當量(liang)為(wei)Imm3/脈沖內可調;(3)額定壓(ya)力為(wei)6.3MaP，小(xiao)控制(zhi)壓(ya)力為(wei)0.IMaP:(4)壓(ya)力精度小(xiao)于(yu)(yu)1%;(5)0一IMaP調整(zheng)時間小(xiao)于(yu)(yu)100ms(6)容積效率大于(yu)(yu)97%。泵體設計