定(ding)片式(shi)真(zhen)空泵(beng)(beng)：在泵(beng)(beng)殼(ke)(ke)內(nei)(nei)裝(zhuang)有一個(ge)(ge)(ge)與泵(beng)(beng)內(nei)(nei)表(biao)面靠近的偏心轉子，泵(beng)(beng)殼(ke)(ke)上裝(zhuang)有一個(ge)(ge)(ge)始終與轉子表(biao)面接觸的徑向滑(hua)片，當轉子旋轉時(shi)，滑(hua)片能上下滑(hua)動(dong)將(jiang)泵(beng)(beng)腔(qiang)分(fen)成兩個(ge)(ge)(ge)可(ke)變容積。余擺線式(shi)真(zhen)空泵(beng)(beng)：在泵(beng)(beng)腔(qiang)內(nei)(nei)偏心裝(zhuang)有一個(ge)(ge)(ge)型線為余擺線的轉子，它沿泵(beng)(beng)腔(qiang)內(nei)(nei)壁轉動(dong)并將(jiang)泵(beng)(beng)腔(qiang)分(fen)成兩個(ge)(ge)(ge)可(ke)變容積。多(duo)室旋片式(shi)真(zhen)空泵(beng)(beng)：在一個(ge)(ge)(ge)泵(beng)(beng)殼(ke)(ke)內(nei)(nei)并聯裝(zhuang)有由同一個(ge)(ge)(ge)電動(dong)機驅(qu)動(dong)的多(duo)個(ge)(ge)(ge)獨立(li)工(gong)作(zuo)室的旋片真(zhen)空泵(beng)(beng)。

分(fen)(fen)(fen)(fen)子(zi)(zi)(zi)泵(beng)(beng)(beng)(beng)：分(fen)(fen)(fen)(fen)子(zi)(zi)(zi)泵(beng)(beng)(beng)(beng)在國(guo)外(wai)半導(dao)體(ti)領域里的(de)(de)(de)許(xu)多(duo)工藝場合(he)(he)是用來代替低(di)(di)(di)溫(wen)(wen)泵(beng)(beng)(beng)(beng)，尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fu)合(he)(he)分(fen)(fen)(fen)(fen)子(zi)(zi)(zi)泵(beng)(beng)(beng)(beng)和牽引泵(beng)(beng)(beng)(beng)作為主泵(beng)(beng)(beng)(beng)。由于分(fen)(fen)(fen)(fen)子(zi)(zi)(zi)泵(beng)(beng)(beng)(beng)對水蒸氣(qi)(qi)的(de)(de)(de)抽(chou)速僅(jin)為同(tong)口徑低(di)(di)(di)溫(wen)(wen)泵(beng)(beng)(beng)(beng)抽(chou)速的(de)(de)(de)四分(fen)(fen)(fen)(fen)之(zhi)一(yi)，所以(yi)分(fen)(fen)(fen)(fen)子(zi)(zi)(zi)泵(beng)(beng)(beng)(beng)的(de)(de)(de)排氣(qi)(qi)時間(jian)比低(di)(di)(di)溫(wen)(wen)泵(beng)(beng)(beng)(beng)長。為了(le)提(ti)高抽(chou)速，國(guo)外(wai)在分(fen)(fen)(fen)(fen)子(zi)(zi)(zi)泵(beng)(beng)(beng)(beng)的(de)(de)(de)入口側裝一(yi)個-130℃～-150℃的(de)(de)(de)低(di)(di)(di)溫(wen)(wen)冷板，稱之(zhi)為低(di)(di)(di)溫(wen)(wen)分(fen)(fen)(fen)(fen)子(zi)(zi)(zi)泵(beng)(beng)(beng)(beng)，水蒸氣(qi)(qi)被低(di)(di)(di)溫(wen)(wen)板捕獲，其他(ta)氣(qi)(qi)體(ti)則由分(fen)(fen)(fen)(fen)子(zi)(zi)(zi)泵(beng)(beng)(beng)(beng)抽(chou)走。這種低(di)(di)(di)溫(wen)(wen)分(fen)(fen)(fen)(fen)子(zi)(zi)(zi)泵(beng)(beng)(beng)(beng)在真空鍍膜(mo)裝置上應(ying)(ying)用，既提(ti)高了(le)生產效(xiao)率(lv)又改善了(le)膜(mo)層(ceng)質量。隨著中國(guo)半導(dao)體(ti)工業、薄膜(mo)產業和科學研究事(shi)業迅速發展，分(fen)(fen)(fen)(fen)子(zi)(zi)(zi)泵(beng)(beng)(beng)(beng)應(ying)(ying)該是中國(guo)真空泵(beng)(beng)(beng)(beng)制(zhi)造業發展的(de)(de)(de)重點。首(shou)先，分(fen)(fen)(fen)(fen)子(zi)(zi)(zi)泵(beng)(beng)(beng)(beng)要(yao)從小到大(da)建立完整系列，以(yi)滿足不同(tong)場合(he)(he)的(de)(de)(de)需要(yao)。

多級(ji)離心真(zhen)(zhen)空(kong)泵(beng)進水(shui)(shui)口與(yu)彎頭直(zhi)(zhi)接相連(lian)　　這樣會(hui)使水(shui)(shui)流通過彎頭進入葉輪時(shi)散布不均。當進水(shui)(shui)管(guan)(guan)直(zhi)(zhi)徑(jing)(jing)大于(yu)水(shui)(shui)真(zhen)(zhen)空(kong)泵(beng)進水(shui)(shui)口時(shi)，應裝置偏(pian)(pian)疼變(bian)徑(jing)(jing)管(guan)(guan)。偏(pian)(pian)疼變(bian)徑(jing)(jing)管(guan)(guan)平面(mian)(mian)有(you)些要裝在(zai)上(shang)面(mian)(mian)，斜面(mian)(mian)有(you)些裝在(zai)下面(mian)(mian)。不然集(ji)合空(kong)氣，出水(shui)(shui)量削減或抽不上(shang)水(shui)(shui)，并有(you)撞擊(ji)聲(sheng)等。若進水(shui)(shui)管(guan)(guan)與(yu)水(shui)(shui)真(zhen)(zhen)空(kong)泵(beng)進水(shui)(shui)口直(zhi)(zhi)徑(jing)(jing)持(chi)平時(shi)，應在(zai)水(shui)(shui)真(zhen)(zhen)空(kong)泵(beng)進水(shui)(shui)口和(he)彎頭之間加一(yi)向管(guan)(guan)，直(zhi)(zhi)管(guan)(guan)長度不得小于(yu)水(shui)(shui)管(guan)(guan)直(zhi)(zhi)徑(jing)(jing)的2～3倍。