石英(ying)(ying)撓(nao)(nao)性(xing)(xing)(xing)加(jia)(jia)速(su)度(du)計是一種精(jing)(jing)密(mi)儀表，根據(ju)應(ying)用(yong)(yong)領域的(de)(de)(de)(de)(de)(de)不同和(he)性(xing)(xing)(xing)能(neng)參數的(de)(de)(de)(de)(de)(de)差異(yi)可以(yi)(yi)(yi)分(fen)(fen)為多(duo)種類(lei)型(xing)。以(yi)(yi)(yi)下是對其類(lei)型(xing)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)歸納(na)：1.**按應(ying)用(yong)(yong)領域分(fen)(fen)類(lei)**：主要(yao)(yao)(yao)包括船(chuan)用(yong)(yong)、航(hang)(hang)空航(hang)(hang)天(tian)(tian)用(yong)(yong)以(yi)(yi)(yi)及(ji)(ji)車載(zai)等(deng)(deng)幾種類(lei)型(xing)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)石英(ying)(ying)撓(nao)(nao)性(xing)(xing)(xing)加(jia)(jia)速(su)度(du)計。**應(ying)用(yong)(yong)于船(chuan)舶領域**，尤其是水下環境(jing)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)設(she)備對姿態要(yao)(yao)(yao)求高且需(xu)要(yao)(yao)(yao)長時(shi)間(jian)運行(xing)慣性(xing)(xing)(xing)導航(hang)(hang)設(she)備；而**用(yong)(yong)于航(hang)(hang)空航(hang)(hang)天(tian)(tian)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)產(chan)(chan)品則要(yao)(yao)(yao)求量程(cheng)較大但連續運行(xing)時(shi)間(jian)相對較短**。此外(wai)，**車載(zai)用(yong)(yong)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)石英(ying)(ying)撓(nao)(nao)性(xing)(xing)(xing)加(jia)(jia)速(su)度(du)計的(de)(de)(de)(de)(de)(de)精(jing)(jing)度(du)要(yao)(yao)(yao)求和(he)工作環境(jing)又有所不同**。因此需(xu)要(yao)(yao)(yao)根據(ju)具(ju)體(ti)(ti)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)應(ying)用(yong)(yong)場景進(jin)(jin)行(xing)選擇以(yi)(yi)(yi)確保設(she)備的(de)(de)(de)(de)(de)(de)穩(wen)定(ding)性(xing)(xing)(xing)和(he)可靠性(xing)(xing)(xing)。。2.**JHT-I系列(lie)分(fen)(fen)類(lei)產(chan)(chan)品介紹**：包括JHT-I-H/A/B/C系列(lie)等(deng)(deng)在(zai)(zai)內的(de)(de)(de)(de)(de)(de)多(duo)種型(xing)號，如(ru)JHTI-A型(xing)適用(yong)(yong)于高精(jing)(jing)度(du)慣導系統(tong)(tong)和(he)高精(jing)(jing)度(du)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)靜態角(jiao)度(du)測量系統(tong)(tong)中；JHT-IB則廣泛應(ying)用(yong)(yong)在(zai)(zai)各類(lei)物體(ti)(ti)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)姿態測量和(he)導航(hang)(hang)系統(tong)(tong)中等(deng)(deng)不同類(lei)型(xing)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)設(she)備和(he)場景中等(deng)(deng)等(deng)(deng)（注意在(zai)(zai)實(shi)際應(ying)用(yong)(yong)中可能(neng)還有其他細分(fen)(fen)類(lei)型(xing)和(he)品牌）。這些不同類(lei)型(xing)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)產(chan)(chan)品在(zai)(zai)偏置穩(wen)定(ding)性(xing)(xing)(xing)、標度(du)因數以(yi)(yi)(yi)及(ji)(ji)其他性(xing)(xing)(xing)能(neng)指(zhi)標上可能(neng)存(cun)在(zai)(zai)一定(ding)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)差異(yi)以(yi)(yi)(yi)滿足特(te)定(ding)用(yong)(yong)戶的(de)(de)(de)(de)(de)(de)需(xu)求。綜(zong)上所述在(zai)(zai)選擇合適的(de)(de)(de)(de)(de)(de)石英(ying)(ying)柔性(xing)(xing)(xing)加(jia)(jia)速(su)度(du)計時(shi)需(xu)要(yao)(yao)(yao)充分(fen)(fen)考慮(lv)到具(ju)體(ti)(ti)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)應(ying)用(yong)(yong)場景以(yi)(yi)(yi)及(ji)(ji)各項性(xing)(xing)(xing)能(neng)指(zhi)標等(deng)(deng)因素進(jin)(jin)行(xing)綜(zong)合考慮(lv)后再做出選擇

石(shi)英(ying)撓(nao)(nao)性(xing)(xing)加速度計(ji)是(shi)一種精(jing)密(mi)測量(liang)設備，其制作(zuo)工藝(yi)主(zhu)要(yao)包括以下幾個(ge)步驟(zou)：1.材(cai)料準備：選(xuan)(xuan)用高(gao)質量(liang)的(de)(de)(de)(de)(de)單晶(jing)(jing)硅或(huo)(huo)石(shi)英(ying)晶(jing)(jing)體作(zuo)為基礎(chu)材(cai)料，因其優異(yi)的(de)(de)(de)(de)(de)機械性(xing)(xing)能(neng)和穩定(ding)性(xing)(xing)。2.晶(jing)(jing)體切(qie)(qie)割(ge)：將(jiang)(jiang)選(xuan)(xuan)定(ding)的(de)(de)(de)(de)(de)晶(jing)(jing)體按照設計(ji)要(yao)求進(jin)行(xing)切(qie)(qie)割(ge)，形成(cheng)薄(bo)而(er)柔韌的(de)(de)(de)(de)(de)薄(bo)片(pian)，即撓(nao)(nao)性(xing)(xing)基片(pian)。3.薄(bo)膜沉(chen)積(ji)：在(zai)基片(pian)上(shang)沉(chen)積(ji)一層或(huo)(huo)多層敏感膜，如(ru)壓電(dian)(dian)材(cai)料，使其能(neng)夠(gou)將(jiang)(jiang)加速度轉化(hua)為電(dian)(dian)信號。4.制作(zuo)敏感結(jie)構：通過(guo)(guo)光刻技術，地(di)在(zai)薄(bo)膜上(shang)形成(cheng)微(wei)米級的(de)(de)(de)(de)(de)敏感梁或(huo)(huo)懸臂結(jie)構，這些結(jie)構對微(wei)小的(de)(de)(de)(de)(de)加速度變化(hua)非(fei)常敏感。5.接線和封裝(zhuang)(zhuang)：將(jiang)(jiang)電(dian)(dian)極連接到敏感結(jie)構，然后將(jiang)(jiang)其封裝(zhuang)(zhuang)在(zai)防震、防塵的(de)(de)(de)(de)(de)外殼內，以保(bao)護內部元件(jian)不受(shou)外界(jie)干擾。6.精(jing)度調(diao)整與測試：通過(guo)(guo)精(jing)密(mi)的(de)(de)(de)(de)(de)工藝(yi)調(diao)整，確(que)保(bao)各部分的(de)(de)(de)(de)(de)精(jing)度，并進(jin)行(xing)的(de)(de)(de)(de)(de)性(xing)(xing)能(neng)測試，包括靜態(tai)和動(dong)態(tai)特性(xing)(xing)測試。整個(ge)過(guo)(guo)程需要(yao)高(gao)精(jing)度的(de)(de)(de)(de)(de)設備和嚴格的(de)(de)(de)(de)(de)工藝(yi)控制，以保(bao)證石(shi)英(ying)撓(nao)(nao)性(xing)(xing)加速度計(ji)的(de)(de)(de)(de)(de)高(gao)精(jing)度和可靠(kao)性(xing)(xing)。

12.24 μg?石英(ying)(ying)撓性(xing)(xing)(xing)加(jia)速(su)度(du)(du)(du)(du)(du)計(ji)的(de)(de)(de)響應(ying)度(du)(du)(du)(du)(du)（精(jing)度(du)(du)(du)(du)(du)）通(tong)(tong)常在12.24 μg左右(you)?。實驗結果表明(ming)，改進后的(de)(de)(de)數字閉環(huan)檢測(ce)(ce)系統(tong)(tong)(tong)（DCLA系統(tong)(tong)(tong)）精(jing)度(du)(du)(du)(du)(du)由65.49 μg提(ti)(ti)高(gao)到12.24 μg，與(yu)理論(lun)精(jing)度(du)(du)(du)(du)(du)基本一(yi)致，這充分驗證(zheng)了理論(lun)分析(xi)方法的(de)(de)(de)正(zheng)確(que)性(xing)(xing)(xing)，并為(wei)(wei)進一(yi)步改善和優化加(jia)速(su)度(du)(du)(du)(du)(du)計(ji)系統(tong)(tong)(tong)提(ti)(ti)供了指導和依據?1。石英(ying)(ying)撓性(xing)(xing)(xing)加(jia)速(su)度(du)(du)(du)(du)(du)計(ji)的(de)(de)(de)工作原理基于牛頓第二運動(dong)定(ding)律(lv)，即(ji)力(li)(li)(li)等于質(zhi)量乘以(yi)(yi)加(jia)速(su)度(du)(du)(du)(du)(du)。當(dang)加(jia)速(su)度(du)(du)(du)(du)(du)計(ji)感(gan)(gan)應(ying)到加(jia)速(su)度(du)(du)(du)(du)(du)輸入時，敏感(gan)(gan)質(zhi)量塊(kuai)因慣(guan)性(xing)(xing)(xing)效應(ying)產生位(wei)移，石英(ying)(ying)振梁加(jia)速(su)度(du)(du)(du)(du)(du)計(ji)價格，該位(wei)移通(tong)(tong)過撓性(xing)(xing)(xing)支承引發力(li)(li)(li)矩(ju)。這個(ge)(ge)力(li)(li)(li)矩(ju)驅動(dong)與(yu)力(li)(li)(li)矩(ju)器(qi)相連(lian)的(de)(de)(de)線(xian)圈在磁場中受(shou)到電磁力(li)(li)(li)，從而產生一(yi)個(ge)(ge)與(yu)輸入加(jia)速(su)度(du)(du)(du)(du)(du)成正(zheng)比(bi)的(de)(de)(de)反饋(kui)力(li)(li)(li)，使(shi)敏感(gan)(gan)質(zhi)量塊(kuai)恢復平衡。通(tong)(tong)過測(ce)(ce)定(ding)這個(ge)(ge)反饋(kui)力(li)(li)(li)，可(ke)以(yi)(yi)地確(que)定(ding)加(jia)速(su)度(du)(du)(du)(du)(du)的(de)(de)(de)數值?。石英(ying)(ying)撓性(xing)(xing)(xing)加(jia)速(su)度(du)(du)(du)(du)(du)計(ji)具有高(gao)精(jing)度(du)(du)(du)(du)(du)、高(gao)穩定(ding)性(xing)(xing)(xing)和良好的(de)(de)(de)環(huan)境適應(ying)性(xing)(xing)(xing)，廣(guang)泛應(ying)用于慣(guan)性(xing)(xing)(xing)導航、航空航天、車(che)輛動(dong)態控制(zhi)以(yi)(yi)及精(jing)密測(ce)(ce)量系統(tong)(tong)(tong)中。其(qi)部件包(bao)括敏感(gan)(gan)質(zhi)量塊(kuai)、撓性(xing)(xing)(xing)支承、力(li)(li)(li)矩(ju)器(qi)和伺(si)服控制(zhi)系統(tong)(tong)(tong)。石英(ying)(ying)材料的(de)(de)(de)高(gao)硬度(du)(du)(du)(du)(du)、高(gao)彈性(xing)(xing)(xing)模(mo)量、低溫(wen)度(du)(du)(du)(du)(du)系數以(yi)(yi)及良好的(de)(de)(de)壓電效應(ying)使(shi)其(qi)成為(wei)(wei)制(zhi)造(zao)高(gao)精(jing)度(du)(du)(du)(du)(du)加(jia)速(su)度(du)(du)(du)(du)(du)計(ji)的(de)(de)(de)理想選擇?。