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TEM系統由以(yi)下幾部分組(zu)成(cheng)
電(dian)子(zi)(zi):發射(she)(she)電(dian)子(zi)(zi),由陰極(ji)(ji)(ji)、柵極(ji)(ji)(ji)、陽極(ji)(ji)(ji)組成(cheng)。陰極(ji)(ji)(ji)管發射(she)(she)的電(dian)子(zi)(zi)通過柵極(ji)(ji)(ji)上的小孔形成(cheng)射(she)(she)線(xian)束,經(jing)陽極(ji)(ji)(ji)電(dian)壓(ya)加速后射(she)(she)向聚光鏡,起到對(dui)電(dian)子(zi)(zi)束加速、加壓(ya)的作用。
聚(ju)光鏡:將(jiang)電子束聚(ju)集,可用已控(kong)制(zhi)照明強度(du)和(he)孔徑角。
樣品(pin)室:放置待觀察的樣品(pin),并裝有傾轉臺,用以改變(bian)試樣的角度(du),還有裝配加(jia)熱、冷卻等設(she)備。
物鏡:為放大率(lv)很高的(de)短(duan)距透鏡,作用是(shi)放大電(dian)子像。物鏡是(shi)決定透射電(dian)子顯微(wei)鏡分(fen)辨能力和成(cheng)像質(zhi)量的(de)關(guan)鍵。
中間鏡:為可變倍(bei)的弱(ruo)透鏡,作用是對電子(zi)像進(jin)行二(er)次放大(da)。通(tong)過調節中間鏡的電流,可選(xuan)擇物體的像或(huo)電子(zi)衍射圖(tu)來進(jin)行放大(da)。
透射鏡:為高倍的強透鏡,用來放大中間像后在熒光屏上成像。此外還有二級真空泵來對樣品室抽真空、照相裝置用以記錄影像。
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