氣體質量(liang)流(liu)量(liang)控制器在真空鍍膜機中(zhong)的使用

真空鍍膜機中經常使(shi)用(yong)到(dao)的(de)(de)(de)(de)(de)熱式氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)質(zhi)量(liang)流量(liang)控制器主要是用(yong)來控制氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)的(de)(de)(de)(de)(de)進氣(qi)(qi)(qi)量(liang)，把氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)流量(liang)準確的(de)(de)(de)(de)(de)輸(shu)入到(dao)真空腔室內。AC-S030C系列的(de)(de)(de)(de)(de)氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)質(zhi)量(liang)流量(liang)控制器主要是用(yong)于控制微小流量(liang)的(de)(de)(de)(de)(de)氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)，采用(yong)全新的(de)(de)(de)(de)(de)制作工(gong)藝(yi)，是在20℃，1個大氣(qi)(qi)(qi)壓條(tiao)件下標定的(de)(de)(de)(de)(de)，主要是指氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)在1分鐘的(de)(de)(de)(de)(de)體(ti)(ti)(ti)積流量(liang)單位。

熱式氣體質量流量計

熱(re)(re)(re)式流量計傳(chuan)(chuan)感(gan)(gan)器(qi)包含兩個(ge)傳(chuan)(chuan)感(gan)(gan)元件(jian)，一個(ge)速度(du)傳(chuan)(chuan)感(gan)(gan)器(qi)和(he)一個(ge)溫度(du)傳(chuan)(chuan)感(gan)(gan)器(qi)。它(ta)們自動地補(bu)償和(he)校正(zheng)氣(qi)體溫度(du)變化。儀表(biao)的電加熱(re)(re)(re)部分將速度(du)傳(chuan)(chuan)感(gan)(gan)器(qi)加熱(re)(re)(re)到高于工況溫度(du)的某一個(ge)定值，使速度(du)傳(chuan)(chuan)感(gan)(gan)器(qi)和(he)測量工況溫度(du)的傳(chuan)(chuan)感(gan)(gan)器(qi)之間形(xing)成恒(heng)定溫差。當(dang)保(bao)持溫差不變時，電加熱(re)(re)(re)消(xiao)耗的能量，也可以說熱(re)(re)(re)消(xiao)散值，與(yu)流過(guo)氣(qi)體的質量流量成正(zheng)比。

質量流量控制器

蒸發鍍(du)膜(mo)一(yi)般是加熱靶材使表(biao)(biao)面(mian)(mian)組分(fen)以原子(zi)團或離子(zi)形式被蒸發出來。并且(qie)沉降(jiang)在基片表(biao)(biao)面(mian)(mian)，通過成(cheng)膜(mo)過程（散點－島狀結構(gou)-迷走結構(gou)-層狀生長）形成(cheng)薄膜(mo)。 對于濺射類鍍(du)膜(mo)，可(ke)以簡單(dan)理解為(wei)利用電子(zi)或高能激光(guang)轟擊靶材，并使表(biao)(biao)面(mian)(mian)組分(fen)以原子(zi)團或離子(zi)形式被濺射出來，并且(qie)沉積在基片表(biao)(biao)面(mian)(mian)，實驗室氣體(ti)流量計(ji)報(bao)價，經歷(li)成(cheng)膜(mo)過程，形成(cheng)薄膜(mo)。

流量控制器的作用

鋼(gang)(gang)包吹(chui)氬(ya)處理又稱剛液(ye)吹(chui)氬(ya)處理，是一(yi)種(zhong)簡(jian)(jian)易的(de)(de)(de)鋼(gang)(gang)液(ye)脫氣(qi)(qi)(qi)和(he)去除(chu)非(fei)金屬夾雜(za)物(wu)的(de)(de)(de)爐外精煉方法。這(zhe)種(zhong)方法工藝簡(jian)(jian)單，設備便宜，精煉效果(guo)明(ming)顯。依據所需處理鋼(gang)(gang)液(ye)在(zai)常溫下的(de)(de)(de)組(zu)織以及(ji)處理目(mu)的(de)(de)(de)的(de)(de)(de)不同(tong)，流(liu)量計報價(jia)，吹(chui)入(ru)鋼(gang)(gang)液(ye)的(de)(de)(de)氣(qi)(qi)(qi)體，可以選用氬(ya)氣(qi)(qi)(qi)、氮氣(qi)(qi)(qi)、水(shui)蒸(zheng)氣(qi)(qi)(qi)、空氣(qi)(qi)(qi)，或先吹(chui)入(ru)氮氣(qi)(qi)(qi)、水(shui)蒸(zheng)氣(qi)(qi)(qi)、空氣(qi)(qi)(qi)，然后再吹(chui)入(ru)氬(ya)氣(qi)(qi)(qi)。鋼(gang)(gang)液(ye)吹(chui)氬(ya)處理有重要的(de)(de)(de)冶金意義。

使(shi)用LF系列氣(qi)(qi)體質(zhi)量(liang)流(liu)量(liang)控制(zhi)器進行鋼(gang)(gang)包吹(chui)(chui)氬的方式有兩種：一種鋼(gang)(gang)包底吹(chui)(chui)，質(zhi)量(liang)流(liu)量(liang)計報價，一種鋼(gang)(gang)包頂吹(chui)(chui)。鋼(gang)(gang)包吹(chui)(chui)氬受壓力(li)(li)的影(ying)響。吹(chui)(chui)氬壓力(li)(li)越大(da)(da)，攪(jiao)動力(li)(li)越大(da)(da)，氣(qi)(qi)泡上升(sheng)越快。但吹(chui)(chui)氬壓力(li)(li)過(guo)大(da)(da)，氬氣(qi)(qi)流(liu)涉及范圍就越來(lai)越小(xiao)，甚(shen)至(zhi)形成(cheng)連續氣(qi)(qi)泡柱，進口氣(qi)(qi)體質(zhi)量(liang)流(liu)量(liang)計報價，而(er)且容易造(zao)成(cheng)鋼(gang)(gang)包液(ye)面劇烈翻(fan)滾，鋼(gang)(gang)液(ye)大(da)(da)量(liang)露在與空氣(qi)(qi)接(jie)觸造(zao)成(cheng)二次氧化和降溫(wen)。鋼(gang)(gang)渣(zha)相(xiang)混，被擊(ji)碎乳化的爐渣(zha)入(ru)鋼(gang)(gang)水深處(chu)，使(shi)夾雜物含量(liang)增加。所(suo)以很大(da)(da)壓力(li)(li)以不(bu)沖破渣(zha)層露出液(ye)面為限。壓力(li)(li)過(guo)小(xiao)，攪(jiao)拌能力(li)(li)弱，吹(chui)(chui)氬時間延長，甚(shen)至(zhi)造(zao)成(cheng)透氣(qi)(qi)磚(zhuan)堵塞。

所以壓力過(guo)(guo)大過(guo)(guo)小(xiao)都不好，理(li)想的(de)吹氬(ya)壓力是(shi)使氮氣流(liu)(liu)(liu)遍布(bu)整個鋼(gang)包，氬(ya)氣泡在鋼(gang)液內(nei)呈均勻分(fen)布(bu)。萊峰流(liu)(liu)(liu)體(ti)氣體(ti)質量(liang)(liang)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)控制器由質量(liang)(liang)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)傳感器、熱(re)(re)式原(yuan)件、質量(liang)(liang)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)控制器調節閥(fa)(fa)和(he)放大電路組成，它(ta)利用流(liu)(liu)(liu)動(dong)的(de)流(liu)(liu)(liu)體(ti)傳遞熱(re)(re)量(liang)(liang)改(gai)變測量(liang)(liang)毛細(xi)管溫度(du)分(fen)布(bu)的(de)熱(re)(re)傳導分(fen)布(bu)效應(ying)而制成，其原(yuan)理(li)是(shi)采用毛細(xi)管傳熱(re)(re)前后(hou)溫度(du)差量(liang)(liang)熱(re)(re)法原(yuan)理(li)測量(liang)(liang)氣體(ti)的(de)質量(liang)(liang)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)，將(jiang)傳感器測得的(de)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)信號(hao)進行(xing)放大，然后(hou)與設定的(de)電壓進行(xing)比較，用所得的(de)差值(zhi)去驅動(dong)控制調節閥(fa)(fa)門，閉環控制流(liu)(liu)(liu)過(guo)(guo)通道的(de)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)使之與設定的(de)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)相等(deng)。

能準確可靠的(de)測(ce)量(liang)(liang)(liang)和控制(zhi)(zhi)氣體(ti)質量(liang)(liang)(liang)流量(liang)(liang)(liang)，測(ce)量(liang)(liang)(liang)和控制(zhi)(zhi)精度(du)(du)高、零飄小(xiao)，測(ce)量(liang)(liang)(liang)和控制(zhi)(zhi)范(fan)圍(wei)寬，測(ce)量(liang)(liang)(liang)和控制(zhi)(zhi)的(de)準確度(du)(du)不受(shou)環境溫度(du)(du)和外界壓力的(de)影響(xiang)。不管是(shi)在鋼(gang)(gang)(gang)包(bao)底(di)吹(chui)還(huan)是(shi)鋼(gang)(gang)(gang)包(bao)頂吹(chui)都能很好的(de)控制(zhi)(zhi)氬氣均(jun)勻的(de)注(zhu)入，使鋼(gang)(gang)(gang)液在澆注(zhu)前成分、溫度(du)(du)均(jun)勻，實現連鑄(zhu)工(gong)藝正常化，提(ti)高鋼(gang)(gang)(gang)材沖擊韌性(xing)等(deng)。

流量控制器分類

按照通訊方式(shi)的(de)(de)不一樣，熱式(shi)氣(qi)體質(zhi)量流量控(kong)制(zhi)器主要分為模擬(ni)型(xing)0-5V或4-20mA和數字型(xing)RS485 modbus RTU協議。隨著工業行(xing)(xing)業的(de)(de)節(jie)能(neng)減排(pai)、節(jie)約成本、保(bao)護環境這(zhe)方面的(de)(de)要求越來(lai)越嚴格，氣(qi)體質(zhi)量流量控(kong)制(zhi)器在(zai)各行(xing)(xing)業中都(dou)廣泛使用，特(te)別(bie)是在(zai)：鋼鐵冶金、環保(bao)行(xing)(xing)業、新(xin)能(neng)源行(xing)(xing)業、氫(qing)燃料電池等(deng)行(xing)(xing)業。

應用(yong)行業：真空(kong)鍍膜設(she)(she)備(bei)(bei)、半導體工藝(yi)設(she)(she)備(bei)(bei)、化學與(yu)(yu)化工實(shi)(shi)驗設(she)(she)備(bei)(bei)、食(shi)品科學與(yu)(yu)工程設(she)(she)備(bei)(bei)、能源與(yu)(yu)環境保護設(she)(she)備(bei)(bei)、各種(zhong)分析(xi)儀器設(she)(she)備(bei)(bei)、表面(mian)處(chu)理、真空(kong)冶金及材料工藝(yi)、高(gao)校及科研院所實(shi)(shi)驗室設(she)(she)備(bei)(bei)。