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磁(ci)控濺(jian)(jian)射(she)(she)(she)靶(ba)材(cai)(cai)(cai)種類:金屬濺(jian)(jian)射(she)(she)(she)鍍膜靶(ba)材(cai)(cai)(cai),合金濺(jian)(jian)射(she)(she)(she)鍍膜靶(ba)材(cai)(cai)(cai),陶瓷(ci)濺(jian)(jian)射(she)(she)(she)鍍膜靶(ba)材(cai)(cai)(cai),硼化(hua)物陶瓷(ci)濺(jian)(jian)射(she)(she)(she)靶(ba)材(cai)(cai)(cai),碳化(hua)物陶瓷(ci)濺(jian)(jian)射(she)(she)(she)靶(ba)材(cai)(cai)(cai),氟化(hua)物陶瓷(ci)濺(jian)(jian)射(she)(she)(she)靶(ba)材(cai)(cai)(cai),氮(dan)化(hua)物陶瓷(ci)濺(jian)(jian)射(she)(she)(she)靶(ba)材(cai)(cai)(cai),2N金靶(ba)材(cai)(cai)(cai),氧化(hua)物陶瓷(ci)靶(ba)材(cai)(cai)(cai),硒化(hua)物陶瓷(ci)濺(jian)(jian)射(she)(she)(she)靶(ba)材(cai)(cai)(cai),硅化(hua)物陶瓷(ci)濺(jian)(jian)射(she)(she)(she)靶(ba)材(cai)(cai)(cai),硫化(hua)物陶瓷(ci)濺(jian)(jian)射(she)(she)(she)靶(ba)材(cai)(cai)(cai),碲化(hua)物陶瓷(ci)濺(jian)(jian)射(she)(she)(she)靶(ba)材(cai)(cai)(cai),其他陶瓷(ci)靶(ba)材(cai)(cai)(cai),摻鉻一氧化(hua)硅陶瓷(ci)靶(ba)材(cai)(cai)(cai)(Cr-SiO),磷化(hua)銦靶(ba)材(cai)(cai)(cai)(InP),鉛靶(ba)材(cai)(cai)(cai)(PbAs),銦靶(ba)材(cai)(cai)(cai)(InAs)。
在鉑族金屬的(de)應用中,2N金靶材(cai)廠(chang),光(guang)學(xue)玻(bo)璃(li)行業是鉑的(de)重要的(de)應用領(ling)域,鉑是制造熔制光(guang)學(xue)玻(bo)璃(li)的(de)坩(gan)(gan)堝(guo)和(he)攪拌(ban)器的(de)必選材(cai)料(liao),由于(yu)光(guang)學(xue)玻(bo)璃(li)的(de)特殊(shu)性,提(ti)(ti)出了(le)對坩(gan)(gan)堝(guo)和(he)攪拌(ban)器的(de)更苛刻的(de)適(shi)用要求,早在八十(shi)年(nian)代(dai)初(chu)期,2N金靶材(cai)廠(chang)家,國內就有人提(ti)(ti)出了(le)用彌散強化鉑來(lai)制作坩(gan)(gan)堝(guo)和(he)攪拌(ban)器。
21世(shi)紀展現良好發展前(qian)景的(de)(de)納米技術(shu),2N金(jin)靶材報價,貴金(jin)屬由于它們的(de)(de)優異的(de)(de)物理(li)化學性(xing)能,資源的(de)(de)稀(xi)缺性(xing)以及(ji)在已知的(de)(de)傳統產業(ye)領域的(de)(de)不斷(duan)擴大應用(yong)和(he)在未知領域的(de)(de)不斷(duan)開(kai)拓探(tan)索(suo),成(cheng)為納米技術(shu)早(zao)和(he)相當重要(yao)的(de)(de)研(yan)究對象之一。
什么(me)是靶材(cai)綁定?靶材(cai)綁定的適用范圍、流(liu)程(cheng)?
綁定是指(zhi)用焊料將靶(ba)材與(yu)背靶(ba)焊接起來(lai)。主(zhu)要有三種的方式:壓接、釬(han)焊和導電膠。
1.壓(ya)接(jie):采用壓(ya)條,一般為(wei)了提(ti)高接(jie)觸的(de)良好性(xing),會(hui)增加石墨紙(zhi)、Pb或(huo)In皮;
2.釬(han)焊:一般(ban)使用軟釬(han)料的情況下,要求濺射功率小(xiao)于20W/cm2,釬(han)料常用In、Sn、In-Sn;我司采用銦焊綁定技術。
3.導電膠(jiao):采用的導電膠(jiao)要耐高溫,厚度(du)在0.02-0.05um。
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