擴散(san)(san)泵(beng)(beng)(beng)：以低壓高速蒸汽流（油(you)或等蒸汽）作(zuo)(zuo)為工(gong)作(zuo)(zuo)介質(zhi)的(de)噴射(she)真空(kong)泵(beng)(beng)(beng)。氣(qi)體(ti)分子擴散(san)(san)到蒸汽射(she)流中，被送(song)到出口。在射(she)流中氣(qi)體(ti)分子密(mi)度始終是(shi)很(hen)低的(de)，這(zhe)種泵(beng)(beng)(beng)適于(yu)在分子流狀態(tai)下工(gong)作(zuo)(zuo)。可分為：① 自凈化擴散(san)(san)泵(beng)(beng)(beng)：泵(beng)(beng)(beng)液(ye)中易(yi)揮(hui)發的(de)雜質(zhi)經專門的(de)機械輸送(song)到出口而(er)不回到鍋爐中的(de)一種油(you)擴散(san)(san)泵(beng)(beng)(beng)② 分餾式擴散(san)(san)泵(beng)(beng)(beng)：這(zhe)種泵(beng)(beng)(beng)具有分餾裝置，使蒸汽壓強較(jiao)低的(de)工(gong)作(zuo)(zuo)液(ye)蒸汽進入(ru)高真空(kong)工(gong)作(zuo)(zuo)的(de)噴嘴(zui)，而(er)蒸汽壓強較(jiao)高的(de)工(gong)作(zuo)(zuo)液(ye)蒸汽進入(ru)低真空(kong)工(gong)作(zuo)(zuo)的(de)噴嘴(zui)，它是(shi)一種多級油(you)擴散(san)(san)泵(beng)(beng)(beng)。

擴(kuo)散(san)噴射泵(beng)(beng)：它是一(yi)種(zhong)(zhong)(zhong)有擴(kuo)散(san)泵(beng)(beng)特性的(de)(de)單級(ji)或(huo)多級(ji)噴嘴與具(ju)(ju)有噴射真空泵(beng)(beng)特性的(de)(de)單級(ji)或(huo)多級(ji)噴嘴串聯組成的(de)(de)一(yi)種(zhong)(zhong)(zhong)動量(liang)傳(chuan)輸(shu)泵(beng)(beng)。油(you)增壓泵(beng)(beng)即屬于這(zhe)(zhe)種(zhong)(zhong)(zhong)形(xing)式。離(li)(li)子(zi)(zi)傳(chuan)輸(shu)泵(beng)(beng)：它是將被電(dian)離(li)(li)的(de)(de)氣體(ti)(ti)在(zai)電(dian)磁(ci)場(chang)或(huo)電(dian)場(chang)的(de)(de)作用下，輸(shu)送到(dao)出口的(de)(de)一(yi)種(zhong)(zhong)(zhong)動量(liang)傳(chuan)輸(shu)泵(beng)(beng)。氣體(ti)(ti)捕集泵(beng)(beng)這(zhe)(zhe)種(zhong)(zhong)(zhong)泵(beng)(beng)是一(yi)種(zhong)(zhong)(zhong)是氣體(ti)(ti)分子(zi)(zi)被吸附或(huo)凝結在(zai)泵(beng)(beng)的(de)(de)內表(biao)面上，從而(er)減小了容器(qi)內的(de)(de)氣體(ti)(ti)分子(zi)(zi)數目而(er)達(da)到(dao)抽氣目的(de)(de)的(de)(de)真空泵(beng)(beng)，有以(yi)下幾種(zhong)(zhong)(zhong)型式。吸附泵(beng)(beng)：它主要依(yi)靠具(ju)(ju)有大表(biao)面的(de)(de)吸附劑（如多孔物(wu)質）的(de)(de)物(wu)理吸附作用來(lai)抽氣的(de)(de)一(yi)種(zhong)(zhong)(zhong)捕集式真空泵(beng)(beng)

真空泵(beng)組(zu)閥(fa)片可以有效地(di)減少多余功耗的(de)投入(ru)，增加和效率下降(jiang)閥(fa)片，經常是(shi)下部(bu)緊貼(tie)在真空泵(beng)機組(zu)端面圓盤上(shang)，上(shang)部(bu)擺開一個角(jiao)度(du)(du)，被(bei)扭曲成“S”形，經過長時(shi)間(jian)的(de)使(shi)用會(hui)出(chu)現(xian)設備(bei)老化的(de)情況。此時(shi)設備(bei)的(de)工作狀態出(chu)現(xian)問題(ti)，閥(fa)片中(zhong)間(jian)應力過于集中(zhong)，加快(kuai)了(le)其他部(bu)件的(de)疲(pi)勞和破壞程度(du)(du)，減少了(le)設備(bei)使(shi)用壽命，導致閥(fa)片從(cong)中(zhong)間(jian)部(bu)分(fen)出(chu)現(xian)斷裂情況，影響正常使(shi)用。