蒸發離子(zi)泵(beng)(beng)(beng)：泵(beng)(beng)(beng)內被電離的氣(qi)體吸(xi)附(fu)(fu)在以(yi)間斷或連續(xu)方式(shi)升華（或蒸發）而覆在泵(beng)(beng)(beng)內壁的吸(xi)氣(qi)材料上(shang)，以(yi)實現抽氣(qi)的一(yi)種真空泵(beng)(beng)(beng)。真空設備對油(you)污染的要求。若(ruo)設備嚴格要求無油(you)時，應(ying)該選各種無油(you)泵(beng)(beng)(beng)，如：水環泵(beng)(beng)(beng)、分(fen)子(zi)篩吸(xi)附(fu)(fu)泵(beng)(beng)(beng)、濺射離子(zi)泵(beng)(beng)(beng)、低溫(wen)泵(beng)(beng)(beng)等。有(you)的真空泵(beng)(beng)(beng)不(bu)能在大氣(qi)壓下(xia)工作，需(xu)要預(yu)真空；有(you)的真空泵(beng)(beng)(beng)出口壓強低于大氣(qi)壓，需(xu)要前級泵(beng)(beng)(beng)，故都需(xu)要把泵(beng)(beng)(beng)組合起(qi)來(lai)使(shi)用。

 泵(beng)(beng)的(de)兩個(ge)轉子軸與水平面垂直安裝。這種(zhong)結構間隙容(rong)易(yi)控制，轉子裝配方便(bian)，泵(beng)(beng)占地(di)面積小(xiao)。較(jiao)高且齒輪(lun)拆裝不(bu)便(bian)，潤(run)滑機(ji)構也(ye)相對復雜。結構緊湊，泵(beng)(beng)的(de)轉數較(jiao)高，一般可與電(dian)動(dong)(dong)機(ji)直聯，無須(xu)減速裝置。故用小(xiao)的(de)結構尺寸，可以獲得大的(de)排氣量，占地(di)面積也(ye)小(xiao)。真(zhen)空(kong)泵(beng)(beng)工作時產生(sheng)的(de)振(zhen)動(dong)(dong)對工藝過程及環境有(you)無影(ying)響(xiang)。若工藝過程不(bu)允許，應選擇無振(zhen)動(dong)(dong)的(de)泵(beng)(beng)或者采取防(fang)振(zhen)動(dong)(dong)措施。

 真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)泵(beng)工作(zuo)時產(chan)生的(de)振動對工藝過(guo)程(cheng)及環(huan)境有無影(ying)響(xiang)。若工藝過(guo)程(cheng)不允許，干(gan)式無油(you)螺桿真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)泵(beng)，應(ying)選擇無振動的(de)泵(beng)或者采(cai)取防(fang)振動措施。有的(de)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)泵(beng)不能在大氣(qi)壓(ya)下工作(zuo)，需要(yao)(yao)預真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)；有的(de)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)泵(beng)出口壓(ya)強(qiang)低于大氣(qi)壓(ya)，需要(yao)(yao)前級(ji)泵(beng)，故都需要(yao)(yao)把泵(beng)組合(he)起來(lai)使用。真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)設備對油(you)污染的(de)要(yao)(yao)求(qiu)。若設備嚴(yan)格(ge)要(yao)(yao)求(qiu)無油(you)時，應(ying)該選各(ge)種無油(you)泵(beng)，如：水環(huan)泵(beng)、分子篩吸附泵(beng)、濺射離子泵(beng)、低溫泵(beng)等。