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流量控制器
選擇產品和訂貨時應當注意(yi)
注意選擇合適的響應(ying)時間(jian)指標(biao)
有(you)的(de)應(ying)用系(xi)統(tong)對MFC的(de)響應(ying)時間有(you)較高的(de)要求,用戶應(ying)根據自(zi)己的(de)情況加(jia)以考(kao)慮(lv)(lv)。在(zai)考(kao)慮(lv)(lv)響應(ying)時間指標的(de)同時,還應(ying)注意其響應(ying)過程及(ji)動態特性。
注意對安裝位(wei)置有(you)無要(yao)求
有(you)的廠家的產品要求(qiu)必須水平位(wei)置安裝。
注意使用氣體(ti)和適用范圍(wei)
MFM/MFC 對使用的環境(jing)及介質溫(wen)度﹑氣(qi)源壓(ya)力﹑介質(特別是使用對腐(fu)蝕性(xing)氣(qi)體)情況等均有一定(ding)適用范(fan)圍,請注意閱讀(du)說明(ming)書或向廠家咨詢。
注意接頭形式
通(tong)常有雙卡套(tao)(Swagelok)和VCR兩(liang)種接頭可以(yi)選擇, VCR接頭性能更好適合(he)于(yu)應(ying)用。
訂貨應注明:
產品名稱、型號、流量規格、標定氣體、使用氣體(特別是腐蝕性氣體)、接頭形式和數量。
流量控制器基本原理
通(tong)過測(ce)量氣體(ti)(ti)(ti)流(liu)(liu)經流(liu)(liu)量器內(nei)加(jia)熱(re)(re)元件時的(de)(de)(de)冷卻效應來計(ji)(ji)量氣體(ti)(ti)(ti)流(liu)(liu)量的(de)(de)(de)。氣體(ti)(ti)(ti)通(tong)過的(de)(de)(de)測(ce)量段內(nei)有(you)兩個熱(re)(re)阻元件,其(qi)中一個作為(wei)溫(wen)度(du)(du)檢測(ce),另一個作為(wei)加(jia)熱(re)(re)器。溫(wen)度(du)(du)傳(chuan)感元件用(yong)于檢測(ce)氣體(ti)(ti)(ti)溫(wen)度(du)(du),電(dian)磁流(liu)(liu)量計(ji)(ji)哪里有(you),加(jia)熱(re)(re)器則通(tong)過改變電(dian)流(liu)(liu)來保持其(qi)溫(wen)度(du)(du)與被(bei)測(ce)氣體(ti)(ti)(ti)的(de)(de)(de)溫(wen)度(du)(du)之間有(you)一個恒(heng)定的(de)(de)(de)溫(wen)度(du)(du)差(cha)。當氣體(ti)(ti)(ti)流(liu)(liu)速增加(jia),冷卻效應越大,使須(xu)保持熱(re)(re)電(dian)阻間恒(heng)溫(wen)的(de)(de)(de)電(dian)流(liu)(liu)也越大。此熱(re)(re)傳(chuan)遞正比于氣體(ti)(ti)(ti)質(zhi)量流(liu)(liu)量,即供給電(dian)流(liu)(liu)與氣體(ti)(ti)(ti)質(zhi)量流(liu)(liu)量有(you)一對應的(de)(de)(de)函數關系來反映氣體(ti)(ti)(ti)的(de)(de)(de)流(liu)(liu)量。
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流量控制器
使(shi)用揮發性(xing)液(ye)體蒸發汽(qi), 氣(qi)壓很低, 如(ru)何定制質量流量控制器的(de)低壓降產(chan)品?
部分用(yong)(yong)戶(hu)使用(yong)(yong)揮發性液體蒸發汽做氣源, 氣壓(ya)很低(di), 用(yong)(yong)普通MFC, 不能正常工(gong)作。這時用(yong)(yong)戶(hu)需(xu)要向供貨商(shang)特別聲明(ming),電(dian)磁(ci)流(liu)量(liang)計, 定制低(di)壓(ya)降的(de)質量(liang)流(liu)量(liang)控制器。通常可以定制工(gong)作壓(ya)差(cha)低(di)于(yu)0.01MPa的(de)MFC,電(dian)磁(ci)流(liu)量(liang)計哪家(jia)好, 這時MFC的(de)工(gong)作壓(ya)差(cha)范(fan)圍, 也會變小。
注意使用揮發(fa)性液體蒸發(fa)汽(qi)時, 不能讓汽(qi)化物在MFC中結(jie)(jie)露,電磁流量計(ji)多少錢(qian), 結(jie)(jie)露會影(ying)響MFC的(de)正常工(gong)作。為(wei)了(le)防(fang)止結(jie)(jie)露, 可(ke)以對管路和MFC適當加溫(wen), 但MFC的(de)工(gong)作環(huan)境溫(wen)度通常不得超過(guo)50℃。如果用戶要MFC的(de)工(gong)作環(huan)境溫(wen)度超過(guo)65℃以上(shang), 需要特殊購買高(gao)溫(wen)MFC產(chan)品。
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