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像(xiang)素(su)(su)(su)和束(shu)斑(ban)(ban)(ban)的(de)匹配并非指束(shu)斑(ban)(ban)(ban)完全小于(yu)像(xiang)素(su)(su)(su)框,束(shu)斑(ban)(ban)(ban)可以看成(cheng)是(shi)(shi)一個衍射(she)波,中(zhong)間(jian)呈類似高(gao)斯分布,只要半(ban)高(gao)寬和像(xiang)素(su)(su)(su)大致(zhi)相等則視為匹配。而此時(shi)束(shu)斑(ban)(ban)(ban)的(de)大小是(shi)(shi)大于(yu)像(xiang)素(su)(su)(su)的(de)。
而且掃描電鏡是靠電子束的掃描運動,只要不同像素點覆蓋區域的電子產額能夠被探測器有效處理和區分,那電鏡圖片也就能區分。所以掃描電鏡是完全可分辨比束斑更小的細節的,而有點地方說掃描電鏡不能區分比束斑更小的說法是不夠嚴密的。束斑是單點像素1.3~2倍左右,都是匹配的條件。
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