四(si)氯化(hua)4碳與(yu)氟(fu)化(hua)1氫的(de)(de)(de)反(fan)應在(zai)填有氫氧化(hua)鉻(ge)的(de)(de)(de)高溫鎳(nie)管中(zhong)(zhong)進行，反(fan)應后的(de)(de)(de)氣體(ti)經(jing)水(shui)洗、堿洗除去酸性(xing)(xing)氣體(ti)，再通(tong)過冷凍(dong)，四(si)氟(fu)化(hua)碳批發，用(yong)硅(gui)膠除去氣體(ti)中(zhong)(zhong)的(de)(de)(de)水(shui)分經(jing)精餾而得成品。對于硅(gui)和二氧化(hua)硅(gui)體(ti)系，濟南(nan)四(si)氟(fu)化(hua)碳，采用(yong)CF4-H2反(fan)應離子刻蝕時，通(tong)過調節兩(liang)種(zhong)氣體(ti)的(de)(de)(de)比例，可以獲(huo)得45:1的(de)(de)(de)選擇性(xing)(xing)，這(zhe)在(zai)刻蝕多晶硅(gui)柵極(ji)上的(de)(de)(de)二氧化(hua)硅(gui)薄膜時很有用(yong)。四(si)氟(fu)化(hua)碳的(de)(de)(de)熱(re)穩定性(xing)(xing)更好(hao)。

以(yi)(yi)活性炭(tan)與(yu)氟(fu)為(wei)原料(liao)經氟(fu)化(hua)反應制備。在裝有活性炭(tan)的反應爐中(zhong)，緩緩通(tong)入(ru)高濃氟(fu)氣，并通(tong)過(guo)加(jia)(jia)熱器加(jia)(jia)熱、供(gong)氟(fu)速率和反應爐冷卻控制反應溫度。四(si)氟(fu)化(hua)碳，又(you)稱(cheng)為(wei)四(si)氟(fu)甲(jia)(jia)1烷、Freon-14及R 14，是一種(zhong)鹵(lu)代(dai)烴(jing)(化(hua)學式:CF4)。它既可以(yi)(yi)被視為(wei)一種(zhong)鹵(lu)代(dai)烴(jing)、鹵(lu)代(dai)甲(jia)(jia)1烷、全(quan)氟(fu)化(hua)碳，也(ye)可以(yi)(yi)被視為(wei)一種(zhong)無機(ji)化(hua)合物(wu)。它在大氣中(zhong)的壽命約為(wei)50，000年，增溫(暖化(hua))系數(shu)是6，500(二氧化(hua)碳的系數(shu)是1)。雖然結構與(yu)氟(fu)氯烴(jing)相(xiang)似，四(si)氟(fu)化(hua)碳公司(si)，但四(si)氟(fu)化(hua)碳不(bu)會(hui)破(po)壞(huai)臭氧層。

預先(xian)(xian)稱取(qu)5~10g的(de)碳(tan)化硅(gui)(gui)粉末和0.1g的(de)單(dan)質(zhi)硅(gui)(gui)粉，置于鎳盤中(zhong)，使硅(gui)(gui)和碳(tan)化硅(gui)(gui)充分接觸后(hou)(hou)，將鎳盤放(fang)入(ru)(ru)蒙乃(nai)爾(er)合(he)金(jin)反(fan)應管中(zhong)，向反(fan)應管內通入(ru)(ru)氟(fu)氣，氟(fu)氣先(xian)(xian)和單(dan)質(zhi)硅(gui)(gui)反(fan)應。含鎂大于2%的(de)合(he)金(jin)不(bu)能用(yong)。在高(gao)(gao)溫，高(gao)(gao)純(chun)四氟(fu)化碳(tan)，一些金(jin)屬起加速CF4分解(jie)的(de)催(cui)化作用(yong)。按其催(cui)化作用(yong)增長的(de)次(ci)序由小到大地(di)排列則如下：因科鎳合(he)金(jin)、奧氏體不(bu)銹鋼、鎳、鋼、鋁、銅、青銅、黃(huang)銅、銀。反(fan)應放(fang)熱后(hou)(hou)，氟(fu)開始和碳(tan)化硅(gui)(gui)進(jin)行(xing)反(fan)應，通入(ru)(ru)等體積的(de)干燥(zao)氮(dan)氣以(yi)稀(xi)釋氟(fu)氣，使反(fan)應繼續進(jin)行(xing)，生成(cheng)氣體通過(guo)液氮(dan)冷卻的(de)鎳制捕(bu)集器冷凝(ning)，然(ran)后(hou)(hou)慢(man)慢(man)地(di)氣化。