特(te)種(zhong)(zhong)氣(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)(ti)指半導體(ti)(ti)(ti)(ti)生產環節中(zhong)，西安(an)特(te)種(zhong)(zhong)氣(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)(ti)，比如延伸(shen)、離(li)子(zi)注進、摻(chan)和、洗滌、 遮(zhe)掩膜形成過程中(zhong)使用(yong)(yong)到一(yi)些化學氣(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)(ti)，也(ye)就是氣(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)(ti)類別中(zhong)的(de)電(dian)子(zi)氣(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)(ti)，特(te)種(zhong)(zhong)氣(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)(ti)種(zhong)(zhong)類：電(dian)子(zi)氣(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)(ti)可以分為電(dian) 子(zi)特(te)種(zhong)(zhong)氣(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)(ti)和電(dian)子(zi)大宗氣(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)(ti)。電(dian)子(zi)氣(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)(ti)在電(dian)子(zi)產品制(zhi)程工藝中(zhong)廣泛(fan)應(ying)用(yong)(yong)于(yu)離(li)子(zi)注入、刻 蝕、氣(qi)(qi)相(xiang)沉積、摻(chan)雜等工藝，被稱為集(ji)成電(dian)路(lu)、液晶面板、LED 及光伏等材(cai)(cai)料(liao)(liao)的(de)“糧食(shi)” 和“源”。特(te)種(zhong)(zhong)氣(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)(ti)在集(ji)成電(dian)路(lu)領(ling)域的(de)應(ying)用(yong)(yong)：特(te)種(zhong)(zhong)氣(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)(ti)是半導體(ti)(ti)(ti)(ti)材(cai)(cai)料(liao)(liao)制(zhi)造過程不可缺少的(de)基硅性(xing)支撐材(cai)(cai)料(liao)(liao)，處于(yu)半導體(ti)(ti)(ti)(ti)產業鏈(lian)的(de) 上游，被稱為半導體(ti)(ti)(ti)(ti)的(de)“源”，特(te)種(zhong)(zhong)氣(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)(ti)銷售(shou)，主(zhu)要(yao)應(ying)用(yong)(yong)于(yu)薄膜、刻蝕、摻(chan)雜、氣(qi)(qi)相(xiang)沉積、擴(kuo)散等工藝。

 氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)產品大(da)致(zhi)可以分為兩大(da)類別， 即一般工業氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)和(he)(he)特(te)種氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)。一般工業氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)是指經過空氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)分離設(she)(she)備(bei)制(zhi)造的(de)(de)普通級的(de)(de)氧(yang)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)和(he)(he)氮氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)、經過焦(jiao)爐氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)分離或電(dian)解(jie)等(deng)方法制(zhi)造出來的(de)(de)普通純(chun)度的(de)(de)其它種類氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)。對特(te)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)的(de)(de)危害性(xing)進(jin)行(xing)分析，通過本質(zhi)安全設(she)(she)計(ji)，消除安全隱患。根據行(xing)業規范，對特(te)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)房(fang)選址、安全間距、防(fang)火分區、房(fang)間通風、電(dian)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)防(fang)爆(bao)等(deng)進(jin)行(xing)評估(gu)。管道設(she)(she)計(ji)應(ying)進(jin)行(xing)保(bao)壓和(he)(he)氦(hai)測漏，特(te)種氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)供應(ying)商，確保(bao)系統密閉性(xing)。特(te)種氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)(Specialtygases) 氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)工業名詞，是指那些在特(te)定(ding)領域中應(ying)用的(de)(de)，對氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)有特(te)殊要求(qiu)的(de)(de)純(chun)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)，特(te)種氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)價格，高純(chun)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)或由高純(chun)單質(zhi)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)配制(zhi)的(de)(de)二元或多(duo)元混合氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)。

 電(dian)(dian)子特(te)(te)種(zhong)(zhong)(zhong)氣(qi)體(ti)種(zhong)(zhong)(zhong)類多(duo)樣行業(ye)集中(zhong)度(du)高，細(xi)分領(ling)域整合開啟進口替代(dai)新征程。2016 年半導(dao)體(ti)行業(ye)用(yong)(yong)(yong)電(dian)(dian)子特(te)(te)種(zhong)(zhong)(zhong)氣(qi)體(ti)市場規(gui)模達到 36.8 億美元(yuan)，同比增長 5.7%；國內(nei)方面集成電(dian)(dian)路(lu)用(yong)(yong)(yong)電(dian)(dian)子特(te)(te)種(zhong)(zhong)(zhong)氣(qi)體(ti)需求(qiu)約為 25 億元(yuan)，預計到 2020 年將突破 68 億元(yuan)。特(te)(te)種(zhong)(zhong)(zhong)氣(qi)體(ti)使用(yong)(yong)(yong)的(de)封閉式氣(qi)瓶放置與管理(li)設備，一(yi)般應配置減壓(ya)裝置、真(zhen)空發生(sheng)器(qi)、、緊(jin)急切斷閥、過流開關、風(feng)壓(ya)事(shi)故報(bao)(bao)警、、壓(ya)力監測及報(bao)(bao)警等(deng)安全使用(yong)(yong)(yong)所必須的(de)設施。排風(feng)管配置泄(xie)漏(lou)探(tan)頭。氣(qi)瓶柜有手(shou)動、半自動、全自動三類。滅菌(jun)特(te)(te)種(zhong)(zhong)(zhong)氣(qi)體(ti)的(de)主要成分是(shi)環氧(yang)乙(yi)1烷(EO)又(you)名氧(yang)化(hua)1乙(yi)烯，環氧(yang)乙(yi)1烷可殺滅細(xi)1菌(jun)（及其內(nei)孢(bao)子）、霉(mei)菌(jun)及真(zhen)1菌(jun)，因(yin)此(ci)可用(yong)(yong)(yong)于消毒一(yi)些不(bu)能耐受(shou)高溫消毒的(de)物品。