準(zhun)分(fen)(fen)(fen)子氣(qi)體(ti)進(jin)(jin)樣(yang)時需注意：充(chong)分(fen)(fen)(fen)置換(huan)氣(qi)體(ti)。在進(jin)(jin)樣(yang)之前，準(zhun)分(fen)(fen)(fen)子氣(qi)體(ti)需要經過(guo)減壓器和管線的充(chong)分(fen)(fen)(fen)置換(huan)，在置換(huan)的過(guo)程中(zhong)，準(zhun)分(fen)(fen)(fen)子激(ji)光預(yu)混(hun)氣(qi)，不(bu)能僅僅使(shi)用(yong)吹(chui)掃(sao)的方(fang)式來處(chu)理(li)，選(xuan)擇氣(qi)體(ti)的注意事項：通過(guo)氣(qi)體(ti)將設備從(cong)切割區吹(chui)掉熔(rong)渣，清潔一些切縫(feng)；可以(yi)冷卻(que)切縫(feng)鄰近(jin)區域，減小由于熱(re)影響區的尺寸的因素發生；準(zhun)分(fen)(fen)(fen)子氣(qi)體(ti)的運輸緊急措施：要疏散附近(jin)的人員(yuan)，準(zhun)分(fen)(fen)(fen)子預(yu)混(hun)氣(qi)廠家，同時禁止行(xing)人來往，準(zhun)分(fen)(fen)(fen)子預(yu)混(hun)氣(qi)多少(shao)錢，不(bu)讓靠近(jin)。應根(gen)據情況，躲(duo)避到安(an)全(quan)地點。

 準分子(zi)氣體(ti)的(de)運(yun)輸(shu)車(che)無(wu)法轉移時(shi)，應盡(jin)量與其它車(che)輛(liang)拉開距離。接近火(huo)災時(shi)，為了防止容器溫度上(shang)(shang)升，要大量澆水(shui)。選擇氣體(ti)的(de)注意(yi)事項：考(kao)慮讓輔助(zhu)(zhu)氣體(ti)與金屬(shu)材料產生(sheng)化(hua)學反應，增(zeng)加工作能力強度，更好(hao)進行(xing)加工；可(ke)以保(bao)護聚焦透鏡(jing)(jing)，準分子(zi)預混氣，防止一些(xie)燃(ran)燒產物(wu)沾污光學鏡(jing)(jing)片(pian)。準分子(zi)氣體(ti)的(de)運(yun)輸(shu)車(che)上(shang)(shang)發生(sheng)火(huo)災時(shi)。滅火(huo)困難時(shi)，要通知消防隊等是“有毒氣體(ti) 、“可(ke)燃(ran)氣體(ti)”，并請求援助(zhu)(zhu)。

準分(fen)(fen)子氣(qi)體的(de)(de)(de)運輸緊急措施：要疏散附近(jin)的(de)(de)(de)人員，同(tong)時禁(jin)止行人來往(wang)，不讓靠近(jin)。應(ying)根(gen)據(ju)情(qing)況，躲避到(dao)安全地點(dian)。準分(fen)(fen)子氣(qi)體如(ru)何正確保(bao)存？只(zhi)有(you)(you)在確保(bao)容(rong)器沒(mei)有(you)(you)損壞(huai)的(de)(de)(de)情(qing)況下才(cai)方能繼(ji)續使用(yong)，此外(wai)，為了(le)確保(bao)使用(yong)和保(bao)存的(de)(de)(de)安全性(xing)，每瓶氣(qi)體至少要有(you)(you)一(yi)定的(de)(de)(de)余壓。制備準分(fen)(fen)子氣(qi)體時要考(kao)慮：組分(fen)(fen)之間(jian)的(de)(de)(de)反應(ying)。由于有(you)(you)些(xie)氣(qi)體的(de)(de)(de)穩定性(xing)不高會和其他(ta)氣(qi)體發生化學反應(ying)，所以(yi)準分(fen)(fen)子氣(qi)體在制備之前(qian)，應(ying)考(kao)慮各組分(fen)(fen)之間(jian)是否會發生化學反應(ying)，事(shi)先(xian)明確了(le)解哪些(xie)氣(qi)體組分(fen)(fen)是不能進行化學匹配的(de)(de)(de)。