干(gan)(gan)泵(beng)(beng);國外干(gan)(gan)泵(beng)(beng)市場(chang)的不斷增長，其主要驅動來(lai)自(zi)于(yu)半導(dao)體行業、化學(xue)工(gong)業、薄膜產業的迅速(su)發展。在(zai)日本，半導(dao)體行業已全部用(yong)(yong)干(gan)(gan)式(shi)真(zhen)空泵(beng)(beng)代替油封式(shi)機械(xie)(xie)泵(beng)(beng)，歐美(mei)半導(dao)體行業45%以上用(yong)(yong)干(gan)(gan)式(shi)真(zhen)空泵(beng)(beng)代替了(le)油封式(shi)機械(xie)(xie)泵(beng)(beng)，大(da)大(da)提(ti)高(gao)了(le)產品的性(xing)能和質量。為了(le)滿足不同(tong)應用(yong)(yong)領域和不同(tong)工(gong)況的要求(qiu)，國外有多級羅(luo)茨真(zhen)空泵(beng)(beng)、多級爪式(shi)真(zhen)空泵(beng)(beng)、螺(luo)桿(gan)式(shi)真(zhen)空泵(beng)(beng)、渦(wo)旋式(shi)真(zhen)空泵(beng)(beng)、往復(fu)式(shi)活塞真(zhen)空泵(beng)(beng)以及(ji)渦(wo)輪式(shi)無油真(zhen)空泵(beng)(beng)等。極限(xian)壓力從(cong)10Pa～10-2Pa，抽速(su)從(cong)20m3/h～500m3/h。

真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)系(xi)統(tong)常用名稱①主泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)：在真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)系(xi)統(tong)中，用于(yu)獲得所需要真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)度來滿(man)足特定工藝(yi)要求(qiu)的(de)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)，如(ru)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)鍍膜(mo)機中的(de)油擴散(san)泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)就(jiu)(jiu)是主泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)。②前級(ji)泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)：用于(yu)維(wei)持(chi)某一(yi)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)前級(ji)壓強低于(yu)其臨界前級(ji)壓強的(de)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)。如(ru)羅茨泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)前配置的(de)旋片(pian)或滑(hua)閥泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)就(jiu)(jiu)是前級(ji)泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)。③粗抽(chou)泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)：從大氣(qi)(qi)壓下開(kai)始(shi)(shi)抽(chou)氣(qi)(qi)，并將系(xi)統(tong)壓力抽(chou)到另一(yi)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)開(kai)始(shi)(shi)工作的(de)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)。如(ru)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)鍍膜(mo)機中的(de)滑(hua)閥泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)，就(jiu)(jiu)是粗油泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)。

真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)設(she)(she)備(bei)(bei)對油(you)(you)污染(ran)的(de)要求(qiu)(qiu)。若設(she)(she)備(bei)(bei)嚴格(ge)要求(qiu)(qiu)無油(you)(you)時，應該選(xuan)(xuan)各種無油(you)(you)泵(beng)，如(ru)(ru)：水(shui)環(huan)泵(beng)、分子篩吸(xi)附泵(beng)、濺射離子泵(beng)、低(di)溫泵(beng)等(deng)。如(ru)(ru)果要求(qiu)(qiu)不嚴格(ge)，可以選(xuan)(xuan)擇有油(you)(you)泵(beng)，加(jia)上一些防油(you)(you)污染(ran)措施，如(ru)(ru)加(jia)冷阱、障板、擋油(you)(you)阱等(deng)，也能達到清潔真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)要求(qiu)(qiu)。真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)排出來的(de)油(you)(you)蒸(zheng)氣(qi)對環(huan)境的(de)影響如(ru)(ru)何(he)。如(ru)(ru)果環(huan)境不允許有污染(ran)，可以選(xuan)(xuan)無油(you)(you)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)，或者把油(you)(you)蒸(zheng)氣(qi)排到室外。真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)的(de)工(gong)作(zuo)壓強應該滿(man)足真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)設(she)(she)備(bei)(bei)的(de)極(ji)限真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)及(ji)工(gong)作(zuo)壓強要求(qiu)(qiu)。如(ru)(ru)：某真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)干燥工(gong)藝要求(qiu)(qiu)10mmHg的(de)工(gong)作(zuo)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)度(du)，選(xuan)(xuan)用的(de)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)的(de)極(ji)限真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)度(du)至少要2mmHg，好能達到1mmHg。通常選(xuan)(xuan)擇泵(beng)的(de)極(ji)限真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)度(du)要高于真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)設(she)(she)備(bei)(bei)工(gong)作(zuo)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)度(du)半個到一個數量級。真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)的(de)價(jia)格(ge)、運(yun)轉及(ji)維修費用。