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任何(he)金屬都不能達到(dao)(dao)純(chun)(chun)。“超純(chun)(chun)”具有相(xiang)對的含(han)義,是(shi)指技術(shu)上達到(dao)(dao)的標準。
由于技(ji)術的(de)發展,也常使 “超純(chun)”的(de)標準升級。“超純(chun)”的(de)相對名(ming)詞是(shi)指“雜(za)質(zhi)”,廣義(yi)的(de)雜(za)質(zhi)是(shi)指化學(xue)雜(za)質(zhi)(元素(su))及“物理雜(za)質(zhi)”(晶體(ti)缺陷),后(hou)者(zhe)是(shi)指位錯及空位等(deng),貴金屬復合材料哪家好,而化學(xue)雜(za)質(zhi)是(shi)指基體(ti)以外的(de)原子以代位或填隙(xi)等(deng)形(xing)式摻入。
但(dan)只當金(jin)(jin)屬(shu)純度達到很(hen)高(gao)的(de)標(biao)準時(shi)(如(ru)純度9以上的(de)金(jin)(jin)屬(shu)),貴(gui)金(jin)(jin)屬(shu)復合材(cai)料廠家(jia),物(wu)理雜(za)質的(de)概(gai)念才(cai)是(shi)有意(yi)義的(de),因(yin)此目前工(gong)業生產(chan)的(de)金(jin)(jin)屬(shu)仍是(shi)以化學雜(za)質的(de)含量作為(wei)標(biao)準,即以金(jin)(jin)屬(shu)中雜(za)質總含量為(wei)百(bai)萬(wan)分之幾表(biao)示。
在所有應用產業中,半(ban)導體產業對(dui)靶(ba)材(cai)(cai)濺射薄膜的(de)(de)(de)(de)品質要(yao)求是苛(ke)刻(ke)的(de)(de)(de)(de)。如(ru)今12英寸(300衄口)的(de)(de)(de)(de)硅晶片已(yi)制造出來.而互連線的(de)(de)(de)(de)寬(kuan)度(du)(du)(du)卻(que)在減小(xiao)。硅片制造商對(dui)靶(ba)材(cai)(cai)的(de)(de)(de)(de)要(yao)求是大(da)(da)尺寸、高(gao)純度(du)(du)(du)、低偏析(xi)和細(xi)晶粒,宿(su)州(zhou)貴金(jin)(jin)屬復合(he)材(cai)(cai)料,這就要(yao)求所制造的(de)(de)(de)(de)靶(ba)材(cai)(cai)具有更好的(de)(de)(de)(de)微觀結(jie)構(gou)。靶(ba)材(cai)(cai)的(de)(de)(de)(de)結(jie)晶粒子(zi)直徑(jing)和均(jun)勻性已(yi)被認為(wei)是影響薄膜沉積率的(de)(de)(de)(de)關(guan)鍵因素。另(ling)外,貴金(jin)(jin)屬復合(he)材(cai)(cai)料廠,薄膜的(de)(de)(de)(de)純度(du)(du)(du)與靶(ba)材(cai)(cai)的(de)(de)(de)(de)純度(du)(du)(du)關(guan)系(xi)極大(da)(da),過99.995%(4N5)純度(du)(du)(du)的(de)(de)(de)(de)銅靶(ba),或許能夠滿足半(ban)導體廠商0.35pm工藝的(de)(de)(de)(de)需求,但是卻(que)無(wu)法滿足如(ru)今0.25um的(de)(de)(de)(de)工藝要(yao)求。
在(zai)使(shi)用電子照相方法的(de)(de)(de)(de)(de)打印技術(shu)中,已(yi)經漸(jian)進實現(xian)高速打印操作、高質量圖像形(xing)(xing)(xing)成(cheng)、彩色(se)(se)像形(xing)(xing)(xing)成(cheng)、以及成(cheng)像裝(zhuang)置小(xiao)型(xing)化,并且變得(de)很普遍。色(se)(se)粉(fen)一(yi)直是(shi)這些改進的(de)(de)(de)(de)(de)關鍵。為滿足上(shang)述需要,必須形(xing)(xing)(xing)成(cheng)精(jing)細(xi)分配的(de)(de)(de)(de)(de)色(se)(se)粉(fen)顆(ke)粒(li),使(shi)得(de)色(se)(se)粉(fen)顆(ke)粒(li)的(de)(de)(de)(de)(de)直徑均一(yi),并且使(shi)得(de)色(se)(se)粉(fen)顆(ke)粒(li)呈(cheng)球形(xing)(xing)(xing)。至于形(xing)(xing)(xing)成(cheng)精(jing)細(xi)分配的(de)(de)(de)(de)(de)色(se)(se)粉(fen)顆(ke)粒(li)的(de)(de)(de)(de)(de)技術(shu),近(jin)已(yi)經開發(fa)出直徑不(bu)超(chao)過10nm的(de)(de)(de)(de)(de)色(se)(se)粉(fen)和不(bu)超(chao)過5pm的(de)(de)(de)(de)(de)色(se)(se)粉(fen)。至于使(shi)色(se)(se)粉(fen)呈(cheng)球形(xing)(xing)(xing)的(de)(de)(de)(de)(de)技術(shu),已(yi)經開發(fa)出球形(xing)(xing)(xing)度(du)99%以上(shang)的(de)(de)(de)(de)(de)色(se)(se)粉(fen)。
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