氦質譜檢(jian)漏(lou)系(xi)統(tong)(tong)是一種高靈敏(min)度的(de)(de)(de)(de)泄漏(lou)檢(jian)測(ce)(ce)設備(bei)，主要用于(yu)(yu)真(zhen)空(kong)系(xi)統(tong)(tong)中微小滲(shen)漏(lou)的(de)(de)(de)(de)查找和定位(wei)。它主要由主機(ji)、進氣(qi)管道組件、離子(zi)(zi)源(yuan)、收集(ji)極、高壓電(dian)源(yuan)、探測(ce)(ce)器等(deng)部分(fen)組成。該系(xi)統(tong)(tong)的(de)(de)(de)(de)功能是利用高速(su)流動(dong)的(de)(de)(de)(de)高純度惰性氣(qi)體(ti)（通常是氮或(huo)）流將待測(ce)(ce)區域與外部環(huan)境隔離，如果存在泄的(de)(de)(de)(de)話(hua)，那么在壓力(li)梯(ti)變的(de)(de)(de)(de)影(ying)響下空(kong)氣(qi)中的(de)(de)(de)(de)分(fen)子(zi)(zi)會從(cong)有(you)縫隙(xi)的(de)(de)(de)(de)地方跑出去形(xing)成氣(qi)泡(pao)，從(cong)而(er)產生聲學信(xin)號或(huo)者叫作粒子(zi)(zi)束，通過測(ce)(ce)量這(zhe)個聲音(yin)可以確定具體(ti)的(de)(de)(de)(de)漏(lou)洞位(wei)置(zhi)以及大小等(deng)信(xin)息。這(zhe)種技術對(dui)各(ge)種材(cai)料均不敏(min)感而(er)且對(dui)于(yu)(yu)很小的(de)(de)(de)(de)體(ti)積也(ye)(ye)可以進行準確的(de)(de)(de)(de)測(ce)(ce)定，pfeiffer氦質譜檢(jian)漏(lou)儀(yi)，因此廣泛應用于(yu)(yu)半(ban)導體(ti)工業中硅片芯(xin)片封裝環(huan)境的(de)(de)(de)(de)監測(ce)(ce)以防止晶圓損傷；也(ye)(ye)應用于(yu)(yu)大規模集(ji)成電(dian)路生產線上(shang)檢(jian)查每個密封件是否有(you)缺陷。

檢(jian)漏(lou)(lou)系統是一種(zhong)用于(yu)檢(jian)測(ce)(ce)泄(xie)漏(lou)(lou)的安全系統。它通(tong)過檢(jian)測(ce)(ce)環境中的泄(xie)漏(lou)(lou)來防止意(yi)外事故(gu)的發生(sheng)。它通(tong)常使用傳感器(qi)來檢(jian)測(ce)(ce)泄(xie)漏(lou)(lou)，例如氣體、液(ye)體或蒸汽。檢(jian)漏(lou)(lou)系統包括一個檢(jian)測(ce)(ce)器(qi)、一個報(bao)(bao)(bao)警(jing)器(qi)和一個控制器(qi)。檢(jian)測(ce)(ce)器(qi)會檢(jian)測(ce)(ce)到泄(xie)漏(lou)(lou)，并將泄(xie)漏(lou)(lou)的信息(xi)發送給報(bao)(bao)(bao)警(jing)器(qi)。報(bao)(bao)(bao)警(jing)器(qi)會發出警(jing)報(bao)(bao)(bao)，通(tong)知相關(guan)人員采取措施。，控制器(qi)會控制機械設備來關(guan)閉泄(xie)漏(lou)(lou)源。

氦質譜檢漏系(xi)統是(shi)一(yi)種高靈(ling)敏度的(de)氣體(ti)檢測(ce)儀器(qi)，它利用了帶電粒(li)子(zi)(zi)在磁場中偏轉的(de)原理(li)來識別不同原子(zi)(zi)量(liang)的(de)氣體(ti)。其(qi)工(gong)作過程如下：首先將待測(ce)容(rong)器(qi)充入惰性氣體(ti)（主要是(shi)氮氣），然后(hou)將管路(lu)(lu)接通真(zhen)空(kong)泵進行抽空(kong)處(chu)理(li)；接著打(da)開(kai)進樣閥使被探(tan)測(ce)的(de)氣體(ti)進入靜電引弧極間形成輝(hui)光放電而被離子(zi)(zi)化(hua)、激發而產生(sheng)正負電子(zi)(zi)流(liu)；之后(hou)由穩壓(ya)電源供給(gei)高壓(ya)于陰板(ban)和陽(yang)板(ban)上分(fen)別收(shou)集(ji)這(zhe)些自由電子(zi)(zi)并維持兩板(ban)的(de)導電回(hui)路(lu)(lu)閉合電路(lu)(lu)；通過測(ce)量(liang)出電流(liu)強度即可確定(ding)泄漏率的(de)大小或樣品(pin)中的(de)質量(liang)分(fen)數含(han)量(liang)。