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| 先生： |
分(fen)(fen)辨(bian)率是掃描(miao)電(dian)(dian)鏡基本的(de)性(xing)能判斷指標，首先(xian)我(wo)們要弄(nong)清掃描(miao)電(dian)(dian)鏡分(fen)(fen)辨(bian)率的(de)一些細節問(wen)題。
通常(chang)有關(guan)分(fen)辨率的問題(ti)，都會(hui)遵(zun)循(xun)瑞利判(pan)據。即一個(ge)光點(dian)按照衍(yan)(yan)射(she)理論會(hui)是一個(ge)衍(yan)(yan)射(she)斑，兩(liang)(liang)個(ge)光點(dian)逐步靠(kao)近(jin)時，對(dui)應的衍(yan)(yan)射(she)斑也從(cong)分(fen)離(li)趨于(yu)重合。當兩(liang)(liang)個(ge)衍(yan)(yan)射(she)斑的半高寬(kuan)重疊，則(ze)認為不(bu)可區分(fen)了。此時兩(liang)(liang)個(ge)衍(yan)(yan)射(she)斑之間的距離(li)即為分(fen)辨率，。
但一般單幀(zhen)圖像的儀器才(cai)完全符合(he)此規律(lv)，比(bi)如TEM、光學顯微鏡等。掃描電鏡的分(fen)辨率以瑞利判據為基礎(chu)，但也卻略有不(bu)同。掃描電鏡是屬于電子束移動(dong)型的，并不(bu)完全適(shi)用半高寬重合(he)的概念。
掃描電鏡的分辨率分為理論分辨率、驗收分辨率，和一般測試過程中能達到的分辨率。
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第4年
