氦(hai)(hai)質譜(pu)檢(jian)(jian)漏(lou)(lou)(lou)(lou)(lou)(lou)系(xi)統(tong)(tong)是(shi)一種用(yong)(yong)于(yu)檢(jian)(jian)測(ce)(ce)(ce)和(he)(he)(he)定位(wei)泄(xie)(xie)漏(lou)(lou)(lou)(lou)(lou)(lou)點(dian)(dian)的(de)(de)(de)(de)儀(yi)器(qi)(qi)。它通(tong)過測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)混合氣(qi)體(ti)中氦(hai)(hai)的(de)(de)(de)(de)濃度(du)變(bian)(bian)化來檢(jian)(jian)測(ce)(ce)(ce)泄(xie)(xie)漏(lou)(lou)(lou)(lou)(lou)(lou)，其(qi)原理是(shi)氦(hai)(hai)氣(qi)在不同(tong)溫度(du)和(he)(he)(he)壓力下會(hui)發(fa)生不同(tong)的(de)(de)(de)(de)濃度(du)變(bian)(bian)化，因此可以通(tong)過測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)這些變(bian)(bian)化來確(que)定泄(xie)(xie)漏(lou)(lou)(lou)(lou)(lou)(lou)點(dian)(dian)的(de)(de)(de)(de)位(wei)置。該系(xi)統(tong)(tong)通(tong)常由(you)氣(qi)體(ti)流(liu)(liu)量(liang)(liang)計(ji)、氦(hai)(hai)質譜(pu)檢(jian)(jian)測(ce)(ce)(ce)器(qi)(qi)、壓力傳感器(qi)(qi)和(he)(he)(he)電路控制(zhi)系(xi)統(tong)(tong)等(deng)組成。氣(qi)體(ti)流(liu)(liu)量(liang)(liang)計(ji)用(yong)(yong)于(yu)測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)混合氣(qi)體(ti)的(de)(de)(de)(de)流(liu)(liu)量(liang)(liang)，氦(hai)(hai)質譜(pu)檢(jian)(jian)測(ce)(ce)(ce)器(qi)(qi)用(yong)(yong)于(yu)檢(jian)(jian)測(ce)(ce)(ce)氦(hai)(hai)的(de)(de)(de)(de)濃度(du)變(bian)(bian)化，壓力傳感器(qi)(qi)用(yong)(yong)于(yu)測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)氣(qi)體(ti)壓力的(de)(de)(de)(de)變(bian)(bian)化，電路控制(zhi)系(xi)統(tong)(tong)用(yong)(yong)于(yu)控制(zhi)和(he)(he)(he)調節氦(hai)(hai)質譜(pu)檢(jian)(jian)測(ce)(ce)(ce)器(qi)(qi)的(de)(de)(de)(de)工作參數。當檢(jian)(jian)測(ce)(ce)(ce)到泄(xie)(xie)漏(lou)(lou)(lou)(lou)(lou)(lou)點(dian)(dian)時，系(xi)統(tong)(tong)會(hui)發(fa)出(chu)報(bao)警(jing)信號或觸發(fa)其(qi)他保(bao)護措(cuo)施，以防止泄(xie)(xie)漏(lou)(lou)(lou)(lou)(lou)(lou)點(dian)(dian)的(de)(de)(de)(de)進一步擴大(da)。該系(xi)統(tong)(tong)廣(guang)泛應用(yong)(yong)于(yu)石(shi)油(you)、化工、電力等(deng)行(xing)業，可用(yong)(yong)于(yu)檢(jian)(jian)測(ce)(ce)(ce)各種類型的(de)(de)(de)(de)泄(xie)(xie)漏(lou)(lou)(lou)(lou)(lou)(lou)，如(ru)氣(qi)體(ti)泄(xie)(xie)漏(lou)(lou)(lou)(lou)(lou)(lou)、液體(ti)泄(xie)(xie)漏(lou)(lou)(lou)(lou)(lou)(lou)和(he)(he)(he)蒸(zheng)汽(qi)泄(xie)(xie)漏(lou)(lou)(lou)(lou)(lou)(lou)等(deng)。總的(de)(de)(de)(de)來說，氦(hai)(hai)質譜(pu)檢(jian)(jian)漏(lou)(lou)(lou)(lou)(lou)(lou)系(xi)統(tong)(tong)是(shi)一種、的(de)(de)(de)(de)檢(jian)(jian)測(ce)(ce)(ce)儀(yi)器(qi)(qi)，可用(yong)(yong)于(yu)檢(jian)(jian)測(ce)(ce)(ce)和(he)(he)(he)定位(wei)各種類型的(de)(de)(de)(de)泄(xie)(xie)漏(lou)(lou)(lou)(lou)(lou)(lou)點(dian)(dian)，氦(hai)(hai)檢(jian)(jian)漏(lou)(lou)(lou)(lou)(lou)(lou)設(she)備，是(shi)保(bao)障(zhang)生產和(he)(he)(he)安全(quan)的(de)(de)(de)(de)重要設(she)備。

檢(jian)漏(lou)(lou)系統(tong)是(shi)一(yi)種用(yong)(yong)于(yu)檢(jian)測(ce)和(he)診斷管(guan)道泄漏(lou)(lou)的(de)(de)設(she)備(bei)和(he)技術。它通(tong)過檢(jian)測(ce)流體中(zhong)的(de)(de)泄漏(lou)(lou)來(lai)確定(ding)管(guan)道是(shi)否(fou)存(cun)在泄漏(lou)(lou)。檢(jian)漏(lou)(lou)系統(tong)通(tong)常由傳感器(qi)、控(kong)制(zhi)(zhi)器(qi)和(he)執(zhi)行(xing)器(qi)組成，其中(zhong)傳感器(qi)用(yong)(yong)于(yu)檢(jian)測(ce)流體泄漏(lou)(lou)，控(kong)制(zhi)(zhi)器(qi)用(yong)(yong)于(yu)控(kong)制(zhi)(zhi)和(he)調節流體流量，而執(zhi)行(xing)器(qi)則用(yong)(yong)于(yu)執(zhi)行(xing)修(xiu)復或關閉泄漏(lou)(lou)的(de)(de)操作。檢(jian)漏(lou)(lou)系統(tong)廣泛應(ying)用(yong)(yong)于(yu)石油、、化工、電力(li)和(he)煤炭等行(xing)業，可以有效(xiao)地減少泄漏(lou)(lou)對環境和(he)人類健康(kang)的(de)(de)危害，提高(gao)生產效(xiao)率和(he)安全性(xing)。

氦質譜(pu)檢(jian)漏(lou)系統是一種(zhong)高(gao)(gao)(gao)靈敏(min)度的泄漏(lou)檢(jian)測(ce)(ce)設備，主要用于(yu)真空(kong)系統中微(wei)小滲(shen)漏(lou)的查找和(he)定位。它主要由主機、進氣管(guan)道(dao)組件、離子源、收集(ji)極(ji)、高(gao)(gao)(gao)壓(ya)電源、探測(ce)(ce)器等部(bu)分(fen)組成(cheng)。該系統的功(gong)能(neng)是利用高(gao)(gao)(gao)速流動(dong)的高(gao)(gao)(gao)純度惰性氣體(ti)(ti)（通常是氮或）流將待(dai)測(ce)(ce)區域(yu)與外部(bu)環境隔離，如果存在(zai)泄的話，那(nei)么在(zai)壓(ya)力梯(ti)變的影(ying)響(xiang)下空(kong)氣中的分(fen)子會從有(you)縫隙(xi)的地方(fang)跑出去形成(cheng)氣泡(pao)，從而產生聲(sheng)學信號或者叫作粒子束，通過(guo)測(ce)(ce)量這個聲(sheng)音可(ke)以(yi)(yi)確(que)定具體(ti)(ti)的漏(lou)洞位置(zhi)以(yi)(yi)及(ji)大(da)(da)小等信息。這種(zhong)技術(shu)對(dui)各種(zhong)材料(liao)均不敏(min)感而且對(dui)于(yu)很小的體(ti)(ti)積(ji)也可(ke)以(yi)(yi)進行準(zhun)確(que)的測(ce)(ce)定，因此廣泛(fan)應用于(yu)半導體(ti)(ti)工業(ye)中硅片芯片封(feng)裝環境的監測(ce)(ce)以(yi)(yi)防止晶圓(yuan)損傷；也應用于(yu)大(da)(da)規模集(ji)成(cheng)電路生產線上檢(jian)查每(mei)個密封(feng)件是否有(you)缺陷。