凈化(hua)方案(an)一：組(zu)合式空(kong)(kong)氣處理機(ji)(ji)(ji)組(zu)+冷(leng)(leng)水機(ji)(ji)(ji)組(zu)+高效(xiao)(xiao)(xiao)送風(feng)口：這是一個(ge)傳統的(de)(de)(de)凈化(hua)空(kong)(kong)調(diao)系統的(de)(de)(de)設計(ji)方案(an)。組(zu)合式空(kong)(kong)氣處理機(ji)(ji)(ji)組(zu)里含有各種(zhong)功能段(duan)(duan)，如混合段(duan)(duan)、初效(xiao)(xiao)(xiao)過濾(lv)段(duan)(duan)、表冷(leng)(leng)段(duan)(duan)、二(er)(er)次回風(feng)段(duan)(duan)(或中(zhong)間段(duan)(duan))加熱(re)段(duan)(duan)、加濕段(duan)(duan)、中(zhong)效(xiao)(xiao)(xiao)過濾(lv)段(duan)(duan)、風(feng)機(ji)(ji)(ji)段(duan)(duan)等。其冷(leng)(leng)源由冷(leng)(leng)水機(ji)(ji)(ji)組(zu)提(ti)供(gong)。凈化(hua)方案(an)二(er)(er)：水冷(leng)(leng)柜(ju)機(ji)(ji)(ji)+增壓(ya)風(feng)柜(ju)+高效(xiao)(xiao)(xiao)送風(feng)口：與前種(zhong)方案(an)比較，這是相對比較簡單的(de)(de)(de)空(kong)(kong)調(diao)方案(an)。它可(ke)(ke)以大大地縮小機(ji)(ji)(ji)房(fang)的(de)(de)(de)面積，水冷(leng)(leng)柜(ju)機(ji)(ji)(ji)可(ke)(ke)以根(gen)據具體的(de)(de)(de)情況布置于較小機(ji)(ji)(ji)房(fang)內(nei)(nei)或凈化(hua)車間內(nei)(nei)，增壓(ya)風(feng)柜(ju)也可(ke)(ke)以布置于機(ji)(ji)(ji)房(fang)內(nei)(nei)或吊在(zai)機(ji)(ji)(ji)房(fang)內(nei)(nei)或在(zai)夾(jia)層內(nei)(nei)。

保濕性能好，強度高，隔熱保溫，光學材料凈化車間設計，芯材導熱系數：λ

和其(qi)他產業不同，集(ji)成(cheng)電路(lu)產業鏈幾(ji)乎所(suo)有(you)環(huan)(huan)節都需要在(zai)潔(jie)凈室(shi)內完成(cheng)，從單晶硅片(pian)制(zhi)(zhi)(zhi)造(zao)(zao)，到IC制(zhi)(zhi)(zhi)造(zao)(zao)的(de)(de)(de)幾(ji)乎所(suo)有(you)環(huan)(huan)節，到IC封裝都需要在(zai)潔(jie)凈室(shi)中完成(cheng)，且對(dui)于(yu)潔(jie)凈度的(de)(de)(de)要求非常高(gao)。如，14納米(mi)工藝中7納米(mi)的(de)(de)(de)微粒就(jiu)會影(ying)響制(zhi)(zhi)(zhi)造(zao)(zao)過程。集(ji)成(cheng)電路(lu)制(zhi)(zhi)(zhi)造(zao)(zao)過程需要的(de)(de)(de)潔(jie)凈程度越來(lai)越高(gao)，對(dui)于(yu)潔(jie)凈室(shi)工程的(de)(de)(de)技(ji)術(shu)提(ti)出越來(lai)越高(gao)的(de)(de)(de)要求。潔(jie)凈室(shi)工程是集(ji)成(cheng)電路(lu)制(zhi)(zhi)(zhi)造(zao)(zao)環(huan)(huan)節中重要的(de)(de)(de)一環(huan)(huan)，直接決定了(le)終(zhong)產品的(de)(de)(de)成(cheng)敗(bai)。