干(gan)(gan)(gan)泵(beng)(beng);國(guo)外干(gan)(gan)(gan)泵(beng)(beng)市場(chang)的不(bu)斷增長(chang)，其主要驅動來自于半導(dao)體(ti)行業(ye)(ye)、化學(xue)工業(ye)(ye)、薄(bo)膜產業(ye)(ye)的迅速(su)發展。在日本，半導(dao)體(ti)行業(ye)(ye)已全(quan)部(bu)用干(gan)(gan)(gan)式(shi)真(zhen)(zhen)空(kong)泵(beng)(beng)代替油封式(shi)機械泵(beng)(beng)，歐(ou)美半導(dao)體(ti)行業(ye)(ye)45%以上用干(gan)(gan)(gan)式(shi)真(zhen)(zhen)空(kong)泵(beng)(beng)代替了(le)油封式(shi)機械泵(beng)(beng)，大大提(ti)高(gao)了(le)產品的性能和質量。為了(le)滿足(zu)不(bu)同應(ying)用領(ling)域和不(bu)同工況(kuang)的要求(qiu)，國(guo)外有多級(ji)羅茨真(zhen)(zhen)空(kong)泵(beng)(beng)、多級(ji)爪式(shi)真(zhen)(zhen)空(kong)泵(beng)(beng)、螺桿式(shi)真(zhen)(zhen)空(kong)泵(beng)(beng)、渦旋式(shi)真(zhen)(zhen)空(kong)泵(beng)(beng)、往復式(shi)活塞真(zhen)(zhen)空(kong)泵(beng)(beng)以及(ji)渦輪式(shi)無油真(zhen)(zhen)空(kong)泵(beng)(beng)等。極限壓力從10Pa～10-2Pa，抽(chou)速(su)從20m3/h～500m3/h。

在(zai)(zai)確(que)定(ding)了工(gong)(gong)(gong)藝(yi)(yi)要(yao)求的(de)(de)(de)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)度(du)的(de)(de)(de)基(ji)礎(chu)上檢(jian)查真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)泵(beng)系(xi)(xi)(xi)統(tong)的(de)(de)(de)極(ji)限(xian)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)度(du)，因(yin)(yin)為系(xi)(xi)(xi)統(tong)的(de)(de)(de)極(ji)限(xian)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)度(du)決定(ding)了系(xi)(xi)(xi)統(tong)的(de)(de)(de)佳(jia)工(gong)(gong)(gong)作(zuo)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)度(du)。一般來(lai)講，系(xi)(xi)(xi)統(tong)的(de)(de)(de)極(ji)限(xian)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)度(du)比系(xi)(xi)(xi)統(tong)的(de)(de)(de)工(gong)(gong)(gong)作(zuo)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)度(du)低20%，比前級泵(beng)的(de)(de)(de)極(ji)限(xian)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)度(du)低50%。檢(jian)查確(que)定(ding)工(gong)(gong)(gong)藝(yi)(yi)要(yao)求的(de)(de)(de)抽(chou)(chou)氣(qi)種類與(yu)(yu)抽(chou)(chou)氣(qi)量。因(yin)(yin)為如果被抽(chou)(chou)氣(qi)體(ti)種類與(yu)(yu)泵(beng)內液體(ti)發(fa)生(sheng)反(fan)應(ying)，泵(beng)系(xi)(xi)(xi)統(tong)將(jiang)被污染(ran)。同時(shi)必須考慮(lv)確(que)定(ding)合(he)適的(de)(de)(de)排氣(qi)時(shi)間(jian)與(yu)(yu)抽(chou)(chou)氣(qi)過程中(zhong)產(chan)生(sheng)的(de)(de)(de)氣(qi)體(ti)量。檢(jian)查確(que)定(ding)達(da)到(dao)要(yao)求的(de)(de)(de)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)度(du)所需要(yao)的(de)(de)(de)時(shi)間(jian)、真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)管道的(de)(de)(de)流阻(zu)與(yu)(yu)泄(xie)漏。考慮(lv)達(da)到(dao)要(yao)求真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)度(du)后在(zai)(zai)一定(ding)工(gong)(gong)(gong)藝(yi)(yi)要(yao)求條(tiao)件下維持真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)需要(yao)的(de)(de)(de)抽(chou)(chou)氣(qi)速率。

真(zhen)空泵(beng)(beng)的(de)(de)好壞決(jue)定于其機械結構和(he)油的(de)(de)質(zhi)量，使(shi)用(yong)(yong)(yong)(yong)真(zhen)空泵(beng)(beng)時必須(xu)把它保(bao)護好。如(ru)果(guo)蒸(zheng)(zheng)餾(liu)揮發性(xing)較大的(de)(de)時，會被油吸收(shou)結果(guo)增加了蒸(zheng)(zheng)氣壓，從而降(jiang)低了抽(chou)空效能(neng)，如(ru)果(guo)是(shi)酸性(xing)氣體(ti)，那就會腐蝕(shi)油泵(beng)(beng)，如(ru)果(guo)是(shi)水(shui)(shui)蒸(zheng)(zheng)氣就會使(shi)油成(cheng)乳(ru)濁液而抽(chou)壞真(zhen)空泵(beng)(beng)。因(yin)此使(shi)用(yong)(yong)(yong)(yong)真(zhen)空泵(beng)(beng)時必須(xu)注意下(xia)列幾(ji)點(dian)：在(zai)蒸(zheng)(zheng)餾(liu)系統和(he)真(zhen)空泵(beng)(beng)之間，必須(xu)裝有吸收(shou)裝置(zhi)。蒸(zheng)(zheng)餾(liu)前必須(xu)用(yong)(yong)(yong)(yong)水(shui)(shui)泵(beng)(beng)抽(chou)去系統中的(de)(de)蒸(zheng)(zheng)氣。如(ru)能(neng)用(yong)(yong)(yong)(yong)水(shui)(shui)泵(beng)(beng)抽(chou)氣的(de)(de)，則盡量用(yong)(yong)(yong)(yong)水(shui)(shui)泵(beng)(beng)，如(ru)蒸(zheng)(zheng)餾(liu)物(wu)質(zhi)中含(han)有揮發性(xing)物(wu)質(zhi)，可先用(yong)(yong)(yong)(yong)水(shui)(shui)泵(beng)(beng)減壓抽(chou)降(jiang)，然后改(gai)用(yong)(yong)(yong)(yong)油泵(beng)(beng)。減壓系統必須(xu)保(bao)持密不漏氣，所有的(de)(de)橡(xiang)皮(pi)塞(sai)的(de)(de)大小和(he)孔道(dao)要合適(shi)，橡(xiang)皮(pi)管(guan)要用(yong)(yong)(yong)(yong)真(zhen)空用(yong)(yong)(yong)(yong)的(de)(de)橡(xiang)皮(pi)管(guan)。磨(mo)口玻璃涂上真(zhen)空油脂(zhi)。