流量控制器

怎樣進行不同(tong)氣體的質量(liang)流量(liang)換算？

產品出廠(chang)一般是按氮(dan)氣(qi)(qi)標定(ding)(ding)﹑按氮(dan)氣(qi)(qi)流(liu)量(liang)確定(ding)(ding)流(liu)量(liang)規(gui)格。用同一規(gui)格的MFM/MFC測量(liang)不同的氣(qi)(qi)體(ti)，當流(liu)量(liang)檢測值相(xiang)同時，液體(ti)質(zhi)量(liang)流(liu)量(liang)計哪里有，實際(ji)的流(liu)量(liang)值可能(neng)不同。我們在(zai)說明書中給出了不同氣(qi)(qi)體(ti)相(xiang)對(dui)于(yu)標定(ding)(ding)氣(qi)(qi)體(ti)（氮(dan)氣(qi)(qi)）的質(zhi)量(liang)流(liu)量(liang)轉換(huan)系數。

如果(guo)您使(shi)(shi)用的(de)產(chan)品(pin)(pin)是標(biao)(biao)準出廠產(chan)品(pin)(pin)（按氮氣標(biao)(biao)定顯示(shi)），而需要知道實(shi)際使(shi)(shi)用氣體的(de)質量流(liu)量時(shi)，先在產(chan)品(pin)(pin)說明書中找到實(shi)際使(shi)(shi)用氣體的(de)轉(zhuan)換系數(shu)(shu)。在測量過程中，以(yi)此(ci)系數(shu)(shu)乘(cheng)以(yi)流(liu)量顯示(shi)值(zhi)即是實(shi)際使(shi)(shi)用氣體的(de)質量流(liu)量；反之，在確定所購(gou)產(chan)品(pin)(pin)的(de)量程時(shi)，以(yi)實(shi)際使(shi)(shi)用氣體的(de)期望(wang)流(liu)量值(zhi)除以(yi)轉(zhuan)換系數(shu)(shu)，即是相應的(de)氮氣標(biao)(biao)定產(chan)品(pin)(pin)的(de)流(liu)量值(zhi)。

空氣、O2﹑H2﹑CO﹑HCL、HF等氣體，其轉換系數約為1.0 ， 一般可直接用按氮氣標定顯示的產品，不必換算。

流量控制器在高壓條件(jian)下如何(he)使用?

質量(liang)流(liu)量(liang)控制器的工作(zuo)壓(ya)(ya)差(cha)(cha)范(fan)圍通常比(bi)較小， 要(yao)(yao)(yao)在(zai)(zai)(zai)高壓(ya)(ya)條(tiao)件(jian)(jian)下正常使用需要(yao)(yao)(yao)特(te)別注意三點: 一， 是要(yao)(yao)(yao)選擇耐(nai)壓(ya)(ya)符合要(yao)(yao)(yao)求的MFC; 二(er)， 是要(yao)(yao)(yao)挑選工作(zuo)壓(ya)(ya)差(cha)(cha)范(fan)圍大的產品型號;  三， 要(yao)(yao)(yao)在(zai)(zai)(zai)MFC氣(qi)路前(qian)面加(jia)(jia)減壓(ya)(ya)閥(fa)， 穩(wen)(wen)定(ding)入口(kou)(kou)氣(qi)壓(ya)(ya)， 在(zai)(zai)(zai)MFC下游加(jia)(jia)背(bei)壓(ya)(ya)閥(fa)，智能(neng)電磁流(liu)量(liang)計哪里有， 穩(wen)(wen)定(ding)反應室(shi)和(he)MFC出口(kou)(kou)的氣(qi)壓(ya)(ya)， 適當調節減壓(ya)(ya)閥(fa)和(he)背(bei)壓(ya)(ya)閥(fa)， 要(yao)(yao)(yao)保證(zheng)MFC的工作(zuo)壓(ya)(ya)差(cha)(cha)不(bu)會超過規定(ding)的范(fan)圍。只要(yao)(yao)(yao)做到以上三點，  MFC就能(neng)夠在(zai)(zai)(zai)高壓(ya)(ya)條(tiao)件(jian)(jian)下穩(wen)(wen)定(ding)工作(zuo)。

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流量控制器分類

熱(re)式質量流量器根據熱(re)源及測(ce)溫方式的不同可分為接觸(chu)式和非接觸(chu)式兩種(zhong)。

1．接(jie)觸式(shi)熱(re)式(shi)質量(liang)流量(liang)器這種(zhong)質量(liang)流量(liang)計的(de)加熱(re)元件(jian)和(he)測(ce)溫元件(jian)都置于(yu)被測(ce)流體(ti)的(de)管道內，與流體(ti)直(zhi)接(jie)接(jie)觸，常被稱為托馬斯流量(liang)計，適(shi)于(yu)測(ce)量(liang)氣體(ti)的(de)較大質量(liang)流量(liang). 由于(yu)加熱(re)及(ji)測(ce)量(liang)元件(jian)與被測(ce)流體(ti)直(zhi)接(jie)接(jie)觸，因(yin)此元件(jian)易受(shou)流體(ti)腐蝕和(he)磨損，影響儀表的(de)測(ce)量(liang)靈敏度和(he)使用壽命。測(ce)量(liang)高流速、有(you)腐蝕性的(de)流體(ti)時不(bu)宜選用，流量(liang)計哪里有(you)，這是接(jie)觸式(shi)的(de)缺點。

2．非接觸式熱式質(zhi)量流量器這種流量計的(de)加熱及測溫(wen)元件(jian)都(dou)置于(yu)流體(ti)管道外，與被測流體(ti)不(bu)直接接觸，克服了接觸式的(de)缺點。

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