電機(ji)(ji)溫(wen)度高(gao)某公(gong)司的(de)300MW機(ji)(ji)組(zu)，每臺(tai)(tai)機(ji)(ji)組(zu)配備2臺(tai)(tai)機(ji)(ji)械真空泵(beng)，其中1臺(tai)(tai)運(yun)行，1臺(tai)(tai)備用(yong)。真空泵(beng)用(yong)于機(ji)(ji)組(zu)啟動時(shi)(shi)抽真空，正(zheng)常運(yun)行時(shi)(shi)用(yong)于抽出凝汽器(qi)中未凝結的(de)氣體。該泵(beng)配備電機(ji)(ji)160kW，轉速590r/min，額定電流330A，電壓380V，B級絕緣(yuan)，正(zheng)常運(yun)行時(shi)(shi)電流220～230A。每年夏(xia)季，電機(ji)(ji)溫(wen)度都(dou)會超限，加裝臨時(shi)(shi)冷卻風機(ji)(ji)，但收效不大(da)。電機(ji)(ji)長期高(gao)溫(wen)運(yun)行會造成絕緣(yuan)老化，縮短其使(shi)用(yong)壽命。

流量(liang)單(dan)位(wei)時(shi)間流過(guo)任(ren)意(yi)截面(mian)的氣(qi)(qi)體(ti)量(liang)，符(fu)號用“Q”表示(shi)(shi)，單(dan)位(wei)為帕(pa)·升/秒（Pa·L/s）或托·升/秒（Torr·L/s）。流導表示(shi)(shi)真(zhen)(zhen)(zhen)空管(guan)(guan)道(dao)通過(guo)氣(qi)(qi)體(ti)的能力。單(dan)位(wei)為升/秒（L/s），在(zai)穩定狀態下，管(guan)(guan)道(dao)流導等于管(guan)(guan)道(dao)流量(liang)除以管(guan)(guan)道(dao)兩端壓(ya)(ya)強(qiang)差。符(fu)號記作“U”。標準(zhun)大氣(qi)(qi)壓(ya)(ya)壓(ya)(ya)強(qiang)為每(mei)平方厘(li)米101325達因(yin)的氣(qi)(qi)壓(ya)(ya)，符(fu)號：（Atm）。極(ji)限(xian)真(zhen)(zhen)(zhen)空真(zhen)(zhen)(zhen)空容器經充分(fen)(fen)抽氣(qi)(qi)后，穩定在(zai)某一(yi)真(zhen)(zhen)(zhen)空度，此真(zhen)(zhen)(zhen)空度稱為極(ji)限(xian)真(zhen)(zhen)(zhen)空。通常真(zhen)(zhen)(zhen)空容器須經12小時(shi)煉(lian)氣(qi)(qi)，再(zai)經12小時(shi)抽真(zhen)(zhen)(zhen)空，一(yi)個小時(shi)每(mei)隔10分(fen)(fen)鐘測量(liang)一(yi)次，取(qu)其10次的平均值(zhi)為極(ji)限(xian)真(zhen)(zhen)(zhen)空值(zhi)。

分(fen)(fen)(fen)(fen)(fen)子泵(beng)：分(fen)(fen)(fen)(fen)(fen)子泵(beng)在國外(wai)半導體領(ling)域里的(de)許多(duo)工(gong)藝場(chang)(chang)合是用(yong)(yong)來代替低溫(wen)(wen)泵(beng)，尤其(qi)是濺射(she)、刻蝕和(he)LCVD等裝(zhuang)置(zhi)都采用(yong)(yong)復合分(fen)(fen)(fen)(fen)(fen)子泵(beng)和(he)牽(qian)引(yin)泵(beng)作為主泵(beng)。由(you)于分(fen)(fen)(fen)(fen)(fen)子泵(beng)對水蒸(zheng)(zheng)氣的(de)抽(chou)速僅為同(tong)口徑低溫(wen)(wen)泵(beng)抽(chou)速的(de)四分(fen)(fen)(fen)(fen)(fen)之一(yi)，所以(yi)分(fen)(fen)(fen)(fen)(fen)子泵(beng)的(de)排氣時間比低溫(wen)(wen)泵(beng)長。為了提(ti)高抽(chou)速，國外(wai)在分(fen)(fen)(fen)(fen)(fen)子泵(beng)的(de)入口側裝(zhuang)一(yi)個-130℃～-150℃的(de)低溫(wen)(wen)冷板(ban)，稱之為低溫(wen)(wen)分(fen)(fen)(fen)(fen)(fen)子泵(beng)，水蒸(zheng)(zheng)氣被低溫(wen)(wen)板(ban)捕獲，其(qi)他(ta)氣體則(ze)由(you)分(fen)(fen)(fen)(fen)(fen)子泵(beng)抽(chou)走。這種低溫(wen)(wen)分(fen)(fen)(fen)(fen)(fen)子泵(beng)在真空鍍(du)膜裝(zhuang)置(zhi)上應(ying)用(yong)(yong)，既提(ti)高了生產(chan)效率又改(gai)善(shan)了膜層質(zhi)量。隨著中國半導體工(gong)業(ye)、薄膜產(chan)業(ye)和(he)科學研(yan)究事業(ye)迅速發展，分(fen)(fen)(fen)(fen)(fen)子泵(beng)應(ying)該是中國真空泵(beng)制造業(ye)發展的(de)重點。首先，分(fen)(fen)(fen)(fen)(fen)子泵(beng)要從小(xiao)到大建(jian)立完整系(xi)列，以(yi)滿(man)足不(bu)同(tong)場(chang)(chang)合的(de)需(xu)要。