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分辨(bian)(bian)率是(shi)掃描電鏡基本的(de)(de)性能判斷指標(biao),首先我(wo)們(men)要弄清掃描電鏡分辨(bian)(bian)率的(de)(de)一些細節問題。
通常有(you)關分(fen)辨(bian)率的問題,都會(hui)遵循(xun)瑞(rui)利判據(ju)。即一個光點(dian)按照(zhao)衍(yan)(yan)射(she)理論會(hui)是一個衍(yan)(yan)射(she)斑(ban),兩(liang)(liang)個光點(dian)逐步靠近(jin)時,對應的衍(yan)(yan)射(she)斑(ban)也從分(fen)離趨于重合。當(dang)兩(liang)(liang)個衍(yan)(yan)射(she)斑(ban)的半高寬重疊,則認為不(bu)可區(qu)分(fen)了。此時兩(liang)(liang)個衍(yan)(yan)射(she)斑(ban)之間的距離即為分(fen)辨(bian)率,。
但一般單(dan)幀圖像的(de)(de)儀器才(cai)完全(quan)符合(he)此規律,比如TEM、光學顯微鏡等。掃描電(dian)鏡的(de)(de)分辨率(lv)以(yi)瑞利(li)判據為(wei)基礎(chu),但也卻(que)略有不同。掃描電(dian)鏡是屬(shu)于電(dian)子束(shu)移(yi)動型的(de)(de),并不完全(quan)適用半高寬(kuan)重合(he)的(de)(de)概念。
掃描電鏡的分辨率分為理論分辨率、驗收分辨率,植物自噬透射電鏡技術服務,和一般測試過程中能達到的分辨率。
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