質量流量控制器(qi)的使用范圍和控制范圍有多廣泛？

關于氣體質量流量計(ji)的標準狀(zhuang)態，主要(yao)是指在(zai)標準狀(zhuang)況(kuang)（STP）0℃( 273K)、1.01×10^5Pa下(xia)，1摩(mo)爾(er)(er)(er)任(ren)何理想(xiang)氣體所(suo)占的體積都約(yue)為(wei)22.4升，這(zhe)個體積叫做(zuo)該氣體的摩(mo)爾(er)(er)(er)體積，多晶爐流量計(ji)哪里有，單位(wei)是L/ mol（升/摩(mo)爾(er)(er)(er)） ，即標準狀(zhuang)況(kuang)下(xia)(STP)氣體摩(mo)爾(er)(er)(er)體積為(wei) 22．4L/mol。在(zai)25℃，1.01×10^5Pa時氣體摩(mo)爾(er)(er)(er)的體積約(yue)24.5L/mol。

采用全新的(de)進口傳感(gan)技術以及(ji)高(gao)(gao)精度的(de)機械加工(gong)技術，能實(shi)現微小流量測量和控制，其特點是可靠(kao)性高(gao)(gao)、重(zhong)復性好(hao)，壓(ya)(ya)損小，無可動部件，量程(cheng)比(bi)寬，高(gao)(gao)壓(ya)(ya)氣(qi)(qi)體(ti)流量計(ji)哪里有，響應(ying)時間較快，測量精度高(gao)(gao)，無需要溫度壓(ya)(ya)力補償(chang)，廣(guang)泛應(ying)用于輕工(gong)化工(gong)環保及(ji)半導體(ti)等工(gong)業部門(men)的(de)空氣(qi)(qi)、氧(yang)氣(qi)(qi)、氬氣(qi)(qi)、氮氣(qi)(qi)等氣(qi)(qi)體(ti)的(de)檢測和控制。

熱(re)式氣體質量(liang)(liang)流(liu)量(liang)(liang)控(kong)制(zhi)器(qi)和熱(re)式流(liu)量(liang)(liang)計(ji)是基(ji)于熱(re)擴散原(yuan)理而設計(ji)的(de)(de)流(liu)量(liang)(liang)儀表。即(ji)利用(yong)流(liu)體流(liu)過(guo)發熱(re)物體時，發熱(re)物體的(de)(de)熱(re)量(liang)(liang)散失(shi)多少與流(liu)體的(de)(de)流(liu)量(liang)(liang)呈一(yi)定(ding)的(de)(de)比例關(guan)系(xi)。該(gai)系(xi)列流(liu)量(liang)(liang)計(ji)的(de)(de)傳(chuan)感器(qi)有兩(liang)只標準(zhun)級的(de)(de)RTD，一(yi)只用(yong)來(lai)做(zuo)熱(re)源，一(yi)只用(yong)來(lai)測量(liang)(liang)流(liu)體溫度，當流(liu)體流(liu)動時，湖南(nan)流(liu)量(liang)(liang)計(ji)哪里有，兩(liang)者之(zhi)間的(de)(de)溫度差與流(liu)量(liang)(liang)的(de)(de)大小成線性關(guan)系(xi)，再通過(guo)微電子(zi)控(kong)制(zhi)技(ji)術，將(jiang)這種關(guan)系(xi)轉換為(wei)測量(liang)(liang)流(liu)量(liang)(liang)信號的(de)(de)線性輸出。

流(liu)(liu)量(liang)控制器的應用中IST流(liu)(liu)量(liang)傳感(gan)器的作用

IST-AG通(tong)過特殊的(de)薄膜工(gong)藝，將高精度(du)加熱(re)器(qi)(qi)，溫(wen)度(du)傳(chuan)(chuan)(chuan)感(gan)器(qi)(qi)或(huo)電(dian)堆封裝在(zai)單一芯片內，構成流(liu)量測量的(de)主(zhu)要傳(chuan)(chuan)(chuan)感(gan)單元（Figure 2） ，通(tong)過流(liu)量傳(chuan)(chuan)(chuan)感(gan)器(qi)(qi)以(yi)響應絕(jue)大多數流(liu)量測量場(chang)景，薄膜技術的(de)應用使得IST AG流(liu)量傳(chuan)(chuan)(chuan)感(gan)器(qi)(qi)具有很好的(de)結構與(yu)性能優勢(shi)。為此IST流(liu)量傳(chuan)(chuan)(chuan)感(gan)器(qi)(qi)在(zai)MFC中(zhong)的(de)應用工(gong)采網推薦(jian)瑞士IST 質量流(liu)量傳(chuan)(chuan)(chuan)感(gan)器(qi)(qi) - FS5.0.1L.195的(de)升級版IST-AG FS7流(liu)量傳(chuan)(chuan)(chuan)感(gan)器(qi)(qi)。

IST公(gong)司的FS5.0.1L.195是一個(ge)熱質流(liu)(liu)(liu)(liu)量(liang)傳(chuan)(chuan)感器(qi)，用于各種氣流(liu)(liu)(liu)(liu)應用.熱質流(liu)(liu)(liu)(liu)量(liang)傳(chuan)(chuan)感器(qi)使用熱傳(chuan)(chuan)遞原則，確定(ding)流(liu)(liu)(liu)(liu)體(ti)的流(liu)(liu)(liu)(liu)率(lv).隨著(zhu)流(liu)(liu)(liu)(liu)體(ti)通過傳(chuan)(chuan)感器(qi)，熱質由(you)傳(chuan)(chuan)感器(qi)傳(chuan)(chuan)遞到媒(mei)體(ti).此關序取(qu)決于流(liu)(liu)(liu)(liu)動(dong)速率(lv).隨著(zhu)流(liu)(liu)(liu)(liu)動(dong)增加(jia)，熱量(liang)被傳(chuan)(chuan)遞.通過了解(jie)媒(mei)體(ti)的溫度(du)，即(ji)可(ke)通過為保持恒定(ding)溫度(du)差的電壓補償量(liang)得出流(liu)(liu)(liu)(liu)速。

而IST-AG FS7流量傳感器(qi)(qi)寬廣的測(ce)量范圍允許將(jiang)傳感器(qi)(qi)直接置于被測(ce)氣路當中(zhong)，免去復雜的旁(pang)路設計。傳感器(qi)(qi)具有(you)陶瓷(ci)基(ji)底與(yu)鈍化玻(bo)璃層進行保護，具有(you)較佳的長(chang)期穩(wen)定(ding)性。

因(yin)此在終端(duan)應用中，質量(liang)(liang)流量(liang)(liang)控制器的(de)可靠性多(duo)半是許多(duo)半導體工藝(yi)的(de)基(ji)礎(chu)。MFC 的(de)失準(zhun)或制造缺陷會(hui)導致晶圓產量(liang)(liang)下降，甚至會(hui)損(sun)壞整個晶圓。采用IST流量(liang)(liang)傳感器則可以為MFC產品帶來如(ru)下優勢:

1、足夠寬(kuan)的測(ce)量范圍使(shi)得在(zai)許多場景中不必(bi)使(shi)用旁路，而(er)進(jin)行直(zhi)接測(ce)量，提(ti)高測(ce)量的準確性。

2、薄膜技術帶來極高的(de)響應(ying)靈敏度，在(zai)一(yi)般(ban)測(ce)量狀(zhuang)態就可以瞬間響應(ying)壓力浪涌。

3、小巧的(de)體(ti)積與簡單的(de)安裝方式，給氣(qi)路結構優化創造更大的(de)空間。

很多(duo)朋友對熱式氣體質量(liang)流(liu)量(liang)控制(zhi)(zhi)器和(he)質量(liang)流(liu)量(liang)計(ji)(ji)的(de)單(dan)位(wei)還有不理(li)解的(de)地(di)方，今(jin)天咱們就來好好理(li)解一(yi)下(xia)流(liu)量(liang)控制(zhi)(zhi)器和(he)流(liu)量(liang)計(ji)(ji)在生活中所常用的(de)單(dan)位(wei)。質量(liang)流(liu)量(liang)計(ji)(ji)和(he)流(liu)量(liang)控制(zhi)(zhi)器的(de)工作原(yuan)理(li)

一(yi)般地，質量(liang)(liang)(liang)(liang)流(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)控(kong)(kong)制(zhi)器和(he)質量(liang)(liang)(liang)(liang)流(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)計的(de)單位都(dou)是以sccm（毫升/分鐘）和(he)slm（升/分鐘）表(biao)示；s代表(biao)stand，指(zhi)標準狀況下；cc指(zhi)毫升；l指(zhi)升；m代表(biao)minute，指(zhi)分鐘；其實這(zhe)就意味著，流(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)控(kong)(kong)制(zhi)器在(zai)不(bu)同的(de)使用(yong)條件下，指(zhi)示的(de)流(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)全都(dou)是標準狀態(tai)下的(de)流(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)。松盛(sheng)測(ce)控(kong)(kong)將標準狀態(tai)規定(ding)為(wei)：氣壓—101325Pa (760mm Hg)； 溫度—20℃ (273.15K)。這(zhe)是這(zhe)種(zhong)儀表(biao)和(he)其它(ta)流(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)計的(de)重(zhong)要區別，也(ye)是sccm、slm不(bu)同于mL/min、L/min 的(de)地方。怎么(me)樣區分熱式氣體質量(liang)(liang)(liang)(liang)流(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)控(kong)(kong)制(zhi)器與(yu)質量(liang)(liang)(liang)(liang)流(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)計

而(er)對一些朋友而(er)言：體積(ji)流(liu)量(liang)的(de)(de)(de)表示(shi)方法很符合習慣，也(ye)便(bian)于使(shi)用(yong)(yong)，但(dan)也(ye)有(you)用(yong)(yong)戶需要知道單(dan)(dan)位(wei)(wei)(wei)時間內(nei)(nei)流(liu)過(guo)介質的(de)(de)(de)質量(liang)（如g/min、g/h、kg/min、kg/h等(deng)），這個要求是(shi)很容易(yi)實現的(de)(de)(de)。因為標準(zhun)狀態下的(de)(de)(de)氣體密度是(shi)一個常數， 可(ke)(ke)以(yi)(yi)方便(bian)地(di)查到(dao)，因而(er)簡(jian)單(dan)(dan)地(di)做一個乘法（以(yi)(yi)密度乘以(yi)(yi)若干(gan)slm）即可(ke)(ke)實現。所以(yi)(yi)說，在(zai)標準(zhun)狀態下的(de)(de)(de)體積(ji)流(liu)量(liang)其(qi)實就等(deng)同于質量(liang)流(liu)量(liang)。也(ye)有(you)一些朋友習慣用(yong)(yong)流(liu)速(su)來表示(shi)，流(liu)速(su)可(ke)(ke)以(yi)(yi)經(jing)過(guo)簡(jian)單(dan)(dan)的(de)(de)(de)計算得(de)到(dao)轉換(huan)成流(liu)量(liang)，流(liu)量(liang)和流(liu)速(su)的(de)(de)(de)換(huan)算關系由(you)以(yi)(yi)下公(gong)式進行計算：Q=V·S，混合氣體流(liu)量(liang)計哪里有(you)，其(qi)中V代表氣體在(zai)管(guan)道中的(de)(de)(de)流(liu)速(su)，S為鋼管(guan)的(de)(de)(de)截面積(ji)，Q代表氣體在(zai)特(te)定的(de)(de)(de)時間內(nei)(nei)流(liu)過(guo)的(de)(de)(de)流(liu)量(liang)。其(qi)中Q的(de)(de)(de)單(dan)(dan)位(wei)(wei)(wei)是(shi)m/s，V的(de)(de)(de)單(dan)(dan)位(wei)(wei)(wei)是(shi)m/s，S的(de)(de)(de)單(dan)(dan)位(wei)(wei)(wei)㎡。