流量(liang)(liang)(liang)單位時(shi)間流過任意截面(mian)的(de)氣體量(liang)(liang)(liang)，符(fu)號(hao)用“Q”表(biao)示，單位為(wei)帕(pa)·升/秒(miao)（Pa·L/s）或托(tuo)·升/秒(miao)（Torr·L/s）。流導(dao)(dao)表(biao)示真(zhen)(zhen)空(kong)管(guan)道(dao)通過氣體的(de)能力(li)。單位為(wei)升/秒(miao)（L/s），在(zai)穩定狀態下，管(guan)道(dao)流導(dao)(dao)等(deng)于管(guan)道(dao)流量(liang)(liang)(liang)除以(yi)管(guan)道(dao)兩端壓(ya)強(qiang)差(cha)。符(fu)號(hao)記作“U”。標準(zhun)大(da)氣壓(ya)壓(ya)強(qiang)為(wei)每平(ping)方厘米(mi)101325達(da)因的(de)氣壓(ya)，符(fu)號(hao)：（Atm）。極限(xian)真(zhen)(zhen)空(kong)真(zhen)(zhen)空(kong)容器經(jing)充分(fen)抽(chou)氣后，穩定在(zai)某(mou)一真(zhen)(zhen)空(kong)度，此真(zhen)(zhen)空(kong)度稱為(wei)極限(xian)真(zhen)(zhen)空(kong)。通常真(zhen)(zhen)空(kong)容器須(xu)經(jing)12小(xiao)時(shi)煉(lian)氣，再經(jing)12小(xiao)時(shi)抽(chou)真(zhen)(zhen)空(kong)，一個小(xiao)時(shi)每隔(ge)10分(fen)鐘測量(liang)(liang)(liang)一次(ci)，取其(qi)10次(ci)的(de)平(ping)均(jun)值為(wei)極限(xian)真(zhen)(zhen)空(kong)值。

真(zhen)空(kong)泵的(de)(de)作(zuo)用就是(shi)從真(zhen)空(kong)室中抽除氣體(ti)分子(zi)，降低真(zhen)空(kong)室內的(de)(de)氣體(ti)壓力，使之達(da)到(dao)要(yao)(yao)求的(de)(de)真(zhen)空(kong)度。概括地講從大氣到(dao)極高真(zhen)空(kong)有(you)一個很(hen)大的(de)(de)范(fan)圍，至今為止還沒(mei)有(you)一種真(zhen)空(kong)系統(tong)能覆蓋這個范(fan)圍。因此，為達(da)到(dao)不同(tong)產品(pin)的(de)(de)工藝指標、工作(zuo)效(xiao)率和設備(bei)工作(zuo)壽命要(yao)(yao)求、不同(tong)的(de)(de)真(zhen)空(kong)區(qu)段需要(yao)(yao)選(xuan)擇不同(tong)的(de)(de)真(zhen)空(kong)系統(tong)配(pei)置。為達(da)到(dao)佳配(pei)置，選(xuan)擇真(zhen)空(kong)系統(tong)時，應考慮下(xia)述各(ge)點：首先必須檢查(cha)確定(ding)每一種工藝要(yao)(yao)求的(de)(de)真(zhen)空(kong)度。因為每一種工藝都有(you)其適應的(de)(de)真(zhen)空(kong)度范(fan)圍，必須認(ren)真(zhen)研究確定(ding)之。

真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)設備(bei)對(dui)油污染(ran)的要(yao)求(qiu)(qiu)。若設備(bei)嚴(yan)格(ge)要(yao)求(qiu)(qiu)無(wu)油時，應(ying)該(gai)(gai)選各種無(wu)油泵(beng)，如(ru)：水環(huan)泵(beng)、分子篩吸附泵(beng)、濺射(she)離子泵(beng)、低溫泵(beng)等。如(ru)果(guo)要(yao)求(qiu)(qiu)不(bu)嚴(yan)格(ge)，可(ke)以(yi)選擇有油泵(beng)，加(jia)上一些(xie)防油污染(ran)措施，如(ru)加(jia)冷阱(jing)(jing)、障(zhang)板、擋油阱(jing)(jing)等，也能達到(dao)清潔真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)要(yao)求(qiu)(qiu)。真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵(beng)排出來的油蒸氣(qi)對(dui)環(huan)境(jing)的影響如(ru)何。如(ru)果(guo)環(huan)境(jing)不(bu)允許有污染(ran)，可(ke)以(yi)選無(wu)油真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵(beng)，或者把油蒸氣(qi)排到(dao)室外。真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵(beng)的工作壓(ya)強(qiang)應(ying)該(gai)(gai)滿足(zu)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)設備(bei)的極限真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)及(ji)工作壓(ya)強(qiang)要(yao)求(qiu)(qiu)。如(ru)：某真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)干(gan)燥工藝要(yao)求(qiu)(qiu)10mmHg的工作真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)度，選用的真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵(beng)的極限真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)度至少(shao)要(yao)2mmHg，好(hao)能達到(dao)1mmHg。通常(chang)選擇泵(beng)的極限真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)度要(yao)高(gao)于真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)設備(bei)工作真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)度半個(ge)到(dao)一個(ge)數量級。真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵(beng)的價格(ge)、運轉及(ji)維(wei)修費用。