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渦旋(xuan)式(shi)真空泵由渦旋(xuan)式(shi)壓縮機(ji)(ji)演變而來，機(ji)(ji)構(gou)原理zui早由法國人Cruex于1905年(nian)發明，渦旋(xuan)真空泵的工作(zuo)腔是由一對(dui)型線共軛的渦旋(xuan)盤副嚙(nie)合安裝組成。
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高真空泵可將腔室或系統抽空到高機械泵（10-3至10-8托）或極高機械泵（
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高真空(kong)渦輪分子泵是什么？
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