人(ren)類社會的(de)存在(zai)，純(chun)金(jin)靶材，科學技術的(de)進(jin)步和(he)(he)(he)發(fa)展，已(yi)(yi)成為21世紀首要(yao)的(de)戰略儲備(bei)物資，且與各(ge)國的(de)政治經濟和(he)(he)(he)社會發(fa)展有(you)著(zhu)息(xi)息(xi)相關的(de)緊密聯系，在(zai)已(yi)(yi)知(zhi)的(de)傳統產業和(he)(he)(he)應用領域中，高純(chun)材料、合金(jin)、各(ge)種深加工(gong)的(de)制品（半(ban)成品）及化(hua)(hua)學制品，已(yi)(yi)被廣泛應用到冶金(jin)鋼鐵(tie)，石油化(hua)(hua)工(gong)，純(chun)金(jin)靶材廠家，有(you)機化(hua)(hua)工(gong)，化(hua)(hua)工(gong)，電子電器，汽(qi)車制造，光學玻(bo)璃(li)，玻(bo)璃(li)纖維。

 濺射靶材(cai)ITO靶材(cai)的生產工(gong)藝(yi)(yi) ITO靶材(cai)的生產工(gong)藝(yi)(yi)可以分為3種(zhong)：熱(re)(re)等靜壓(ya)法(fa)(HIP)、濺射靶材(cai)熱(re)(re)壓(ya)法(fa)(HP)和(he)氣(qi)氛燒(shao)結法(fa)。各(ge)種(zhong)生產工(gong)藝(yi)(yi)及其特點簡介如下：

 熱等(deng)靜(jing)壓(ya)(ya)法：ITO靶材的(de)熱等(deng)靜(jing)壓(ya)(ya)制作(zuo)過程是(shi)將粉(fen)末或(huo)預(yu)先成(cheng)形的(de)胚(pei)體，在(zai)800℃～1400℃及1000kgf/cm 2～2000kgf/cm 2的(de)壓(ya)(ya)力下等(deng)方(fang)加壓(ya)(ya)燒結。熱等(deng)靜(jing)壓(ya)(ya)工藝制造(zao)產(chan)品(pin)密度高(gao)(gao)、物理機械性能(neng)好(hao)，但設備投入高(gao)(gao)，純(chun)金靶材哪家好(hao)，生產(chan)成(cheng)本高(gao)(gao)，產(chan)品(pin)的(de)缺氧率高(gao)(gao)。

背靶的選擇

對材(cai)質的要(yao)求：一般選用無(wu)氧銅和(he)鉬靶，厚度在3mm左(zuo)右

導電(dian)性好：常用(yong)無(wu)氧(yang)銅(tong)，無(wu)氧(yang)銅(tong)的(de)導熱性比紫銅(tong)好；

強度足夠：太薄(bo)，純金靶材加工，易變形，不易真空密封。

結構(gou)要求：空心(xin)或者實心(xin)結構(gou)；

厚度適中：3mm左右，太厚，消耗部分(fen)磁強；太薄，容易變(bian)形。

銦焊綁定的流程

1.綁定(ding)前的靶(ba)材(cai)和背板表面(mian)預處理

2.將靶材和(he)背板放置在釬焊臺上，升溫到(dao)綁定溫度

3.做靶(ba)材和背板金(jin)屬化

4.粘接靶材和背板