滑(hua)閥泵(beng)(beng)(beng)：由于滑(hua)閥泵(beng)(beng)(beng)比較(jiao)耐用、可靠，國內外各種真空爐(lu)、鍍膜機以(yi)及(ji)干燥、浸漬(zi)等設備都(dou)是用滑(hua)閥泵(beng)(beng)(beng)作(zuo)為(wei)(wei)前級(ji)泵(beng)(beng)(beng)，但是滑(hua)閥泵(beng)(beng)(beng)鑄件重，加工(gong)工(gong)作(zuo)量(liang)較(jiao)大，所(suo)以(yi)國外各真空廠都(dou)在(zai)中國尋找合作(zuo)伙伴。為(wei)(wei)了使國產滑(hua)閥泵(beng)(beng)(beng)能夠(gou)進入國際(ji)市場，必須(xu)進一步降低(di)泵(beng)(beng)(beng)的振動(dong)噪聲，噴油和漏油，提高滑(hua)閥泵(beng)(beng)(beng)長期運行的可靠性。

直聯(lian)旋(xuan)片(pian)泵(beng)：隨著(zhu)真(zhen)空技(ji)術在(zai)(zai)各個應用領域的不(bu)斷擴大(da)，直聯(lian)旋(xuan)片(pian)泵(beng)的需求量越(yue)來越(yue)大(da)。由于這種泵(beng)數量很多，加工(gong)裝配(pei)工(gong)作量很大(da)，價格又很低，所(suo)以(yi)有的國(guo)外(wai)真(zhen)空廠(chang)(chang)商(shang)在(zai)(zai)中國(guo)建(jian)立廠(chang)(chang)。國(guo)產中小型直聯(lian)旋(xuan)片(pian)泵(beng)在(zai)(zai)技(ji)術上已經過關，價格又遠比(bi)國(guo)外(wai)的泵(beng)便宜(yi)，所(suo)以(yi)國(guo)產泵(beng)仍然有競爭優勢，關鍵是要解決(jue)軸封漏油以(yi)及旋(xuan)片(pian)材料和真(zhen)空泵(beng)油的性(xing)能(neng)質(zhi)量問題，確保直聯(lian)泵(beng)在(zai)(zai)高(gao)速、高(gao)溫(wen)下性(xing)能(neng)穩定和運行可(ke)靠(kao)，同時還要進一步提高(gao)國(guo)產直聯(lian)旋(xuan)片(pian)泵(beng)抽除水蒸氣(qi)的能(neng)力。

流量(liang)單位(wei)(wei)時(shi)間流過任意截面的(de)氣(qi)體量(liang)，符(fu)號用“Q”表示，單位(wei)(wei)為(wei)帕(pa)·升/秒(miao)（Pa·L/s）或托(tuo)·升/秒(miao)（Torr·L/s）。流導表示真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)管(guan)道通過氣(qi)體的(de)能力。單位(wei)(wei)為(wei)升/秒(miao)（L/s），在穩定狀態下，管(guan)道流導等于管(guan)道流量(liang)除(chu)以管(guan)道兩端(duan)壓強(qiang)差。符(fu)號記作“U”。標準大氣(qi)壓壓強(qiang)為(wei)每(mei)平方厘米101325達因(yin)的(de)氣(qi)壓，符(fu)號：（Atm）。極(ji)(ji)限(xian)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)容器(qi)經充分抽氣(qi)后，穩定在某(mou)一(yi)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)度，此真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)度稱(cheng)為(wei)極(ji)(ji)限(xian)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)。通常真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)容器(qi)須經12小(xiao)時(shi)煉氣(qi)，再經12小(xiao)時(shi)抽真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)，一(yi)個(ge)小(xiao)時(shi)每(mei)隔10分鐘測(ce)量(liang)一(yi)次，取其(qi)10次的(de)平均值為(wei)極(ji)(ji)限(xian)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)值。

機械選(xuan)(xuan)擇(ze) ⑴真(zhen)(zhen)空泵(beng)工作(zuo)(zuo)時(shi)產生(sheng)的(de)振(zhen)動(dong)對工藝過(guo)程及(ji)環境有無影響。若(ruo)工藝過(guo)程不允許，應選(xuan)(xuan)擇(ze)無振(zhen)動(dong)的(de)泵(beng)或(huo)者采取防振(zhen)動(dong)措施。⑵了解被(bei)抽(chou)氣(qi)(qi)體(ti)成分(fen)，氣(qi)(qi)體(ti)中含(han)(han)不含(han)(han)可(ke)凝蒸氣(qi)(qi)，有無顆粒灰(hui)塵(chen)(chen)，有無腐(fu)蝕性等。選(xuan)(xuan)擇(ze)真(zhen)(zhen)空泵(beng)時(shi)，需要知道氣(qi)(qi)體(ti)成分(fen)，針(zhen)對被(bei)抽(chou)氣(qi)(qi)體(ti)選(xuan)(xuan)擇(ze)相應的(de)泵(beng)。如果氣(qi)(qi)體(ti)中含(han)(han)有蒸氣(qi)(qi)、顆粒、及(ji)腐(fu)蝕性氣(qi)(qi)體(ti)，應該考(kao)慮在(zai)泵(beng)的(de)進氣(qi)(qi)口管路(lu)上安裝(zhuang)輔(fu)助(zhu)設(she)備，如冷凝器(qi)、除塵(chen)(chen)器(qi)等。⑶真(zhen)(zhen)空泵(beng)在(zai)其工作(zuo)(zuo)壓強下(xia)，應能(neng)排(pai)走真(zhen)(zhen)空設(she)備工藝過(guo)程中產生(sheng)的(de)全部氣(qi)(qi)體(ti)量。