氦質(zhi)譜(pu)檢(jian)漏儀(yi)用于對容器(qi)或器(qi)件的(de)密(mi)封性進(jin)行(xing)檢(jian)測(ce)，對被檢(jian)件泄(xie)漏點進(jin)行(xing)定性、定量和定位的(de)檢(jian)測(ce)。儀(yi)器(qi)利用內(nei)置的(de)真空(kong)系統(tong)，將(jiang)被檢(jian)氣體抽入到儀(yi)器(qi)內(nei)部(bu)，然后將(jiang)該混(hun)合氣體離(li)(li)化，并(bing)將(jiang)離(li)(li)子(zi)(zi)加速送入磁(ci)場當中(zhong)，利用帶電離(li)(li)子(zi)(zi)在(zai)磁(ci)場中(zhong)的(de)偏轉效應，使氦離(li)(li)子(zi)(zi)與其它離(li)(li)子(zi)(zi)分離(li)(li)，通過對此氦離(li)(li)子(zi)(zi)信(xin)號的(de)接收、放大和顯示(shi)，從而反映(ying)出被測(ce)器(qi)件的(de)密(mi)封性。

檢(jian)漏(lou)儀(yi)的(de)(de)響應時(shi)間會影響檢(jian)漏(lou)工作(zuo)的(de)(de)速(su)度，正(zheng)常(chang)運行的(de)(de)儀(yi)器響應時(shi)間不大(da)于3s。筆者(zhe)實測時(shi)，在漏(lou)點(dian)處(chu)噴射氦氣(qi)5～10s后，檢(jian)漏(lou)儀(yi)就發生(sheng)響應，對于如(ru)此龐大(da)的(de)(de)真空(kong)系統，汽車空(kong)調檢(jian)漏(lou)，其反應是相當的(de)(de)靈敏(min)。用于電廠檢(jian)漏(lou)的(de)(de)氦質譜檢(jian)漏(lou)儀(yi)。關鍵部件均為進口，性能(neng)。不僅靈敏(min)度高，而(er)且操(cao)作(zuo)方便(bian)，能(neng)夠雙(shuang)燈絲(si)自動(dong)切(qie)換、自動(dong)調零、自動(dong)校(xiao)準和(he)自動(dong)量(liang)程切(qie)換。質譜室(shi)里的(de)(de)燈絲(si)發射出(chu)來的(de)(de)電子，在室(shi)內來回地振蕩，并與室(shi)內氣(qi)體和(he)經漏(lou)孔進入室(shi)內的(de)(de)氦氣(qi)相互(hu)碰撞(zhuang)使其電離(li)成正(zheng)離(li)子，這些氦離(li)子在加速(su)電場作(zuo)用下進入磁場，由于洛倫(lun)茲力作(zuo)用產生(sheng)偏(pian)轉，形成圓弧形軌道，改變(bian)加速(su)電壓(ya)可使不同質量(liang)的(de)(de)離(li)子通(tong)過磁場和(he)接收(shou)縫到(dao)達接收(shou)極而(er)被檢(jian)測。

測試(shi)(shi)時，將定(ding)量的(de)(de)(de)氦氣(qi)噴(pen)吹在(zai)懷疑可能(neng)泄(xie)漏(lou)(lou)的(de)(de)(de)部(bu)(bu)位，通(tong)過觀(guan)察檢(jian)漏(lou)(lou)儀上的(de)(de)(de)漏(lou)(lou)率顯示來確定(ding)該部(bu)(bu)位是(shi)否存在(zai)泄(xie)漏(lou)(lou)及泄(xie)漏(lou)(lou)程度的(de)(de)(de)大小。由(you)于真空(kong)系統比較龐雜，影響真空(kong)的(de)(de)(de)因素多，對(dui)此我們在(zai)試(shi)(shi)驗(yan)前，應先(xian)根據真空(kong)嚴(yan)密(mi)性的(de)(de)(de)試(shi)(shi)驗(yan)情(qing)況(kuang)、相關系統及設備(bei)的(de)(de)(de)運行(xing)情(qing)況(kuang)、機組(zu)的(de)(de)(de)檢(jian)修(xiu)情(qing)況(kuang)等進行(xing)了(le)解(jie)分析，初步判斷真空(kong)泄(xie)漏(lou)(lou)可能(neng)發(fa)生的(de)(de)(de)設備(bei)或系統管道的(de)(de)(de)位置。然后，在(zai)試(shi)(shi)驗(yan)過程中先(xian)對(dui)重點懷疑泄(xie)漏(lou)(lou)部(bu)(bu)位進行(xing)檢(jian)查(cha)，再對(dui)其他部(bu)(bu)位按照分系統、分段、逐個設備(bei)部(bu)(bu)件進行(xing)排查(cha)。