但是(shi)(shi)靶(ba)(ba)(ba)材(cai)制作困難，這(zhe)(zhe)是(shi)(shi)因為(wei)氧化銦不容易燒結(jie)在一起。一般采(cai)用ZrO2、Bi2O3、CeO等作為(wei)燒結(jie)添(tian)加(jia)劑(ji)，玫瑰(gui)金靶(ba)(ba)(ba)材(cai)哪家(jia)好，能夠獲得密度為(wei)理論值的(de)93%~98%的(de)靶(ba)(ba)(ba)材(cai)，這(zhe)(zhe)種方式形成的(de)ITO薄膜(mo)的(de)性(xing)能與添(tian)加(jia)劑(ji)的(de)關系(xi)極大。日(ri)本的(de)科學家(jia)采(cai)用Bizo作為(wei)添(tian)加(jia)劑(ji)，Bi2O3在820Cr熔化，在l500℃的(de)燒結(jie)溫(wen)度超出部(bu)分已經揮(hui)發，這(zhe)(zhe)樣能夠在液相燒結(jie)條件下得到比較純(chun)的(de)ITO靶(ba)(ba)(ba)材(cai)。而且所需要(yao)的(de)氧化物原(yuan)料也不一定是(shi)(shi)納米(mi)顆粒(li)，玫瑰(gui)金靶(ba)(ba)(ba)材(cai)報(bao)價，這(zhe)(zhe)樣可以簡(jian)化前期的(de)工序(xu)。

在所有應用(yong)產(chan)(chan)業(ye)中(zhong)，半導(dao)體產(chan)(chan)業(ye)對靶(ba)材(cai)(cai)濺射薄膜(mo)的(de)(de)(de)品(pin)質要(yao)求(qiu)(qiu)是苛刻的(de)(de)(de)。如今(jin)12英寸（300衄口）的(de)(de)(de)硅(gui)晶片(pian)已(yi)制(zhi)造出來．而互連(lian)線的(de)(de)(de)寬度(du)卻(que)在減小。硅(gui)片(pian)制(zhi)造商對靶(ba)材(cai)(cai)的(de)(de)(de)要(yao)求(qiu)(qiu)是大(da)尺寸、高純度(du)、低偏(pian)析和細(xi)晶粒，這(zhe)就要(yao)求(qiu)(qiu)所制(zhi)造的(de)(de)(de)靶(ba)材(cai)(cai)具(ju)有更好的(de)(de)(de)微觀結(jie)構(gou)。靶(ba)材(cai)(cai)的(de)(de)(de)結(jie)晶粒子直徑和均勻性已(yi)被認(ren)為是影響薄膜(mo)沉積率的(de)(de)(de)關(guan)鍵(jian)因素(su)。另(ling)外，薄膜(mo)的(de)(de)(de)純度(du)與靶(ba)材(cai)(cai)的(de)(de)(de)純度(du)關(guan)系極大(da)，過99.995%（4N5）純度(du)的(de)(de)(de)銅靶(ba)，上(shang)海玫瑰(gui)金(jin)靶(ba)材(cai)(cai)，或許(xu)能夠滿足半導(dao)體廠商0.35pm工藝(yi)的(de)(de)(de)需求(qiu)(qiu)，玫瑰(gui)金(jin)靶(ba)材(cai)(cai)多(duo)少錢，但是卻(que)無法滿足如今(jin)0.25um的(de)(de)(de)工藝(yi)要(yao)求(qiu)(qiu)。

鍍(du)膜(mo)靶材(cai)是通過磁控濺射、多弧離子(zi)鍍(du)或其他類型的(de)(de)(de)(de)(de)鍍(du)膜(mo)系(xi)統在適當工藝條件下濺射在基板上(shang)形(xing)成各種功能薄膜(mo)的(de)(de)(de)(de)(de)濺射源。簡單說的(de)(de)(de)(de)(de)話，靶材(cai)就是高(gao)速(su)荷(he)能粒子(zi)轟擊的(de)(de)(de)(de)(de)目標材(cai)料，用于高(gao)能激(ji)光中，不(bu)(bu)同(tong)功率(lv)密度、不(bu)(bu)同(tong)輸出(chu)波形(xing)、不(bu)(bu)同(tong)波長的(de)(de)(de)(de)(de)激(ji)光與不(bu)(bu)同(tong)的(de)(de)(de)(de)(de)靶材(cai)相互作用時，會產生不(bu)(bu)同(tong)的(de)(de)(de)(de)(de)殺傷破壞(huai)效(xiao)應(ying)。例如：蒸發磁控濺射鍍(du)膜(mo)是加(jia)熱蒸發鍍(du)膜(mo)、鋁膜(mo)等(deng)(deng)。更換(huan)不(bu)(bu)同(tong)的(de)(de)(de)(de)(de)靶材(cai)（如鋁、銅、不(bu)(bu)銹鋼、鈦、鎳靶等(deng)(deng)），即可得(de)到不(bu)(bu)同(tong)的(de)(de)(de)(de)(de)膜(mo)系(xi)（如超硬、耐磨、防腐的(de)(de)(de)(de)(de)合金膜(mo)等(deng)(deng)）。