差(cha)(cha)(cha)壓(ya)法氣(qi)(qi)密性(xing)檢測(ce)(ce)的(de)(de)(de)(de)工(gong)作循環包括4個(ge)過(guo)(guo)(guo)程(cheng)(cheng)(cheng)，即充(chong)氣(qi)(qi)過(guo)(guo)(guo)程(cheng)(cheng)(cheng)、平衡過(guo)(guo)(guo)程(cheng)(cheng)(cheng)、檢測(ce)(ce)過(guo)(guo)(guo)程(cheng)(cheng)(cheng)和排(pai)氣(qi)(qi)過(guo)(guo)(guo)程(cheng)(cheng)(cheng)。(2)平衡過(guo)(guo)(guo)程(cheng)(cheng)(cheng)：關(guan)閉充(chong)氣(qi)(qi)閥(fa)、測(ce)(ce)漏閥(fa)，板(ban)(ban)，截斷氣(qi)(qi)源與(yu)標準(zhun)容(rong)器(qi)(qi)、被測(ce)(ce)工(gong)件(jian)的(de)(de)(de)(de)通路(lu)，由(you)于(yu)充(chong)氣(qi)(qi)及關(guan)閉閥(fa)的(de)(de)(de)(de)動作會(hui)引起(qi)容(rong)器(qi)(qi)內(nei)氣(qi)(qi)體(ti)壓(ya)力(li)的(de)(de)(de)(de)脈動，導致標準(zhun)容(rong)器(qi)(qi)與(yu)被測(ce)(ce)工(gong)件(jian)間(jian)(jian)的(de)(de)(de)(de)差(cha)(cha)(cha)壓(ya)不穩(wen)定，呈現出(chu)無規則的(de)(de)(de)(de)變化，必須延遲一段時(shi)間(jian)(jian)，待差(cha)(cha)(cha)壓(ya)值穩(wen)定后(hou)才(cai)能(neng)測(ce)(ce)量(liang)差(cha)(cha)(cha)壓(ya)變化。(3)檢測(ce)(ce)過(guo)(guo)(guo)程(cheng)(cheng)(cheng)：檢測(ce)(ce)差(cha)(cha)(cha)壓(ya)傳感(gan)器(qi)(qi)的(de)(de)(de)(de)輸(shu)出(chu)，由(you)于(yu)泄漏產生的(de)(de)(de)(de)壓(ya)力(li)降在測(ce)(ce)試壓(ya)力(li)附近近似的(de)(de)(de)(de)與(yu)時(shi)間(jian)(jian)成正比，因(yin)此可以測(ce)(ce)量(liang)出(chu)在一定時(shi)間(jian)(jian)內(nei)差(cha)(cha)(cha)壓(ya)的(de)(de)(de)(de)變化值。(4)排(pai)氣(qi)(qi)過(guo)(guo)(guo)程(cheng)(cheng)(cheng)：待測(ce)(ce)量(liang)完差(cha)(cha)(cha)壓(ya)的(de)(de)(de)(de)變化值，標準(zhun)容(rong)器(qi)(qi)、被測(ce)(ce)工(gong)件(jian)內(nei)的(de)(de)(de)(de)剩余氣(qi)(qi)體(ti)通過(guo)(guo)(guo)氣(qi)(qi)閥(fa)排(pai)到大氣(qi)(qi)里(li)，雙極板(ban)(ban)價格，結(jie)束(shu)一個(ge)檢測(ce)(ce)過(guo)(guo)(guo)程(cheng)(cheng)(cheng)。

氦(hai)質(zhi)(zhi)譜(pu)檢(jian)(jian)漏(lou)(lou)儀(yi)(yi)檢(jian)(jian)漏(lou)(lou)原(yuan)理及方(fang)式：氦(hai)質(zhi)(zhi)譜(pu)檢(jian)(jian)漏(lou)(lou)儀(yi)(yi)的(de)檢(jian)(jian)漏(lou)(lou)方(fang)式，氦(hai)質(zhi)(zhi)譜(pu)檢(jian)(jian)漏(lou)(lou)儀(yi)(yi)的(de)檢(jian)(jian)漏(lou)(lou)方(fang)式通常有(you)(you)兩種(zhong)(zhong)，石墨(mo)雙極板，一種(zhong)(zhong)為(wei)常規(gui)檢(jian)(jian)漏(lou)(lou)，另(ling)一種(zhong)(zhong)為(wei)逆(ni)擴(kuo)散(san)檢(jian)(jian)漏(lou)(lou)。逆(ni)擴(kuo)散(san)檢(jian)(jian)漏(lou)(lou)是把被(bei)(bei)檢(jian)(jian)件(jian)接在(zai)(zai)分(fen)(fen)子(zi)泵(beng)(beng)出(chu)(chu)氣(qi)(qi)口(kou)一端，漏(lou)(lou)入(ru)的(de)氦(hai)氣(qi)(qi)由(you)分(fen)(fen)子(zi)泵(beng)(beng)出(chu)(chu)氣(qi)(qi)口(kou)逆(ni)著(zhu)泵(beng)(beng)的(de)排氣(qi)(qi)方(fang)向進(jin)入(ru)安(an)裝在(zai)(zai)泵(beng)(beng)的(de)進(jin)氣(qi)(qi)口(kou)端的(de)質(zhi)(zhi)譜(pu)管內而(er)被(bei)(bei)檢(jian)(jian)測。這(zhe)一檢(jian)(jian)漏(lou)(lou)方(fang)式是基于分(fen)(fen)子(zi)泵(beng)(beng)對(dui)不(bu)同質(zhi)(zhi)量的(de)氣(qi)(qi)體(ti)具(ju)有(you)(you)不(bu)同壓(ya)縮比(氣(qi)(qi)體(ti)在(zai)(zai)分(fen)(fen)子(zi)泵(beng)(beng)出(chu)(chu)氣(qi)(qi)口(kou)壓(ya)強(qiang)與進(jin)氣(qi)(qi)口(kou)壓(ya)強(qiang)之比)即利用不(bu)同氣(qi)(qi)體(ti)的(de)逆(ni)擴(kuo)散(san)程度不(bu)同程度而(er)設計的(de)。逆(ni)擴(kuo)散(san)原(yuan)理：逆(ni)擴(kuo)散(san)方(fang)式檢(jian)(jian)漏(lou)(lou)允(yun)許被(bei)(bei)檢(jian)(jian)件(jian)內壓(ya)強(qiang)較高，氦(hai)質(zhi)(zhi)譜(pu)檢(jian)(jian)漏(lou)(lou)儀(yi)(yi)可(ke)達300Pa(一般常規(gui)檢(jian)(jian)漏(lou)(lou)儀(yi)(yi)為(wei)0.05Pa以下)，金屬雙極板，適合檢(jian)(jian)大型容器或(huo)有(you)(you)大漏(lou)(lou)的(de)器件(jian)，也適合吸檢(jian)(jian)漏(lou)(lou)。逆(ni)擴(kuo)散(san)方(fang)式還具(ju)有(you)(you)質(zhi)(zhi)譜(pu)管不(bu)易受污染，燈(deng)絲壽命長等優(you)點。

輔(fu)助真空系(xi)(xi)(xi)統(tong)：對(dui)子漏氣(qi)速(su)率和放氣(qi)速(su)率較(jiao)(jiao)大(da)或者體積較(jiao)(jiao)大(da)的(de)被檢(jian)件(jian)，若直接與檢(jian)漏儀(yi)相連，檢(jian)漏儀(yi)的(de)真空度可能抽(chou)不上去，使(shi)檢(jian)漏儀(yi)無法工作。此(ci)種情況須加(jia)接輔(fu)助真空系(xi)(xi)(xi)統(tong)，提高對(dui)被檢(jian)件(jian)的(de)抽(chou)速(su)。比較(jiao)(jiao)簡單的(de)輔(fu)助真空系(xi)(xi)(xi)統(tong)只需一個機(ji)械泵(beng)和兩(liang)個閥門，復雜的(de)系(xi)(xi)(xi)統(tong)可由前級(ji)(ji)泵(beng)、次級(ji)(ji)泵(beng)、閥門、真空規及標準漏孔等組成。次級(ji)(ji)泵(beng)可用擴散(san)系(xi)(xi)(xi)或羅(luo)茨泵(beng)，前級(ji)(ji)系(xi)(xi)(xi)用氣(qi)鎮式機(ji)械泵(beng)比較(jiao)(jiao)好。