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常(chang)用(yong)真空(kong)泵(beng)(beng)(beng)包括干式螺桿真空(kong)泵(beng)(beng)(beng)、水環泵(beng)(beng)(beng)、往(wang)復泵(beng)(beng)(beng)、滑閥泵(beng)(beng)(beng)、旋片泵(beng)(beng)(beng)、羅(luo)茨(ci)泵(beng)(beng)(beng)和擴散泵(beng)(beng)(beng)等,這些泵(beng)(beng)(beng)是我(wo)國(guo)國(guo)民經濟各行業應(ying)用(yong)真空(kong)工藝過程中的主力(li)泵(beng)(beng)(beng)種。近年來, 伴隨著(zhu)我(wo)國(guo)經濟持續高速(su)發展,真空(kong)泵(beng)(beng)(beng)相(xiang)關(guan)下(xia)游應(ying)用(yong)行業保持快速(su)增長勢(shi)頭,同時在真空(kong)泵(beng)(beng)(beng)應(ying)用(yong)領域(yu)不斷(duan)拓展等因素的共(gong)同拉動下(xia),我(wo)國(guo)真空(kong)泵(beng)(beng)(beng)行業實現了持續穩定(ding)地(di)快速(su)的發展。
流(liu)量單(dan)位(wei)(wei)時(shi)(shi)間流(liu)過任(ren)意截面(mian)的(de)(de)氣(qi)體量,符號(hao)用“Q”表(biao)示,單(dan)位(wei)(wei)為(wei)帕·升(sheng)/秒(Pa·L/s)或托·升(sheng)/秒(Torr·L/s)。流(liu)導表(biao)示真空管(guan)道通過氣(qi)體的(de)(de)能力。單(dan)位(wei)(wei)為(wei)升(sheng)/秒(L/s),在穩(wen)定(ding)狀態下,管(guan)道流(liu)導等于管(guan)道流(liu)量除以管(guan)道兩端壓強差。符號(hao)記作(zuo)“U”。標準(zhun)大氣(qi)壓壓強為(wei)每(mei)平方(fang)厘米101325達因(yin)的(de)(de)氣(qi)壓,符號(hao):(Atm)。極限(xian)真空真空容器經充分抽(chou)氣(qi)后,穩(wen)定(ding)在某(mou)一真空度,此(ci)真空度稱為(wei)極限(xian)真空。通常(chang)真空容器須(xu)經12小時(shi)(shi)煉氣(qi),再經12小時(shi)(shi)抽(chou)真空,一個小時(shi)(shi)每(mei)隔10分鐘(zhong)測(ce)量一次(ci),取其10次(ci)的(de)(de)平均值為(wei)極限(xian)真空值。
水環(huan)泵也有其缺(que)點(dian):效率低,一般在30%左右,較好的可(ke)達50%。真空度(du)低,這(zhe)不(bu)僅(jin)是(shi)因為受到結(jie)構上的限制(zhi)(zhi),更重要(yao)的是(shi)受工作(zuo)(zuo)(zuo)液飽和(he)蒸(zheng)氣(qi)壓(ya)的限制(zhi)(zhi)。用(yong)(yong)水作(zuo)(zuo)(zuo)工作(zuo)(zuo)(zuo)液,極限壓(ya)強只能達到2000~4000Pa。用(yong)(yong)油作(zuo)(zuo)(zuo)工作(zuo)(zuo)(zuo)液,可(ke)達130Pa。總之,由于水環(huan)泵中(zhong)氣(qi)體(ti)(ti)壓(ya)縮是(shi)等溫的,故(gu)可(ke)以抽(chou)除、的氣(qi)體(ti)(ti)。由于沒有排(pai)氣(qi)閥及摩擦(ca)表(biao)面,故(gu)可(ke)以抽(chou)除帶塵埃的氣(qi)體(ti)(ti)、可(ke)凝性氣(qi)體(ti)(ti)和(he)氣(qi)水混合物。有了(le)這(zhe)些突出的特(te)點(dian),盡管它(ta)效率低,仍然得到了(le)廣(guang)泛的應用(yong)(yong)。
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