潔(jie)(jie)(jie)凈隧道(dao)：以(yi)HEPA或(huo)ULPA過濾(lv)器(qi)(qi)將制程(cheng)(cheng)區域(yu)或(huo)工(gong)作區域(yu)100覆蓋使(shi)潔(jie)(jie)(jie)凈度(du)等(deng)級(ji)(ji)提(ti)高至10級(ji)(ji)以(yi)上，可(ke)節省(sheng)(sheng)安裝運轉(zhuan)費(fei)用(yong)。此型(xing)式需(xu)(xu)將作業人員之(zhi)工(gong)作區與產(chan)品(pin)(pin)(pin)和機(ji)器(qi)(qi)維修予以(yi)隔離(li)，以(yi)避(bi)免機(ji)器(qi)(qi)維修時影響(xiang)了工(gong)作及(ji)品(pin)(pin)(pin)質，ULSI制程(cheng)(cheng)大都采用(yong)此種型(xing)式。潔(jie)(jie)(jie)凈隧道(dao)另(ling)有二項優點：A.彈(dan)性擴(kuo)充容(rong)易； B.維修設備時可(ke)在維修區輕易執行。潔(jie)(jie)(jie)凈管道(dao)：將產(chan)品(pin)(pin)(pin)流程(cheng)(cheng)經過的自動生產(chan)線包圍并凈化(hua)處理，將潔(jie)(jie)(jie)凈度(du)等(deng)級(ji)(ji)提(ti)至100級(ji)(ji)以(yi)上。因產(chan)品(pin)(pin)(pin)和作業員及(ji)發塵環境(jing)相互隔離(li)，烘(hong)焙凈化(hua)車間，少量之(zhi)送風即可(ke)得到良(liang)好之(zhi)潔(jie)(jie)(jie)凈度(du)，可(ke)節省(sheng)(sheng)能(neng)源，不需(xu)(xu)人工(gong)的自動化(hua)生產(chan)線為(wei)更適宜使(shi)用(yong)。藥品(pin)(pin)(pin)、食品(pin)(pin)(pin)業界及(ji)半(ban)導體業界均適用(yong)。并裝局(ju)部(bu)無塵室(shi)：將無塵室(shi)等(deng)級(ji)(ji)10，000~100，000之(zhi)亂流無塵室(shi)內之(zhi)產(chan)品(pin)(pin)(pin)制程(cheng)(cheng)區的潔(jie)(jie)(jie)凈度(du)等(deng)級(ji)(ji)提(ti)高為(wei)10~1000級(ji)(ji)以(yi)上，以(yi)為(wei)生產(chan)之(zhi)用(yong)；潔(jie)(jie)(jie)凈工(gong)作臺、潔(jie)(jie)(jie)凈工(gong)作棚、潔(jie)(jie)(jie)凈風柜(ju)即屬此類。

如何(he)選擇(ze)十(shi)萬級無塵車(che)(che)間工(gong)程裝修(xiu)材(cai)料(liao)。室內(nei)(nei)裝修(xiu)材(cai)料(liao)：以(yi)下是十(shi)萬級無塵車(che)(che)間工(gong)程施工(gong)室內(nei)(nei)材(cai)料(liao)的選擇(ze)。1、十(shi)萬級無塵車(che)(che)間使(shi)用(yong)木材(cai)的含水(shui)(shui)率(lv)不(bu)應大于(yu)16%，并且(qie)不(bu)得外(wai)露。由(you)于(yu)無塵車(che)(che)間換氣次(ci)數大，相對(dui)濕度低(di)，烘焙凈化車(che)(che)間安裝，如大量使(shi)用(yong)木材(cai)，易(yi)干(gan)裂、變形(xing)、松動、產生(sheng)灰塵等，即使(shi)用(yong)也要(yao)局部使(shi)用(yong)，并且(qie)一(yi)定要(yao)做好(hao)防(fang)腐(fu)防(fang)潮處理(li)。2、一(yi)般(ban)十(shi)萬級無塵車(che)(che)間需(xu)用(yong)石(shi)膏板時(shi)須用(yong)防(fang)水(shui)(shui)石(shi)膏板，而(er)對(dui)于(yu)生(sheng)物無塵車(che)(che)間由(you)于(yu)經常用(yong)水(shui)(shui)擦洗和(he)用(yong)消毒液沖(chong)洗，即使(shi)防(fang)水(shui)(shui)石(shi)膏板也要(yao)受潮變形(xing)，不(bu)耐沖(chong)洗，所以(yi)規定生(sheng)物無塵車(che)(che)間不(bu)應采(cai)用(yong)石(shi)膏板作罩面(mian)材(cai)料(liao)。3、不(bu)同無塵車(che)(che)間在選擇(ze)室內(nei)(nei)裝修(xiu)材(cai)料(liao)時(shi)還(huan)需(xu)考慮(lv)不(bu)同的個性需(xu)求。

關于實驗室無塵車(che)間的(de)(de)分(fen)類：層流(liu)式(shi)(shi)——層流(liu)式(shi)(shi)空(kong)氣氣流(liu)運(yun)動成一(yi)均勻(yun)之直(zhi)線形，空(kong)氣由覆蓋率100之過濾(lv)(lv)器進入室內(nei)，烘焙(bei)(bei)凈(jing)化車(che)間裝修，并由高架(jia)地板(ban)或兩側隔墻板(ban)回風(feng)(feng)，烘焙(bei)(bei)凈(jing)化車(che)間設計，此型式(shi)(shi)適用(yong)于無塵室等級(ji)需定(ding)較高之環境使用(yong)，一(yi)般其(qi)無塵室等級(ji)為(wei)(wei)(wei)Class 1~100。其(qi)型式(shi)(shi)可(ke)分(fen)為(wei)(wei)(wei)二種：水平層流(liu)式(shi)(shi)：水平式(shi)(shi)空(kong)氣自過濾(lv)(lv)器單方向吹出，由對邊(bian)墻壁(bi)之回風(feng)(feng)系(xi)統回風(feng)(feng)的(de)(de)，塵埃(ai)隨風(feng)(feng)向排出室外(wai)，一(yi)般在下流(liu)側污(wu)染較嚴(yan)重(zhong)。優點：構造(zao)簡單，運(yun)轉(zhuan)后短(duan)時間內(nei)即(ji)可(ke)變成穩(wen)定(ding)。垂直(zhi)層流(liu)式(shi)(shi)：房(fang)間天(tian)花板(ban)完全以ULPA過濾(lv)(lv)器覆蓋，空(kong)氣由上往(wang)下吹，可(ke)得較高之潔(jie)凈(jing)度，在制程(cheng)中(zhong)或工作(zuo)人(ren)員所產生(sheng)的(de)(de)塵埃(ai)可(ke)快速排出室外(wai)而不(bu)會影響其(qi)它工作(zuo)區(qu)域(yu)。優點：管理容易，運(yun)轉(zhuan)開(kai)始短(duan)時間內(nei)即(ji)可(ke)達穩(wen)定(ding)狀(zhuang)態，不(bu)易為(wei)(wei)(wei)作(zuo)業狀(zhuang)態或作(zuo)業人(ren)員所影響。復合式(shi)(shi)——復合式(shi)(shi)為(wei)(wei)(wei)將亂流(liu)式(shi)(shi)及層流(liu)式(shi)(shi)予以復合或并用(yong)，可(ke)提供局部超(chao)潔(jie)凈(jing)之空(kong)氣。