流量控制(zhi)器如何測混合氣體的流量？

質量(liang)流(liu)量(liang)計是采用(yong)感(gan)熱式測(ce)量(liang)百(bai)，通過分體(ti)分子帶(dai)走熱量(liang)多少從(cong)而(er)來測(ce)量(liang)流(liu)量(liang)，因(yin)為是用(yong)感(gan)度熱式測(ce)量(liang)，所以不(bu)會因(yin)為氣(qi)體(ti)溫度、壓力的變化從(cong)而(er)影(ying)響(xiang)到測(ce)量(liang)的結果 。

即氣(qi)體流過(guo)加熱元件(jian)時(shi)將熱量帶走，帶走的(de)熱量與氣(qi)體的(de)流速問(wen)和氣(qi)體的(de)密度成正比(bi)。為了(le)保(bao)持(chi)兩(liang)個溫(wen)度傳感器的(de)固定溫(wen)差需(xu)要(yao)電路對(dui)加熱答(da)元件(jian)提供更多(duo)的(de)功(gong)率，電路中輸出功(gong)率的(de)大小(xiao)與流體的(de)質量有關，由(you)此測(ce)量流專量。

此方法，日系發動機常用。

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什么是流量控制器？

質量(liang)流量(liang)計，浮子流量(liang)計價格，即(ji)Mass Flow Meter（縮寫為MFM）， 是一種準確(que)測量(liang)氣體(ti)流量(liang)的儀(yi)表，其(qi)測量(liang)值不(bu)因溫度(du)(du)或壓(ya)力的波動而失準，不(bu)需(xu)要溫度(du)(du)壓(ya)力補償。

質量流(liu)(liu)(liu)量控(kong)制器， 即(ji)Mass Flow Controller（縮寫為MFC）， 不但具(ju)有質量流(liu)(liu)(liu)量計(ji)的功能，更重要的是(shi)，它能自(zi)動(dong)(dong)(dong)控(kong)制氣體流(liu)(liu)(liu)量，即(ji)用戶可(ke)(ke)根(gen)據需(xu)要進行流(liu)(liu)(liu)量設定，MFC自(zi)動(dong)(dong)(dong)地將流(liu)(liu)(liu)量恒定在設定值上(shang)，即(ji)使(shi)系統壓力有波動(dong)(dong)(dong)或(huo)環境溫度(du)有變化，也(ye)不會使(shi)其偏離(li)設定值。簡(jian)單(dan)地說，質量流(liu)(liu)(liu)量控(kong)制器就(jiu)是(shi)一個穩(wen)流(liu)(liu)(liu)裝置(zhi)， 是(shi)一個可(ke)(ke)以手動(dong)(dong)(dong)設定或(huo)與計(ji)算機聯接自(zi)動(dong)(dong)(dong)控(kong)制的氣體穩(wen)流(liu)(liu)(liu)裝置(zhi)。

流量(liang)控制器(qi)在高(gao)壓條(tiao)件下如何使(shi)用(yong)?

質量(liang)流(liu)量(liang)控制器(qi)的(de)(de)(de)工作(zuo)壓(ya)差范(fan)(fan)圍(wei)通常(chang)(chang)比較小， 要(yao)(yao)(yao)在(zai)高壓(ya)條(tiao)件(jian)下正常(chang)(chang)使用需要(yao)(yao)(yao)特別注意(yi)三(san)點: 一， 是(shi)要(yao)(yao)(yao)選擇耐壓(ya)符合要(yao)(yao)(yao)求的(de)(de)(de)MFC; 二， 是(shi)要(yao)(yao)(yao)挑選工作(zuo)壓(ya)差范(fan)(fan)圍(wei)大的(de)(de)(de)產品型號;? 三(san)，安徽浮(fu)子流(liu)量(liang)計， 要(yao)(yao)(yao)在(zai)MFC氣路(lu)前面加減壓(ya)閥(fa)， 穩(wen)(wen)定入口(kou)氣壓(ya)， 在(zai)MFC下游加背壓(ya)閥(fa)， 穩(wen)(wen)定反應室和MFC出口(kou)的(de)(de)(de)氣壓(ya)， 適(shi)當(dang)調節減壓(ya)閥(fa)和背壓(ya)閥(fa)， 要(yao)(yao)(yao)保證(zheng)MFC的(de)(de)(de)工作(zuo)壓(ya)差不會超過(guo)規定的(de)(de)(de)范(fan)(fan)圍(wei)。只要(yao)(yao)(yao)做到以上三(san)點， ?MFC就能夠(gou)在(zai)高壓(ya)條(tiao)件(jian)下穩(wen)(wen)定工作(zuo)。

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