氦(hai)質(zhi)譜檢(jian)漏系(xi)(xi)統(tong)是一(yi)種高靈(ling)敏度的(de)(de)泄(xie)漏檢(jian)測(ce)設備，利用了氦(hai)氣(qi)(qi)的(de)(de)流動(dong)(dong)性(xing)和(he)質(zhi)量(liang)大(da)于(yu)(yu)氮氣(qi)(qi)、氧氣(qi)(qi)等氣(qi)(qi)體這一(yi)特性(xing)。該系(xi)(xi)統(tong)的(de)(de)是He特性(xing)的(de)(de)性(xing)及N2-Ar混合(he)物的(de)(de)配(pei)比關系(xi)(xi)，對(dui)(dui)于(yu)(yu)壓力范圍0.5~8大(da)氣(qi)(qi)壓，在(zai)很小的(de)(de)泄(xie)露量(liang)下就能(neng)探測(ce)出來（小于(yu)(yu)1Pa·m3/s）。此外還配(pei)備了真空泵(beng)對(dui)(dui)測(ce)試工(gong)件進(jin)行抽空處理(li)，檢(jian)漏儀(yi)廠(chang)家，將工(gong)作(zuo)空間(jian)的(de)(de)工(gong)作(zuo)壓力降(jiang)低到規定(ding)的(de)(de)要(yao)求參數值(zhi)內；電器控制(zhi)系(xi)(xi)統(tong)負責整個試驗過程的(de)(de)操作(zuo)和(he)調節控制(zhi)；而(er)示差式電路不但能(neng)根據(ju)被測(ce)樣品放出的(de)(de)低頻成分(fen)來校正測(ce)量(liang)結果(guo)而(er)且還能(neng)使儀(yi)表具(ju)有自動(dong)(dong)反吸功能(neng)。

氦(hai)質譜檢漏(lou)系統(tong)是一(yi)種高(gao)靈敏度的(de)(de)泄漏(lou)檢測設備(bei)，其原理基于帶電粒子在(zai)磁場中的(de)(de)偏(pian)轉以及(ji)氣(qi)體分(fen)子對電磁輻(fu)射的(de)(de)吸收。該系統(tong)的(de)(de)部(bu)(bu)件是氦(hai)離子源(yuan)和質譜儀。當需要檢查(cha)的(de)(de)對象內部(bu)(bu)存(cun)在(zai)微(wei)小(xiao)(xiao)壓力(li)時，可以使(shi)用液態惰性氣(qi)體作為示蹤(zong)劑（例(li)如(ru)：氦(hai)氣(qi)），通(tong)過管(guan)道進入待測對象內并(bing)被稀釋(shi)到很低濃度后(hou)從密封區域(yu)中逸出形(xing)成一(yi)定的(de)(de)背(bei)景放(fang)散率Rb。此(ci)時可以通(tong)過測量(liang)總釋(shi)放(fang)量(liang)Ra來(lai)判斷泄露是否發(fa)(fa)生，若Ra>Rb+ΔR且ΔR足夠(gou)小(xiao)(xiao)時則認為發(fa)(fa)生了泄露[1]。

在進行(xing)檢(jian)漏(lou)系統操作時，需要(yao)注(zhu)意(yi)(yi)以下(xia)幾(ji)點：1.確(que)認管道是否已(yi)經充滿壓(ya)(ya)力(li)。如(ru)果(guo)存在殘余的(de)(de)(de)(de)(de)壓(ya)(ya)力(li)，需要(yao)行(xing)泄(xie)壓(ya)(ya)處(chu)理；否則可能(neng)會(hui)影(ying)響(xiang)檢(jian)測(ce)結(jie)果(guo)或導致危險情況發生(sheng)。例(li)如(ru)在泄(xie)漏(lou)探(tan)測(ce)器的(de)(de)(de)(de)(de)安裝中應(ying)確(que)保被測(ce)管路滿溢(yi)(yi)（充氣(qi)）至少24小時后(hou)才(cai)能(neng)開始測(ce)試。若使用帶隔(ge)膜(mo)的(de)(de)(de)(de)(de)打壓(ya)(ya)機(ji)則無須此(ci)步驟(zou)。但應(ying)注(zhu)意(yi)(yi)氣(qi)體密度的(de)(de)(de)(de)(de)影(ying)響(xiang)。對于(yu)性氣(qi)體還應(ying)考慮其溢(yi)(yi)出風險和(he)安全措施等[3]。2.注(zhu)意(yi)(yi)控制輸入信號(hao)的(de)(de)(de)(de)(de)質量和(he)處(chu)理速度。這可以通過(guo)選(xuan)擇(ze)合適的(de)(de)(de)(de)(de)設(she)備(bei)(bei)和(he)參數來實現。需要(yao)注(zhu)意(yi)(yi)的(de)(de)(de)(de)(de)是設(she)備(bei)(bei)之(zhi)間的(de)(de)(de)(de)(de)匹配問題以及響(xiang)應(ying)時間對準(zhun)確(que)性的(de)(de)(de)(de)(de)干擾(rao)等問題。