變壓吸(xi)附法是(shi)一種靈(ling)活的高(gao)純氧制備工藝。

其原理是利用(yong)吸(xi)(xi)(xi)附(fu)(fu)(fu)(fu)劑(ji)對不(bu)同氣(qi)體吸(xi)(xi)(xi)附(fu)(fu)(fu)(fu)能力的(de)差異(yi)。在加壓時，空氣(qi)中的(de)氮(dan)氣(qi)、二氧(yang)化碳等(deng)雜質優先(xian)被吸(xi)(xi)(xi)附(fu)(fu)(fu)(fu)劑(ji)吸(xi)(xi)(xi)附(fu)(fu)(fu)(fu)，高(gao)純(chun)氧(yang)批發價(jia)格，而(er)氧(yang)氣(qi)則(ze)穿(chuan)過(guo)(guo)吸(xi)(xi)(xi)附(fu)(fu)(fu)(fu)床(chuang)流出(chu)，實現初步分離。當(dang)吸(xi)(xi)(xi)附(fu)(fu)(fu)(fu)劑(ji)飽和(he)后(hou)，通過(guo)(guo)降低壓力使吸(xi)(xi)(xi)附(fu)(fu)(fu)(fu)的(de)雜質解吸(xi)(xi)(xi)排出(chu)，吸(xi)(xi)(xi)附(fu)(fu)(fu)(fu)劑(ji)得(de)以再(zai)生循環使用(yong)。通過(guo)(guo)多個吸(xi)(xi)(xi)附(fu)(fu)(fu)(fu)塔交替工作，能夠(gou)持(chi)續產出(chu)高(gao)純(chun)氧(yang)。

變壓吸(xi)附法設備(bei)相對(dui)簡單、投(tou)資成本(ben)低、啟動速度快，特別適合中小(xiao)規模用氧需(xu)求(qiu)，在小(xiao)型工業(ye)企業(ye)等場(chang)所應用廣泛，能夠靈活滿足不同場(chang)景對(dui)高純氧的需(xu)求(qiu)。

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在(zai)半導體制造中，高純氧是生產芯片的關(guan)鍵(jian)氣體之一，用于氧化硅片、清(qing)洗設備和作(zuo)為載氣。

高純(chun)氧的高純(chun)度(du)和(he)穩定性確保了芯片(pian)制造過程中(zhong)的高精(jing)度(du)和(he)低污染。例如，在氧化工藝中(zhong)，高純(chun)氧多少錢一(yi)瓶，高純(chun)氧與(yu)硅反應生成二氧化硅層(ceng)，作為芯片(pian)的絕緣層(ceng)；

在清洗過程中，高(gao)純(chun)氧用于去(qu)除(chu)表面雜質，提高(gao)芯片性能。由于半導(dao)體(ti)(ti)對(dui)氣體(ti)(ti)純(chun)度要(yao)求很(hen)高(gao)，高(gao)純(chun)氧哪家(jia)純(chun)度高(gao)，高(gao)純(chun)氧需(xu)經過多次凈化，去(qu)除(chu)微(wei)量雜質，新鄉(xiang)高(gao)純(chun)氧，以滿足生產工藝需(xu)求。隨著(zhu)半導(dao)體(ti)(ti)行(xing)業(ye)的快速發展，高(gao)純(chun)氧的需(xu)求將持續增(zeng)長。

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低溫精餾(liu)法是大規模制備高(gao)純氧(yang)的(de)主流技術。

該方法先(xian)將(jiang)空(kong)氣(qi)壓縮、冷(leng)卻，使其(qi)液(ye)化。由于空(kong)氣(qi)中各(ge)成分沸點不(bu)同，氮(dan)氣(qi)沸點為(wei)(wei) - 196℃，氧(yang)(yang)氣(qi)沸點為(wei)(wei) - 183℃，利(li)用(yong)(yong)精(jing)(jing)(jing)餾塔進行(xing)多次氣(qi)液(ye)交換。在精(jing)(jing)(jing)餾過程(cheng)中，沸點較低的氮(dan)氣(qi)先(xian)蒸發為(wei)(wei)氣(qi)態上升(sheng)，而沸點稍高(gao)(gao)的氧(yang)(yang)氣(qi)則在塔底富(fu)集為(wei)(wei)液(ye)態。經過精(jing)(jing)(jing)餾與提純(chun)，可得到純(chun)度高(gao)(gao)達 99.5% 以(yi)上的高(gao)(gao)純(chun)氧(yang)(yang)。此方法生產(chan)(chan)規模(mo)大(da)(da)、產(chan)(chan)品純(chun)度高(gao)(gao)，能夠滿足工(gong)業等眾多領域對高(gao)(gao)純(chun)氧(yang)(yang)的大(da)(da)量需(xu)求，廣泛應用(yong)(yong)于大(da)(da)型制氧(yang)(yang)企業，為(wei)(wei)各(ge)行(xing)業提供穩定和可靠的高(gao)(gao)純(chun)氧(yang)(yang)來(lai)源。

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