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盛放樣(yang)(yang)(yang)品(pin)的銅(tong)(tong)網根據需要可(ke)(ke)以是多(duo)(duo)種多(duo)(duo)樣(yang)(yang)(yang)的,直徑一(yi)般均為3mm ,通常(chang)銅(tong)(tong)網上有多(duo)(duo)少(shao)個柵格,我(wo)們就把它(ta)(ta)稱(cheng)作多(duo)(duo)少(shao)目(mu)。之(zhi)所(suo)以選(xuan)擇(ze)銅(tong)(tong)制(zhi)(zhi)作樣(yang)(yang)(yang)品(pin)網,是由(you)于(yu)它(ta)(ta)不(bu)會與電(dian)子束及電(dian)磁場發(fa)生作用,同理(li)還可(ke)(ke)以選(xuan)擇(ze)其他導磁率(lv)低的金屬(shu)材料(如鎳(nie))制(zhi)(zhi)作樣(yang)(yang)(yang)品(pin)網,樣(yang)(yang)(yang)品(pin)網屬(shu)于(yu)易耗品(pin),銅(tong)(tong)網加(jia)工容易、成本低,故(gu)使(shi)用十(shi)分普及。
透射電(dian)鏡常見的樣品臺有2種(zhong):
①頂入(ru)式樣(yang)(yang)品(pin)臺(tai),要(yao)求樣(yang)(yang)品(pin)室空(kong)間大,一次(ci)可(ke)放入(ru)多(duo)(duo)個(ge)(常見(jian)為6個(ge))樣(yang)(yang)品(pin)網(wang)(wang),樣(yang)(yang)品(pin)網(wang)(wang)盛載杯(bei)呈環狀排列。使(shi)用(yong)時(shi)(shi)可(ke)以依靠(kao)機械(xie)手裝置進行依次(ci)交換(huan)。優點是每(mei)觀察完多(duo)(duo)個(ge)樣(yang)(yang)品(pin)后,才(cai)在(zai)更換(huan)樣(yang)(yang)品(pin)時(shi)(shi)破壞一次(ci)樣(yang)(yang)品(pin)室的(de)真空(kong),比較方便、省時(shi)(shi)間;但所需空(kong)間太大,致使(shi)樣(yang)(yang)品(pin)距下面物鏡的(de)距離(li)較遠,不適(shi)于縮短物鏡焦距,會影響電(dian)鏡分辨力的(de)提高(gao)。
②側插式(shi)樣(yang)(yang)(yang)品(pin)臺(tai),樣(yang)(yang)(yang)品(pin)臺(tai)制(zhi)成桿狀(zhuang),樣(yang)(yang)(yang)品(pin)網載放(fang)在前(qian)端,只能盛(sheng)放(fang)1~2個銅網。樣(yang)(yang)(yang)品(pin)臺(tai)的體(ti)積小(xiao),所占空間也(ye)小(xiao),可(ke)以設置在物鏡(jing)內(nei)部的上(shang)半端,有利于電鏡(jing)分辨率的提高。缺點是一(yi)次不能同時放(fang)入多個樣(yang)(yang)(yang)品(pin)網,每次更換(huan)樣(yang)(yang)(yang)品(pin)必須破壞一(yi)次樣(yang)(yang)(yang)品(pin)室(shi)的真(zhen)空,略嫌不便。
為什么會出現(xian)這(zhe)樣奇怪(guai)的(de)(de)現(xian)象?為什么更好的(de)(de)分辨(bian)率卻沒(mei)有得(de)到更真實的(de)(de)圖像?前面我(wo)們已經說(shuo)到,電(dian)子束(shu)(shu)是由掃(sao)描(miao)線(xian)圈(quan)的(de)(de)脈(mo)沖信號控制,電(dian)子束(shu)(shu)在試樣表面并(bing)不是連續掃(sao)描(miao),而是逐點跳(tiao)躍(yue)式的(de)(de)掃(sao)描(miao)。一般掃(sao)描(miao)電(dian)鏡(jing)的(de)(de)采集像素比較大,我(wo)們會誤以為是連續掃(sao)描(miao)。既然掃(sao)描(miao)電(dian)鏡(jing)是束(shu)(shu)斑(ban)間斷跳(tiao)躍(yue)式的(de)(de)軌(gui)跡,那么電(dian)子束(shu)(shu)就(jiu)有一定的(de)(de)覆蓋面積。
束斑中心的距離取決于放大倍數和采集像素大小。當束斑較大時,束斑覆蓋比較;但是當束斑減小時,束斑的覆蓋區域也越來越小,所以有的特征形貌會從束斑兩個跳躍中心穿過而沒有被覆蓋到,所以相應的形貌特征也不會反映在圖像上,這就造成了信息的丟失。像上述例子,在大倍數小,束斑之間跳躍間距小,足夠覆蓋特征形貌,但是縮小倍數后,跳躍距離變大,束斑不足以覆蓋所有的特征形貌,有的線條就反映不出來。
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