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偵測到亮點之情況;
會(hui)產(chan)生(sheng)亮點(dian)的缺陷:1.漏電(dian)(dian)(dian)結;2.解除毛刺;3.熱電(dian)(dian)(dian)子效應;4閂鎖效應; 5氧化層漏電(dian)(dian)(dian);6多晶(jing)硅須;7襯(chen)底(di)損(sun)失(shi);8.物理損(sun)傷等。 偵(zhen)測不(bu)到亮點(dian)之情況(kuang) 不(bu)會(hui)出現亮點(dian)之故障:1.亮點(dian)位置被擋(dang)到或遮蔽的情形(埋入(ru)式的接面及 大(da)面積(ji)金(jin)屬線(xian)底(di)下的漏電(dian)(dian)(dian)位置);2.歐姆接觸;3.金(jin)屬互(hu)聯短路;4.表面 反型層;5.硅導電(dian)(dian)(dian)通路等。
點被遮蔽之情況:埋(mai)入式的(de)接面及(ji)大面積金屬線底下的(de)漏電位(wei)置,這種情 況可采(cai)用Backside模(mo)式,但是(shi)只能探測(ce)近紅外波段的(de)發光,且需要(yao)減薄(bo)及(ji) 拋光處理。
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