濺射(she)靶材(cai)ITO靶材(cai)的生(sheng)產(chan)(chan)工(gong)(gong)藝(yi)(yi)?ITO靶材(cai)的生(sheng)產(chan)(chan)工(gong)(gong)藝(yi)(yi)可以分為3種：熱(re)等(deng)靜壓法(HIP)、濺射(she)靶材(cai)熱(re)壓法(HP)和(he)氣氛燒(shao)結(jie)法。各種生(sheng)產(chan)(chan)工(gong)(gong)藝(yi)(yi)及其特點簡介如下：

熱(re)(re)等靜(jing)(jing)壓法：ITO靶材(cai)的熱(re)(re)等靜(jing)(jing)壓制(zhi)作過(guo)程是將粉末或(huo)預先(xian)成形(xing)的胚體，在800℃～1400℃及1000kgf/cm 2～2000kgf/cm 2的壓力下等方加(jia)壓燒結。熱(re)(re)等靜(jing)(jing)壓工藝制(zhi)造產(chan)品密度高、物理機械性能好，但設備投入高，生產(chan)成本高，純銀板材(cai)誰家好，產(chan)品的缺氧(yang)率高。

使用電(dian)子導電(dian)性橡膠(jiao)時，由于導電(dian)性填(tian)充劑(ji)添加量的(de)(de)變化都會引發(fa)電(dian)阻(zu)(zu)劇烈變化，所以存在(zai)電(dian)阻(zu)(zu)值很難控(kong)制的(de)(de)問題。而且，由于橡膠(jiao)中的(de)(de)導電(dian)性填(tian)充劑(ji)難以均勻分散，蕪湖(hu)純銀板材，所以輥筒(tong)的(de)(de)圓周方(fang)向(xiang)和(he)寬度方(fang)向(xiang)上的(de)(de)電(dian)阻(zu)(zu)值不均勻。

對橡(xiang)膠(jiao)組合物(wu)進行硫(liu)(liu)化(hua)處理(li)的方法包括(kuo)使用(yong)加壓(ya)裝置和(he)硫(liu)(liu)化(hua)處理(li)槽的間(jian)歇(xie)式(shi)或連續式(shi)硫(liu)(liu)化(hua)法。用(yong)間(jian)歇(xie)式(shi)硫(liu)(liu)化(hua)法進行硫(liu)(liu)化(hua)處理(li)制(zhi)造(zao)輥(gun)筒時(shi)，由于端部(bu)和(he)中(zhong)央部(bu)分會產生壓(ya)力和(he)熱傳遞差，所以電阻值不均勻。

鎢-鈦（W-Ti）膜(mo)以(yi)及以(yi)鎢-鈦（W-Ti）為基的(de)(de)合(he)(he)金(jin)(jin)(jin)膜(mo)是高(gao)溫(wen)合(he)(he)金(jin)(jin)(jin)膜(mo)，具有一系列的(de)(de)優良(liang)性能(neng)(neng)。鎢具有高(gao)熔點、高(gao)強度(du)和低的(de)(de)熱膨(peng)脹系數(shu)等性能(neng)(neng)，純銀(yin)板材廠(chang)家，W/ Ti 合(he)(he)金(jin)(jin)(jin)具有低的(de)(de)電(dian)阻(zu)系數(shu)、良(liang)好的(de)(de)熱穩(wen)定性能(neng)(neng)。如各種器件都需要起到(dao)導電(dian)作用的(de)(de)金(jin)(jin)(jin)屬布線，例如Al 、Cu 和Ag 等已經被廣泛的(de)(de)應用和研(yan)究。但是布線金(jin)(jin)(jin)屬本身易(yi) 氧化(hua)、易(yi)與(yu)周圍的(de)(de)環境發生反應，純銀(yin)板材回收，與(yu)介質(zhi)層的(de)(de)粘(zhan)結性差(cha)，易(yi)擴散進入Si 與(yu)SiO2 等器件的(de)(de)襯底(di)材料(liao)中，并且在較(jiao)低的(de)(de)溫(wen)度(du)下(xia)會形成金(jin)(jin)(jin)屬與(yu)Si 的(de)(de)化(hua)合(he)(he)物， 充當了雜(za)質(zhi)的(de)(de)角(jiao)色，使器件的(de)(de)性能(neng)(neng)大幅度(du)下(xia)降。