流(liu)量控制器的應用中IST流(liu)量傳感器的作用

IST-AG通過特殊的(de)(de)(de)薄(bo)膜(mo)工(gong)(gong)藝，將高精度加熱(re)器(qi)(qi)，溫度傳(chuan)感(gan)器(qi)(qi)或電(dian)堆封(feng)裝在(zai)單(dan)一芯片內，構(gou)(gou)成(cheng)流(liu)(liu)(liu)量(liang)測量(liang)的(de)(de)(de)主要傳(chuan)感(gan)單(dan)元（Figure 2） ，通過流(liu)(liu)(liu)量(liang)傳(chuan)感(gan)器(qi)(qi)以響應(ying)絕大多數流(liu)(liu)(liu)量(liang)測量(liang)場景，薄(bo)膜(mo)技術的(de)(de)(de)應(ying)用使得IST AG流(liu)(liu)(liu)量(liang)傳(chuan)感(gan)器(qi)(qi)具有很好(hao)的(de)(de)(de)結構(gou)(gou)與性能優勢。為(wei)此IST流(liu)(liu)(liu)量(liang)傳(chuan)感(gan)器(qi)(qi)在(zai)MFC中的(de)(de)(de)應(ying)用工(gong)(gong)采網推薦瑞士(shi)IST 質量(liang)流(liu)(liu)(liu)量(liang)傳(chuan)感(gan)器(qi)(qi) - FS5.0.1L.195的(de)(de)(de)升級版IST-AG FS7流(liu)(liu)(liu)量(liang)傳(chuan)感(gan)器(qi)(qi)。

IST公(gong)司的(de)(de)FS5.0.1L.195是一個(ge)熱(re)(re)(re)(re)(re)質(zhi)流(liu)(liu)(liu)量(liang)傳(chuan)(chuan)感器(qi)，用于(yu)各種氣(qi)流(liu)(liu)(liu)應用.熱(re)(re)(re)(re)(re)質(zhi)流(liu)(liu)(liu)量(liang)傳(chuan)(chuan)感器(qi)使用熱(re)(re)(re)(re)(re)傳(chuan)(chuan)遞(di)原則，確定流(liu)(liu)(liu)體的(de)(de)流(liu)(liu)(liu)率.隨著(zhu)流(liu)(liu)(liu)體通過傳(chuan)(chuan)感器(qi)，熱(re)(re)(re)(re)(re)質(zhi)由(you)傳(chuan)(chuan)感器(qi)傳(chuan)(chuan)遞(di)到媒體.此關(guan)序取(qu)決于(yu)流(liu)(liu)(liu)動速率.隨著(zhu)流(liu)(liu)(liu)動增(zeng)加，熱(re)(re)(re)(re)(re)量(liang)被(bei)傳(chuan)(chuan)遞(di).通過了解媒體的(de)(de)溫度，即可通過為保持恒定溫度差的(de)(de)電(dian)壓補(bu)償量(liang)得出流(liu)(liu)(liu)速。

而(er)IST-AG FS7流量傳感(gan)器(qi)(qi)(qi)寬廣的(de)測量范(fan)圍允許將(jiang)傳感(gan)器(qi)(qi)(qi)直接置于被(bei)測氣路(lu)當中，免(mian)去復雜(za)的(de)旁路(lu)設計。傳感(gan)器(qi)(qi)(qi)具有(you)陶瓷基底與鈍化玻璃(li)層進(jin)行保護，具有(you)較佳的(de)長期穩定性。

因此在終端應用中，質量(liang)(liang)(liang)流(liu)量(liang)(liang)(liang)控制器的(de)可(ke)靠性多半是許多半導體工藝的(de)基(ji)礎。MFC 的(de)失準或制造缺(que)陷會導致晶圓產量(liang)(liang)(liang)下(xia)降，甚至(zhi)會損壞整個晶圓。采(cai)用IST流(liu)量(liang)(liang)(liang)傳感(gan)器則可(ke)以為(wei)MFC產品帶(dai)來(lai)如下(xia)優勢(shi):

1、足(zu)夠寬的測(ce)(ce)量范圍使得在許(xu)多場景中不必使用旁路，而進行直接測(ce)(ce)量，提(ti)高測(ce)(ce)量的準確性。

2、薄膜技(ji)術帶(dai)來極高的響應靈敏度，在一(yi)般(ban)測量狀態就(jiu)可以(yi)瞬間響應壓力(li)浪涌。

3、小巧的(de)體積與簡單的(de)安裝方式(shi)，給氣路(lu)結構優化創造更大(da)的(de)空間。

熱(re)式氣體質量(liang)流(liu)量(liang)控制器與(yu)流(liu)量(liang)計對安(an)裝方向的要求

厚(hou)禮博生產的(de)AC系列(lie)、DC系列(lie)以(yi)及(ji)BDD系列(lie)的(de)熱式氣(qi)體(ti)(ti)質量流量控制器/流量計(ji)能(neng)滿足市面上大多數(shu)用(yong)戶的(de)使(shi)用(yong)需求，具有(you)體(ti)(ti)積小，數(shu)字化(hua)程(cheng)度(du)高，安裝(zhuang)方便(bian)，響應(ying)速度(du)快，測(ce)(ce)量準確等(deng)優點，能(neng)直接測(ce)(ce)量和控制介質的(de)質量流量，無須溫壓補償；設計(ji)、選型、安裝(zhuang)、使(shi)用(yong)方便(bian)簡便(bian)，適合各類單一(yi)或混合氣(qi)體(ti)(ti)流量測(ce)(ce)量。

熱(re)(re)式(shi)氣(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)質(zhi)量流(liu)(liu)量控制器MFC為(wei)Mass Flow Controller的(de)(de)(de)(de)縮(suo)寫，廣東(dong)流(liu)(liu)量計算器，即質(zhi)量流(liu)(liu)量控制器，是帶有(you)控制氣(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)質(zhi)量流(liu)(liu)量的(de)(de)(de)(de)裝置。熱(re)(re)式(shi)氣(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)質(zhi)量流(liu)(liu)量計MFM為(wei)Mass Flow Meter的(de)(de)(de)(de)縮(suo)寫，即質(zhi)量流(liu)(liu)量計是不具(ju)有(you)控制氣(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)質(zhi)量流(liu)(liu)量功能的(de)(de)(de)(de)裝置，流(liu)(liu)量計算器哪家好，熱(re)(re)式(shi)氣(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)質(zhi)量流(liu)(liu)量計是用(yong)于測量和控制氣(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)質(zhi)量流(liu)(liu)量的(de)(de)(de)(de)新(xin)型儀(yi)表。可用(yong)于石油(you)、化工、鋼鐵、冶(ye)金、電(dian)力(li)、輕(qing)工、環保等工業部(bu)門的(de)(de)(de)(de)空氣(qi)(qi)(qi)(qi)、烴類氣(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)、可燃性氣(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)、煙道氣(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)的(de)(de)(de)(de)監測。

隨(sui)著生(sheng)產(chan)技術的日益發展和進步(bu)，本公(gong)司生(sheng)產(chan)的熱式氣體質(zhi)量(liang)流(liu)量(liang)控制器與流(liu)量(liang)計在安(an)(an)裝的時(shi)(shi)候(hou)，對安(an)(an)裝方向已無特(te)定(ding)要求(qiu)，可(ke)任意方向位置安(an)(an)裝，如果用(yong)戶訂貨時(shi)(shi)注明安(an)(an)裝位置，我公(gong)司可(ke)依此標定(ding)后出(chu)廠。

AC系(xi)(xi)列、DC系(xi)(xi)列、BDD系(xi)(xi)列的(de)氣體質量(liang)流量(liang)控制器和質量(liang)流量(liang)計產品的(de)正常(chang)工作壓力范圍可選(xuan)：3MPa、5MPa、10Mpa，產品精度優(you)于(yu)±1%F.S，響應速度優(you)于(yu)2秒且(qie)流量(liang)值(zhi)穩定(ding)速度也是極快(kuai)的(de)。閥體過流材質均(jun)選(xuan)用品質良好的(de)316L不銹鋼。供電方式為+15V—24V的(de)寬頻供電，能滿足市面上絕大多數用戶的(de)使用要求和使用習慣。DB9針的(de)電氣接(jie)頭，也方便了用戶在使用時的(de)拆裝。

流量控制器的作用

鋼(gang)包吹(chui)氬(ya)處理(li)又稱(cheng)剛液(ye)吹(chui)氬(ya)處理(li)，是一種(zhong)簡(jian)易的(de)(de)鋼(gang)液(ye)脫氣(qi)(qi)和去除(chu)非金屬(shu)夾雜物的(de)(de)爐外精煉方法。這種(zhong)方法工(gong)藝簡(jian)單，設備便宜，精煉效果明(ming)顯。依(yi)據所需處理(li)鋼(gang)液(ye)在常溫下的(de)(de)組織(zhi)以及處理(li)目的(de)(de)的(de)(de)不同，吹(chui)入(ru)(ru)(ru)鋼(gang)液(ye)的(de)(de)氣(qi)(qi)體，可以選用(yong)氬(ya)氣(qi)(qi)、氮氣(qi)(qi)、水(shui)蒸氣(qi)(qi)、空氣(qi)(qi)，或(huo)先吹(chui)入(ru)(ru)(ru)氮氣(qi)(qi)、水(shui)蒸氣(qi)(qi)、空氣(qi)(qi)，然后(hou)再吹(chui)入(ru)(ru)(ru)氬(ya)氣(qi)(qi)。鋼(gang)液(ye)吹(chui)氬(ya)處理(li)有重要的(de)(de)冶金意義。

使(shi)用LF系列氣(qi)體質量(liang)流(liu)量(liang)控(kong)制(zhi)器(qi)(qi)進行(xing)鋼(gang)包(bao)吹氬(ya)的方(fang)式有兩(liang)種(zhong)：一(yi)種(zhong)鋼(gang)包(bao)底吹，流(liu)量(liang)計算器(qi)(qi)廠家，一(yi)種(zhong)鋼(gang)包(bao)頂吹。鋼(gang)包(bao)吹氬(ya)受壓力(li)的影響。吹氬(ya)壓力(li)越(yue)(yue)大(da)(da)(da)，攪動力(li)越(yue)(yue)大(da)(da)(da)，氣(qi)泡上升越(yue)(yue)快。但吹氬(ya)壓力(li)過大(da)(da)(da)，氬(ya)氣(qi)流(liu)涉及范圍就越(yue)(yue)來(lai)越(yue)(yue)小，甚(shen)至形成(cheng)連續氣(qi)泡柱，而且容(rong)易造(zao)成(cheng)鋼(gang)包(bao)液面劇烈翻(fan)滾，鋼(gang)液大(da)(da)(da)量(liang)露在與(yu)空氣(qi)接觸造(zao)成(cheng)二次氧化和降(jiang)溫。鋼(gang)渣(zha)(zha)相混，被擊碎乳(ru)化的爐(lu)渣(zha)(zha)入鋼(gang)水(shui)深處，使(shi)夾雜物含量(liang)增加。所以很大(da)(da)(da)壓力(li)以不沖破渣(zha)(zha)層露出液面為限(xian)。壓力(li)過小，攪拌能(neng)力(li)弱，吹氬(ya)時間延長，甚(shen)至造(zao)成(cheng)透氣(qi)磚堵(du)塞。

所(suo)(suo)以壓力過大(da)(da)過小都(dou)不好，流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)計算器(qi)報價(jia)，理想(xiang)的(de)(de)(de)吹氬(ya)壓力是使(shi)氮氣流(liu)(liu)(liu)遍布(bu)整(zheng)個(ge)鋼包，氬(ya)氣泡在(zai)鋼液內呈(cheng)均勻分(fen)布(bu)。萊峰流(liu)(liu)(liu)體氣體質量(liang)(liang)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)控(kong)制(zhi)器(qi)由質量(liang)(liang)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)傳(chuan)(chuan)(chuan)感器(qi)、熱(re)(re)式原件、質量(liang)(liang)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)控(kong)制(zhi)器(qi)調(diao)節閥和放(fang)大(da)(da)電(dian)路組成(cheng)，它利用(yong)流(liu)(liu)(liu)動(dong)的(de)(de)(de)流(liu)(liu)(liu)體傳(chuan)(chuan)(chuan)遞熱(re)(re)量(liang)(liang)改變測量(liang)(liang)毛(mao)細管溫(wen)度分(fen)布(bu)的(de)(de)(de)熱(re)(re)傳(chuan)(chuan)(chuan)導分(fen)布(bu)效應而制(zhi)成(cheng)，其(qi)原理是采(cai)用(yong)毛(mao)細管傳(chuan)(chuan)(chuan)熱(re)(re)前后溫(wen)度差量(liang)(liang)熱(re)(re)法原理測量(liang)(liang)氣體的(de)(de)(de)質量(liang)(liang)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)，將(jiang)傳(chuan)(chuan)(chuan)感器(qi)測得的(de)(de)(de)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)信號進行(xing)放(fang)大(da)(da)，然后與(yu)設定的(de)(de)(de)電(dian)壓進行(xing)比較，用(yong)所(suo)(suo)得的(de)(de)(de)差值去驅動(dong)控(kong)制(zhi)調(diao)節閥門，閉(bi)環控(kong)制(zhi)流(liu)(liu)(liu)過通道的(de)(de)(de)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)使(shi)之(zhi)與(yu)設定的(de)(de)(de)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)相等(deng)。

能(neng)(neng)準確可靠的(de)測(ce)量(liang)和控(kong)制氣(qi)體質量(liang)流(liu)量(liang)，測(ce)量(liang)和控(kong)制精度(du)高、零(ling)飄小(xiao)，測(ce)量(liang)和控(kong)制范圍(wei)寬，測(ce)量(liang)和控(kong)制的(de)準確度(du)不(bu)受環(huan)境溫度(du)和外(wai)界壓力的(de)影響。不(bu)管是(shi)在鋼(gang)包(bao)底吹(chui)還是(shi)鋼(gang)包(bao)頂吹(chui)都(dou)能(neng)(neng)很好的(de)控(kong)制氬氣(qi)均勻的(de)注(zhu)入，使鋼(gang)液在澆(jiao)注(zhu)前(qian)成分、溫度(du)均勻，實現(xian)連鑄工藝正常(chang)化，提高鋼(gang)材沖擊(ji)韌性等。