氦(hai)質譜檢(jian)(jian)(jian)漏(lou)(lou)(lou)主要領域：航空航天——燃(ran)料箱、油箱、及各種電(dian)機等(deng)；儀(yi)表制造——壓(ya)力傳感器、閥門、波紋管(guan)(guan)和(he)密封焊(han)(han)接件等(deng)；氦(hai)質譜檢(jian)(jian)(jian)漏(lou)(lou)(lou)設(she)備(bei)應在施工(gong)(gong)工(gong)(gong)作完成后(hou)進(jin)行本(ben)測(ce)(ce)(ce)試，測(ce)(ce)(ce)試完成后(hou)不得(de)進(jin)行焊(han)(han)縫(feng)的(de)(de)修磨等(deng)。若設(she)備(bei)被浸濕或有殘余的(de)(de)液(ye)體都會影響毛細管(guan)(guan)的(de)(de)泄漏(lou)(lou)(lou)而影響測(ce)(ce)(ce)試結(jie)果的(de)(de)真實性。氦(hai)質譜檢(jian)(jian)(jian)漏(lou)(lou)(lou)儀(yi)在管(guan)(guan)道檢(jian)(jian)(jian)測(ce)(ce)(ce)方(fang)面有兩(liang)種檢(jian)(jian)(jian)測(ce)(ce)(ce)方(fang)法(fa)，負(fu)壓(ya)法(fa)和(he)正(zheng)壓(ya)法(fa)，一般化工(gong)(gong)管(guan)(guan)道采用(yong)的(de)(de)是(shi)負(fu)壓(ya)法(fa)。負(fu)壓(ya)法(fa)就是(shi)常說的(de)(de)抽真空，這是(shi)氦(hai)質譜檢(jian)(jian)(jian)漏(lou)(lou)(lou)儀(yi)常用(yong)的(de)(de)檢(jian)(jian)(jian)漏(lou)(lou)(lou)方(fang)法(fa)。

氦(hai)質(zhi)譜檢漏儀(yi)是如何(he)工(gong)作(zuo)的(de)(de)(de)?氦(hai)質(zhi)譜檢漏儀(yi)由離(li)(li)子(zi)源、分析器、、真空系統、電(dian)子(zi)線路及其他(ta)電(dian)氣(qi)部(bu)分組成(cheng)。為(wei)了方便解(jie)釋氦(hai)質(zhi)譜檢漏儀(yi)是如何(he)工(gong)作(zuo)的(de)(de)(de)，我們以磁(ci)偏轉型的(de)(de)(de)氦(hai)質(zhi)譜檢漏儀(yi)為(wei)例進行說明(ming)。在(zai)質(zhi)譜室的(de)(de)(de)離(li)(li)子(zi)源N內，氣(qi)體被電(dian)離(li)(li)成(cheng)離(li)(li)子(zi)。在(zai)電(dian)場作(zuo)用(yong)下離(li)(li)子(zi)聚焦(jiao)成(cheng)東，并(bing)以-定的(de)(de)(de)速(su)度(du)經(jing)由縫隙(xi)S1進入磁(ci)分析器，在(zai)均勻磁(ci)場的(de)(de)(de)作(zuo)用(yong)下，具有-定速(su)度(du)的(de)(de)(de)離(li)(li)子(zi)束(shu)(shu)(shu)，將按圓形(xing)軌(gui)跡運動。調(diao)節(jie)加速(su)電(dian)壓U使氦(hai)離(li)(li)子(zi)束(shu)(shu)(shu)M z恰能(neng)通過(guo)縫隙(xi)S2到達收(shou)集極K而形(xing)成(cheng)離(li)(li)子(zi)流。利用(yong)弱電(dian)流量測(ce)設備(bei)，使之在(zai)輸出儀(yi)表與(yu)音響(xiang)裝置上(shang)反(fan)映(ying)出來(lai)。而其他(ta)不(bu)同于M2的(de)(de)(de)離(li)(li)子(zi)束(shu)(shu)(shu)則以不(bu)同的(de)(de)(de)偏轉半徑(jing)而被分開。

氦質譜(pu)(pu)檢(jian)漏(lou)(lou)(lou)(lou)儀是(shi)根據(ju)質譜(pu)(pu)學原理，用氦氣作示漏(lou)(lou)(lou)(lou)氣體制(zhi)(zhi)成(cheng)(cheng)(cheng)的氣密性檢(jian)測儀器(qi)(qi)。由離子(zi)源、分(fen)析器(qi)(qi)、收集(ji)器(qi)(qi)、冷陰極電離規(gui)組成(cheng)(cheng)(cheng)的質譜(pu)(pu)室和抽氣系(xi)統及(ji)電氣部(bu)分(fen)等組成(cheng)(cheng)(cheng)。檢(jian)漏(lou)(lou)(lou)(lou)儀自動化程(cheng)度高：自動校準氦峰，電力行(xing)業(ye)檢(jian)漏(lou)(lou)(lou)(lou)公司，自動調節(jie)零點(dian)，量程(cheng)自動轉換，自動數據(ju)處理，可外接(jie)打印(yin)機。氦質譜(pu)(pu)檢(jian)漏(lou)(lou)(lou)(lou)儀由微機控(kong)制(zhi)(zhi)，菜單的選擇功能，一個按鈕即可完成(cheng)(cheng)(cheng)一次(ci)的全(quan)檢(jian)漏(lou)(lou)(lou)(lou)過程(cheng)。檢(jian)漏(lou)(lou)(lou)(lou)儀高壓強(qiang)下(xia)檢(jian)漏(lou)(lou)(lou)(lou)：檢(jian)漏(lou)(lou)(lou)(lou)口(kou)壓強(qiang)可高達數百帕左(zuo)右(you)，對檢(jian)測大系(xi)統和有(you)大漏(lou)(lou)(lou)(lou)的工件很有(you)益。