各種氣(qi)體配(pei)管配(pei)件(jian)要(yao)求

在半導體(ti)(ti)體(ti)(ti)行(xing)業線寬越(yue)(yue)做(zuo)越(yue)(yue)小，其對氣體(ti)(ti)純度、顆(ke)粒度、雜質含(han)量、露(lu)i點的要求(qiu)也越(yue)(yue)來越(yue)(yue)高。

高(gao)純氮(dan)氣(PN2)：系統管(guan)(guan)道采(cai)用內壁電解拋光(guang)(EP)低碳(316L)不銹鋼(gang)管(guan)(guan)，閥門采(cai)用相同(tong)材質的波紋管(guan)(guan)閥或隔(ge)膜閥。

氮氣(N2)：系統管(guan)道采用(yong)內(nei)壁電解拋光(EP)低(di)碳(tan)(316L)不銹鋼管(guan)或光亮退火(BA)低(di)碳(tan)(316L)不銹鋼管(guan)，閥門采用(yong)相同材質的波紋管(guan)閥或球閥。

高純氫氣(PH2)氫氣(H2)：系統管道采(cai)用內壁電解拋光(guang)(EP)低(di)碳(tan)(316L)不(bu)銹鋼管，氣體(ti)管道，閥(fa)門采(cai)用相同材質(zhi)的波紋管閥(fa)或隔膜(mo)閥(fa)。(Ar)：系統管道采(cai)用內壁電解拋光(guang)(EP)低(di)碳(tan)(316L)不(bu)銹鋼管，閥(fa)門采(cai)用相同材質(zhi)的波紋管閥(fa)或隔膜(mo)閥(fa)。

氦氣(He)：系(xi)統管道采(cai)用內(nei)壁電解拋光(EP)低碳(316L不銹鋼管)閥(fa)門采(cai)用相同(tong)材質的(de)波(bo)紋管閥(fa)或隔膜閥(fa)。

特氣(qi)系(xi)統(tong)：必要的(de)(de)還需做雙(shuang)套管(guan)：外(wai)管(guan)酸洗鈍化(AP)處理，內管(guan)電(dian)解(jie)拋(pao)光(EP)，閥門采用相同(tong)材(cai)質的(de)(de)波紋管(guan)閥或隔膜閥。

對于特(te)殊氣(qi)(qi)體(ti)來講，氣(qi)(qi)體(ti)品種多，有毒(du)有害氣(qi)(qi)體(ti)多，原來是一(yi)機臺配一(yi)氣(qi)(qi)柜，高(gao)昂的裝(zhuang)備組合(he)和(he)維修費(fei)用大大增加了投(tou)資成本(ben)，且(qie)有的還布置在(zai)工(gong)藝間內(nei)，存在(zai)著(zhu)泄漏的安(an)全(quan)隱患。現在(zai)廣泛采用集中供氣(qi)(qi)系統，氣(qi)(qi)柜集中，自控系統不斷完(wan)善(shan)，其報警、噴淋、切(qie)換、吹掃多較為成熟，氣(qi)(qi)體(ti)管道溫差，特(te)氣(qi)(qi)間也與工(gong)藝間隔離，并(bing)對房(fang)間有防(fang)爆要(yao)求，工(gong)作的安(an)全(quan)性大大提(ti)高(gao)。

氣體管道工程泄漏檢(jian)查(cha)的方法(fa)有(you)哪些？

氣體(ti)管道(gas pipeline)包括控(kong)制閥門(men)、過濾(lv)器、減壓裝置、壓力表(biao)、流(liu)量計、在線分析儀等，宜集(ji)中設在氣體(ti)入口室。

Ai級試漏

對氣(qi)(qi)(qi)路(lu)嚴重泄漏(lou)(lou)的(de)粗略觀察(cha)。通常在(zai)(zai)氣(qi)(qi)(qi)源打開(kai)(kai)并穩定之后，不(bu)應聽到(dao)(dao)(dao)氣(qi)(qi)(qi)路(lu)流經的(de)各管(guan)(guan)路(lu)及閥(fa)件(jian)接(jie)頭(tou)處有(you)絲絲的(de)跑氣(qi)(qi)(qi)聲，如聽到(dao)(dao)(dao)明顯的(de)漏(lou)(lou)氣(qi)(qi)(qi)聲，說明系統有(you)大漏(lou)(lou)!必須依據漏(lou)(lou)氣(qi)(qi)(qi)聲，追查(cha)出(chu)泄漏(lou)(lou)處，并加(jia)以(yi)排除。引起系統大漏(lou)(lou)的(de)常見原因(yin)是：氣(qi)(qi)(qi)路(lu)接(jie)頭(tou)沒(mei)上緊，氣(qi)(qi)(qi)路(lu)中管(guan)(guan)路(lu)開(kai)(kai)裂及沒(mei)加(jia)合適(shi)的(de)墊(dian)片等。查(cha)找氣(qi)(qi)(qi)路(lu)的(de)嚴重泄漏(lou)(lou)，也可在(zai)(zai)流 路(lu)的(de)流量開(kai)(kai)到(dao)(dao)(dao)頂值(zhi)時，用肥皂水(shui)在(zai)(zai)各接(jie)頭(tou)逐步測(ce)試有(you)無氣(qi)(qi)(qi)泡出(chu)現而加(jia)以(yi)證實。

B級試漏

對氣(qi)(qi)路(lu)中(zhong)輕(qing)微(wei)漏(lou)氣(qi)(qi)的檢查(cha)。方法是堵住氣(qi)(qi)路(lu)出(chu)口，觀察氣(qi)(qi)路(lu)中(zhong)流量計內的轉(zhuan)子。如果能緩(huan)緩(huan)下降為零(ling)，即(ji)可認(ren)為此氣(qi)(qi)路(lu)B級試(shi)漏(lou)合格。如轉(zhuan)子不能降到零(ling)，可用肥皂水在各接頭處(chu)仔細觀察。直到找(zhao)到泄(xie)漏(lou)處(chu)為止。

C級試漏

對(dui)氣路中極i小漏氣的檢查(cha)。方法(fa)是堵(du)住氣路出(chu)口，觀察系統(tong)壓(ya)力表，不得在(zai)(zai)半小時(shi)之內有5kPa(相(xiang)當于0.05kgf/cm2)以上的下降。此時(shi)系統(tong)壓(ya)力應在(zai)(zai)0.25MPa(相(xiang)當于2.5kgf/cm2)以上。必要時(shi)可在(zai)(zai)系統(tong)出(chu)口處外(wai)接一個0.5級標準壓(ya)力表來讀取壓(ya)力變化(hua)數。

在(zai)證(zheng)實氣(qi)路系(xi)統有泄(xie)漏(lou)(lou)(lou)(lou)時，可用分段堵住或關閉氣(qi)路的(de)(de)方法來縮小漏(lou)(lou)(lou)(lou)氣(qi)發(fa)生(sheng)的(de)(de)范圍。絕大多數的(de)(de)漏(lou)(lou)(lou)(lou)氣(qi)點都(dou)發(fa)生(sheng)于氣(qi)路接頭(tou)處(chu)，而氣(qi)路閥(fa)件內(nei)部(bu)的(de)(de)泄(xie)漏(lou)(lou)(lou)(lou)也時有發(fa)生(sheng)，至于管路中間(jian)的(de)(de)泄(xie)漏(lou)(lou)(lou)(lou)，除了急轉彎處(chu)以外是很(hen)少(shao)見的(de)(de)。

實(shi)驗(yan)室(shi)氣(qi)體管(guan)道供氣(qi)系統

實(shi)驗室(shi)(shi)氣路安裝指實(shi)驗室(shi)(shi)氣體工程(cheng)，即從氣瓶(ping)至儀器(qi)終端之間連接管線(xian)(xian)，JHP一般(ban)有(you)氣體切換裝置(zhi)-減壓裝置(zhi)-閥門-管線(xian)(xian)-過濾器(qi)-報(bao)警(jing)器(qi)-終端箱-調(diao)節閥等部分組(zu)成。目前主流氣路編排主要為實(shi)驗室(shi)(shi)集中供氣系統(tong)。

公司(si)提供全(quan)(quan)i方位的實驗室氣(qi)(qi)(qi)體管(guan)道(dao)供氣(qi)(qi)(qi)系(xi)統(tong)，滿足不同實驗的用氣(qi)(qi)(qi)要求與安(an)全(quan)(quan)。采用匯流(liu)排供氣(qi)(qi)(qi)設(she)備，氣(qi)(qi)(qi)體管(guan)道(dao)系(xi)統(tong)，進行雙瓶帶(dai)手動(dong)(dong)、半自動(dong)(dong)、全(quan)(quan)自動(dong)(dong)切(qie)換功能，帶(dai)有低(di)壓報警裝置，實時監(jian)控氣(qi)(qi)(qi)體壓力，濃度偵測報警和排風，保證(zheng)客戶(hu)正常用氣(qi)(qi)(qi)需(xu)求和生命財產安(an)全(quan)(quan)。