氦質(zhi)譜檢漏系統(tong)是(shi)一(yi)種高靈敏度(du)的(de)(de)(de)(de)泄漏檢測(ce)設備，主要(yao)用(yong)于真空(kong)系統(tong)中(zhong)微小滲漏的(de)(de)(de)(de)發現(xian)。其原理是(shi)利用(yong)氣體分(fen)子在壓(ya)力差或電(dian)磁場的(de)(de)(de)(de)作用(yong)下通(tong)過固體表面時(shi)產(chan)生的(de)(de)(de)(de)離子化現(xian)象(xiang)進(jin)行(xing)質(zhi)量分(fen)析，從而實現(xian)對特(te)定氣體的(de)(de)(de)(de)定量測(ce)量和定位(wei)定位(wei)。該系統(tong)的(de)(de)(de)(de)應(ying)用(yong)范圍非(fei)常廣(guang)泛，涉及(ji)到(dao)航空(kong)航天(tian)、裝備維修(xiu)保(bao)(bao)障、核工(gong)業裝置檢驗(yan)監(jian)測(ce)等多(duo)個領域，對于保(bao)(bao)證產(chan)品的(de)(de)(de)(de)可(ke)靠(kao)性和安全(quan)性具有重要(yao)意義。同時(shi)它(ta)也為民用(yong)產(chan)品如汽(qi)車(che)制造(zao)等領域提供了(le)可(ke)靠(kao)的(de)(de)(de)(de)解決方案。

檢漏系統是(shi)一種用于檢測(ce)泄(xie)漏的(de)(de)(de)(de)(de)自動化(hua)設備，其工(gong)(gong)作(zuo)原理主要(yao)基于以下三個步驟：1.首先將待測(ce)液(ye)(ye)體(ti)放入(ru)被測(ce)試件(jian)(jian)中。然后(hou)啟(qi)動真(zhen)空泵開(kai)始抽氣，vs氦質譜檢漏儀，當容器(qi)內(nei)的(de)(de)(de)(de)(de)壓(ya)力(li)降低到與大氣壓(ya)平衡時(shi)(shi)(shi)(shi)即達(da)(da)到了吸液(ye)(ye)時(shi)(shi)(shi)(shi)間(jian)T1階段(duan)；此(ci)時(shi)(shi)(shi)(shi)打開(kai)進液(ye)(ye)閥向試品(pin)內(nei)注入(ru)已知準確體(ti)積V0的(de)(de)(de)(de)(de)被測(ce)液(ye)(ye)體(ti)至預設充滿度(du)hmax（通常為(wei)95%-98%）。關(guan)閉進液(ye)(ye)閥門和儲液(ye)(ye)器(qi)開(kai)關(guan)后(hou)進入(ru)保壓(ya)試驗(yan)P2階段(duan);經過(guo)一定時(shi)(shi)(shi)(shi)間(jian)的(de)(de)(de)(de)(de)穩態工(gong)(gong)藝過(guo)程(cheng)操(cao)作(zuo)，使含有(you)缺陷的(de)(de)(de)(de)(de)內(nei)藏式盲孔型泄(xie)露(lu)體(ti)的(de)(de)(de)(de)(de)容積逐步縮小(xiao)直(zhi)至完全(quan)封(feng)閉而達(da)(da)到預定的(de)(de)(de)(de)(de)密封(feng)狀態。2.在此(ci)期間(jian)由流量計(ji)(ji)輸出的(de)(de)(de)(de)(de)信號或(huo)計(ji)(ji)算(suan)機(ji)記錄下單位時(shi)(shi)(shi)(shi)間(jian)內(nei)通過(guo)取樣針頭(tou)所(suo)排(pai)出的(de)(de)(de)(de)(de)液(ye)(ye)量ΔV，據(ju)此(ci)計(ji)(ji)算(suan)出平均流速(su)n=ΔV/t(ml/min)。然后(hou)根據(ju)公式ΔP=kπ·d2·Ll(k為(wei)經驗(yan)系數、d為(wei)標準元件(jian)(jian)直(zhi)徑、Pl為(wei)液(ye)(ye)體(ti)密度(du))算(suan)出工(gong)(gong)作(zuo)壓(ya)力(li)差(cha)ΔPb;將上(shang)述數據(ju)及分析結(jie)果送回微機(ji)進行(xing)(xing)數據(ju)處理并顯示曲線圖。如發現有(you)不合(he)格產(chan)品(pin)應(ying)立(li)即停止對該產(chan)品(pin)的(de)(de)(de)(de)(de)處理以保證產(chan)品(pin)質量和維護生產(chan)廠家聲(sheng)譽。3.當對一個工(gong)(gong)位上(shang)的(de)(de)(de)(de)(de)所(suo)有(you)零件(jian)(jian)都進行(xing)(xing)了以上(shang)全(quan)部(bu)工(gong)(gong)序之后(hou)就可以切斷電源開(kai)啟(qi)水霧對著已連接(jie)好的(de)(de)(de)(de)(de)管道(dao)噴(pen)灑清洗即可完成整個加注過(guo)程(cheng)的(de)(de)(de)(de)(de)檢驗(yan)。

氦(hai)(hai)質譜檢(jian)(jian)漏(lou)系(xi)統是一種高靈敏度的(de)泄(xie)(xie)漏(lou)檢(jian)(jian)測(ce)(ce)(ce)設(she)備，其原理基于(yu)帶電粒(li)子在磁場中(zhong)的(de)偏轉以(yi)(yi)及氣體分(fen)子對電磁輻射(she)的(de)吸收。該系(xi)統的(de)部件(jian)是氦(hai)(hai)離子源和質譜儀。當需要檢(jian)(jian)查的(de)對象內部存(cun)在微小(xiao)(xiao)壓力(li)時(shi)，可以(yi)(yi)使用液態惰性氣體作為示蹤劑(ji)（例如：氦(hai)(hai)氣），通(tong)過管道進入待(dai)測(ce)(ce)(ce)對象內并被(bei)稀(xi)釋(shi)到很(hen)低濃度后(hou)從密(mi)封區域中(zhong)逸(yi)出形(xing)成(cheng)一定的(de)背(bei)景(jing)放(fang)散率Rb。此時(shi)可以(yi)(yi)通(tong)過測(ce)(ce)(ce)量總釋(shi)放(fang)量Ra來判(pan)斷泄(xie)(xie)露是否發生，若(ruo)Ra>Rb+ΔR且ΔR足夠小(xiao)(xiao)時(shi)則認為發生了泄(xie)(xie)露[1]。