激(ji)(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)混(hun)合(he)(he)氣(qi)(qi)中(zhong)組分氣(qi)(qi)的(de)(de)(de)(de)(de)純(chun)(chun)(chun)(chun)(chun)度(du)直接(jie)(jie)影響激(ji)(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)的(de)(de)(de)(de)(de)性能，特(te)別(bie)是(shi)氣(qi)(qi)體(ti)中(zhong)氧(yang)(yang)、水、碳(tan)氫化合(he)(he)物等雜質(zhi)的(de)(de)(de)(de)(de)存在將導(dao)致激(ji)(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)輸(shu)出(chu)功率在鏡(面)和電極上的(de)(de)(de)(de)(de)耗損，激(ji)(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)混(hun)合(he)(he)氣(qi)(qi)，還(huan)會(hui)引起激(ji)(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)發(fa)射的(de)(de)(de)(de)(de)不穩定(ding)。 激(ji)(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)混(hun)合(he)(he)氣(qi)(qi)中(zhong)的(de)(de)(de)(de)(de)發(fa)生氣(qi)(qi)體(ti)是(shi)激(ji)(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)發(fa)生器上用(yong)來產生激(ji)(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)的(de)(de)(de)(de)(de)氣(qi)(qi)體(ti)，對(dui)氣(qi)(qi)體(ti)質(zhi)量要求(qiu)高(gao)，激(ji)(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)混(hun)合(he)(he)氣(qi)(qi)配制精度(du)要求(qiu)高(gao)，激(ji)(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)混(hun)合(he)(he)氣(qi)(qi)報價，高(gao)純(chun)(chun)(chun)(chun)(chun)二(er)氧(yang)(yang)化碳(tan)純(chun)(chun)(chun)(chun)(chun)度(du)達99.999%，高(gao)純(chun)(chun)(chun)(chun)(chun)氮(dan)氣(qi)(qi)的(de)(de)(de)(de)(de)純(chun)(chun)(chun)(chun)(chun)度(du)99.999%，高(gao)純(chun)(chun)(chun)(chun)(chun)氦氣(qi)(qi)的(de)(de)(de)(de)(de)純(chun)(chun)(chun)(chun)(chun)度(du)要求(qiu)99.999%，二(er)氧(yang)(yang)化碳(tan)是(shi)產生激(ji)(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)的(de)(de)(de)(de)(de)，氦氣(qi)(qi)是(shi)冷卻激(ji)(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)器的(de)(de)(de)(de)(de)，氮(dan)氣(qi)(qi)是(shi)平衡氣(qi)(qi)體(ti)，氣(qi)(qi)體(ti)中(zhong)的(de)(de)(de)(de)(de)水分、氧(yang)(yang)份、有機氣(qi)(qi)體(ti)雜質(zhi)對(dui)激(ji)(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)機的(de)(de)(de)(de)(de)鏡片(pian)損傷(shang)特(te)別(bie)大，能快速減少鏡片(pian)的(de)(de)(de)(de)(de)壽命。所以激(ji)(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)機對(dui)這些氣(qi)(qi)體(ti)的(de)(de)(de)(de)(de)質(zhi)量要求(qiu)特(te)別(bie)高(gao)。常用(yong)的(de)(de)(de)(de)(de)激(ji)(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)焊接(jie)(jie)保(bao)護氣(qi)(qi)體(ti)主要有N2、Ar、He，其物化性質(zhi)各有差異，也因此對(dui)焊縫的(de)(de)(de)(de)(de)作用(yong)效果(guo)也各不相同(tong)。

Au，Cu，Ba，Sn，Pb，Zn等金屬的(de)蒸汽，都是中(zhong)(zhong)性原子激光的(de)自動介質。它們(men)的(de)蒸汽中(zhong)(zhong)，常混入低(di)壓力的(de)惰性氣體(ti)(ti)，以提(ti)高(gao)放(fang)電效(xiao)率。激光切(qie)割輔(fu)助(zhu)氣體(ti)(ti)主要是干燥空氣、高(gao)純氮(dan)氣或工業氧氣，當切(qie)割不(bu)銹鋼板(ban)或是切(qie)割鋁板(ban)時一般(ban)使(shi)用(yong)高(gao)純氮(dan)氣作為輔(fu)助(zhu)氣體(ti)(ti)，一般(ban)壓力要求比較高(gao)。在激光焊接中(zhong)(zhong)，保護氣體(ti)(ti)會影(ying)響焊縫(feng)成型、焊縫(feng)質量、焊縫(feng)熔深及熔寬，極大多(duo)數情(qing)況下，吹入保護氣體(ti)(ti)會對焊縫(feng)產生積極的(de)影(ying)響作用(yong)，但是也(ye)可(ke)能會帶來不(bu)利的(de)作用(yong)。

氣(qi)體(ti)激(ji)(ji)光(guang)器的(de)重要特點之一，激(ji)(ji)光(guang)工作物(wu)質是混合(he)氣(qi)或單一純氣(qi)體(ti)因此，對激(ji)(ji)光(guang)混合(he)氣(qi)組分的(de)純度有(you)著特殊要求(qiu)，包裝(zhuang)混合(he)氣(qi)的(de)鋼瓶(ping)，充裝(zhuang)前也必須進行(xing)干燥處理，防止污染混合(he)氣(qi)。如(ru)(ru)果將氦（He）氖（Ne）激(ji)(ji)光(guang)作為(wei)代氣(qi)體(ti)激(ji)(ji)光(guang)，二氧化碳激(ji)(ji)光(guang)混合(he)氣(qi)體(ti)是第(di)(di)二代氣(qi)體(ti)激(ji)(ji)光(guang)，在半(ban)導體(ti)制造領域將大量(liang)使用(yong)的(de)氟化氪（KrF）激(ji)(ji)光(guang)，激(ji)(ji)光(guang)混合(he)氣(qi)批發(fa)，可稱(cheng)為(wei)第(di)(di)三代激(ji)(ji)光(guang)。一方面(mian)氬(ya)激(ji)(ji)光(guang)很少見(jian)，另一方面(mian)為(wei)了便于稱(cheng)號，高(gao)純激(ji)(ji)光(guang)混合(he)氣(qi)，人(ren)們常將氬(ya)離(li)(li)子(zi)激(ji)(ji)光(guang)簡(jian)稱(cheng)為(wei)氬(ya)激(ji)(ji)光(guang)。不光(guang)中文敘說如(ru)(ru)此，英文文獻(xian)亦見(jian)此用(yong)法(fa)，所以在不致混雜(za)的(de)時候，仍可用(yong)氬(ya)激(ji)(ji)光(guang)稱(cheng)號氬(ya)離(li)(li)子(zi)激(ji)(ji)光(guang)。