氦(hai)質譜檢(jian)(jian)(jian)漏(lou)儀用(yong)于對容(rong)器(qi)或器(qi)件的(de)(de)密(mi)(mi)封(feng)性進行(xing)檢(jian)(jian)(jian)測，對被檢(jian)(jian)(jian)件泄漏(lou)點進行(xing)定性、定量(liang)和定位的(de)(de)檢(jian)(jian)(jian)測。儀器(qi)利用(yong)內(nei)置的(de)(de)真空(kong)系統，將被檢(jian)(jian)(jian)氣(qi)體(ti)抽入到儀器(qi)內(nei)部，然后(hou)將該(gai)混合氣(qi)體(ti)離化，并將離子(zi)加(jia)速送入磁場當中，利用(yong)帶(dai)電離子(zi)在磁場中的(de)(de)偏轉效(xiao)應，使氦(hai)離子(zi)與其(qi)它離子(zi)分離，通過(guo)對此氦(hai)離子(zi)信號(hao)的(de)(de)接收、放大和顯(xian)示，從而反(fan)映出(chu)被測器(qi)件的(de)(de)密(mi)(mi)封(feng)性。

氦(hai)(hai)質譜(pu)(pu)檢(jian)(jian)(jian)漏儀(yi)(yi)使用氦(hai)(hai)氣(qi)(qi)作為示蹤氣(qi)(qi)體，氦(hai)(hai)是(shi)單原子(zi)稀(xi)有氣(qi)(qi)體分子(zi)，在空(kong)氣(qi)(qi)中的含量(liang)(liang)(5.2ppm)， 無色、無味，常溫下為氣(qi)(qi)態(tai)的惰性(xing)氣(qi)(qi)體，極(ji)不(bu)活潑，既不(bu)能燃燒，也不(bu)助(zhu)燃，化(hua)學性(xing)能穩(wen)定(ding)。在檢(jian)(jian)(jian)測(ce)器件(jian)的密封性(xing)能時，遇到器件(jian)大漏時，有大量(liang)(liang)的氦(hai)(hai)氣(qi)(qi)進入氦(hai)(hai)質譜(pu)(pu)檢(jian)(jian)(jian)漏儀(yi)(yi)，短時間內(nei)儀(yi)(yi)器內(nei)部(bu)氦(hai)(hai)氣(qi)(qi)難以清除，造(zao)成儀(yi)(yi)器的本底升高，汽車行業(ye)檢(jian)(jian)(jian)漏公司，儀(yi)(yi)器的檢(jian)(jian)(jian)測(ce)靈敏度(du)降低(di)，影響(xiang)儀(yi)(yi)器的再次檢(jian)(jian)(jian)測(ce)精度(du)。

氦質(zhi)譜檢(jian)漏(lou)儀的(de)(de)(de)檢(jian)漏(lou)率(lv)應(ying)高(gao)于(yu)設(she)備所(suo)允許漏(lou)率(lv)1-2個(ge)數量級。首(shou)先(xian)將(jiang)設(she)備穩固(gu)的(de)(de)(de)置(zhi)于(yu)明(ming)亮、透風(feng)良(liang)好(hao)的(de)(de)(de)場所(suo)，連接(jie)好(hao)檢(jian)漏(lou)用(yong)管(guan)路(lu)及壓力(li)表(biao)，應(ying)將(jiang)壓力(li)表(biao)安裝在測(ce)漏(lou)容器的(de)(de)(de)頂部便(bian)于(yu)觀察(cha)的(de)(de)(de)位置(zhi)。于(yu)氦檢(jian)是通過氦穿過漏(lou)孔來檢(jian)漏(lou)的(de)(de)(de)，所(suo)以焊縫(feng)表(biao)面若存有(you)(you)油污、 焊渣以及設(she)備內(nei)(nei)部的(de)(de)(de)積(ji)水、污垢等都會使泄漏(lou)孔暫時阻塞而影響檢(jian)測(ce)結(jie)果(guo)，因此，測(ce)試前必須設(she)備內(nei)(nei)部清理(li)干凈及焊縫(feng)表(biao)面并用(yong)熱風(feng)裝置(zhi)將(jiang)設(she)備內(nei)(nei)部干燥。可(ke)先(xian)用(yong)氮氣(qi)或其(qi)它惰(duo)性氣(qi)體將(jiang)設(she)備壓力(li)提高(gao)， 然后用(yong)純氦氣(qi)或氦氣(qi)混合氣(qi)把測(ce)試設(she)備的(de)(de)(de)內(nei)(nei)壓增(zeng)加至測(ce)試壓力(li)且(qie) 應(ying)使設(she)備內(nei)(nei)部至少(shao)含(han)有(you)(you)10%-20%的(de)(de)(de)氦氣(qi)含(han)量。