目前，國內共有特種氣體生產企業達150余家，多數企業生產規模較小。跨國企業已經在國內投資設立了眾多合資或獨資的氣體公司，占國內銷售氣體產品市場份額的70%左右。硅片的蝕刻氣體（特種氣體）主要是氟基氣體，包括四氟化碳、四氟化碳/氧氣、六氟化硫、六氟乙1烷/氧氣、三氟化氮等。有氣體倉庫貯存。氣瓶倉庫應通風干燥、清潔， 避免陽光直射， 氣瓶庫應清楚明“氣瓶貯存”字樣，鄭州特種氣體， 顯示適當的危險標記(例如、、有毒等) 。

特種(zhong)氣(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)使用的(de)封閉式(shi)氣(qi)(qi)(qi)(qi)瓶(ping)放置與管(guan)理設(she)備，特種(zhong)氣(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)廠家(jia)(jia)，一(yi)般應配置減壓(ya)裝置、真空發(fa)生(sheng)器、、緊急切斷閥、過流開關、風壓(ya)事(shi)故(gu)報警、、壓(ya)力監測及報警等安全(quan)使用所必(bi)須的(de)設(she)施(shi)。排風管(guan)配置泄漏探頭。氣(qi)(qi)(qi)(qi)瓶(ping)柜有手(shou)動(dong)(dong)、半(ban)自動(dong)(dong)、全(quan)自動(dong)(dong)三類(lei)。目前，國(guo)(guo)(guo)內共有特種(zhong)氣(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)生(sheng)產企業達(da)150余家(jia)(jia)，多數企業生(sheng)產規模較小(xiao)。跨國(guo)(guo)(guo)企業已(yi)經在國(guo)(guo)(guo)內投(tou)資(zi)設(she)立了(le)眾多合資(zi)或(huo)獨資(zi)的(de)氣(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)公(gong)司，特種(zhong)氣(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)公(gong)司，占國(guo)(guo)(guo)內銷售氣(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)產品市場份(fen)額(e)的(de)70%左右。硅片的(de)蝕(shi)刻氣(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)（特種(zhong)氣(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)）主要是氟(fu)(fu)基氣(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)，特種(zhong)氣(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)價格(ge)，包括四氟(fu)(fu)化(hua)(hua)碳、四氟(fu)(fu)化(hua)(hua)碳/氧(yang)氣(qi)(qi)(qi)(qi)、六氟(fu)(fu)化(hua)(hua)硫、六氟(fu)(fu)乙1烷/氧(yang)氣(qi)(qi)(qi)(qi)、三氟(fu)(fu)化(hua)(hua)氮等。

特種氣(qi)體的(de)儲存(cun)注意事項：根據(ju)儲存(cun)的(de)氣(qi)體類型設置(zhi)標牌，如“嚴(yan)禁明火”、“危險”、“禁止入內(nei)”等(deng)等(deng)。并(bing)配置(zhi)消防(fang)器材、噴(pen)淋系統、吸(xi)收劑(ji)、中和劑(ji)、防(fang)毒面具、空氣(qi)呼吸(xi)器等(deng)設施(shi)。滅(mie)菌(jun)特種氣(qi)體可(ke)(ke)殺滅(mie)細(xi)菌(jun)（及(ji)其內(nei)孢子(zi)）、霉菌(jun)及(ji)真(zhen)菌(jun)，因(yin)此可(ke)(ke)用(yong)于(yu)消毒一些不能(neng)(neng)耐受高溫(wen)消毒的(de)物品。特種氣(qi)體在太陽(yang)能(neng)(neng)電池中的(de)應用(yong)：非晶(jing)(jing)硅太陽(yang)能(neng)(neng) 電池在 LPCVD 沉(chen)積 TCO 工序(xu)用(yong)到(dao) DEZn、B2H6；非晶(jing)(jing)/微晶(jing)(jing)硅沉(chen)積工序(xu)用(yong)到(dao) SiH4、PH3/H2、 TMB/H2、CH4、NF3 等(deng)。