石(shi)英撓性(xing)加速(su)度(du)(du)計的(de)(de)(de)(de)(de)(de)種(zhong)類(lei)(lei)(lei)主要可以從其應(ying)用(yong)(yong)(yong)場合、測(ce)量(liang)軸數(shu)以及性(xing)能(neng)指標等(deng)(deng)角度(du)(du)進(jin)行劃分。首先(xian)，從應(ying)用(yong)(yong)(yong)場合來看(kan)，**石(shi)英撓性(xing)加速(su)度(du)(du)計分為(wei)船用(yong)(yong)(yong)型**（特(te)別(bie)(bie)是水下使用(yong)(yong)(yong)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)高(gao)精度(du)(du)型號(hao)）、航空(kong)航天型和(he)車(che)載類(lei)(lei)(lei)等(deng)(deng)。**不(bu)同種(zhong)類(lei)(lei)(lei)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)產品針(zhen)對各自(zi)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)使用(yong)(yong)(yong)環境進(jin)行了優(you)化**，例如用(yong)(yong)(yong)于(yu)航空(kong)航天的(de)(de)(de)(de)(de)(de)類(lei)(lei)(lei)型可能(neng)更強調(diao)量(liang)程和(he)輕(qing)量(liang)化設計；而(er)應(ying)用(yong)(yong)(yong)于(yu)船舶的(de)(de)(de)(de)(de)(de)類(lei)(lei)(lei)型則(ze)更注(zhu)重長(chang)期運行穩定性(xing)和(he)高(gao)精度(du)(du)要求(qiu)。此外(wai)，還有專(zhuan)門針(zhen)對不(bu)同領域需(xu)求(qiu)設計的(de)(de)(de)(de)(de)(de)定制版本(ben)如石(shi)油(you)測(ce)井用(yong)(yong)(yong)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)測(ce)斜探管(guan)中(zhong)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)特(te)殊版本(ben)等(deng)(deng)等(deng)(deng)。其次(ci)按照(zhao)測(ce)量(liang)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)自(zi)由度(du)(du)分，可以分為(wei)單軸的(de)(de)(de)(de)(de)(de)傳感(gan)(gan)器(qi)(qi)和(he)雙軸甚至三軸的(de)(de)(de)(de)(de)(de)傳感(gan)(gan)器(qi)(qi)類(lei)(lei)(lei)別(bie)(bie)不(bu)等(deng)(deng)以滿足不(bu)同的(de)(de)(de)(de)(de)(de)動(dong)態(tai)響應(ying)特(te)性(xing)及空(kong)間方向(xiang)上的(de)(de)(de)(de)(de)(de)復雜檢測(ce)任(ren)務需(xu)求(qiu)。。在結(jie)構上它們均(jun)采(cai)用(yong)(yong)(yong)了變距(ju)離差(cha)動(dong)電(dian)容式傳感(gan)(gan)器(qi)(qi)和(he)整體式的(de)(de)(de)(de)(de)(de)圓(yuan)舌形(xing)(xing)或者其它形(xing)(xing)狀的(de)(de)(de)(de)(de)(de)石(shi)英擺片作(zuo)為(wei)敏感(gan)(gan)元件來感(gan)(gan)知外(wai)界的(de)(de)(de)(de)(de)(de)振動(dong)或運動(dong)狀態(tai)變化并轉(zhuan)化為(wei)相應(ying)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)電(dian)信(xin)號(hao)輸出供后續電(dian)路處理分析之用(yong)(yong)(yong).根據性(xing)能(neng)指標的(de)(de)(de)(de)(de)(de)不(bu)同還可以將其劃分為(wei)高(gao)精度(du)(du)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)低(di)誤差(cha)范圍小于(yu)10(-4)m/s^2及以下級別(bie)(bie)與中(zhong)等(deng)(deng)精度(du)(du)乃(nai)至較低(di)等(deng)(deng)級別(bie)(bie)等(deng)(deng)幾個(ge)層次(ci)以適應(ying)各類(lei)(lei)(lei)用(yong)(yong)(yong)戶的(de)(de)(de)(de)(de)(de)具體應(ying)用(yong)(yong)(yong)場景需(xu)要.。

石英(ying)(ying)(ying)(ying)撓性(xing)加速(su)(su)度(du)(du)(du)計是一種基(ji)于石英(ying)(ying)(ying)(ying)材(cai)料撓性(xing)結構(gou)和(he)慣性(xing)原(yuan)理(li)的高精度(du)(du)(du)加速(su)(su)度(du)(du)(du)傳(chuan)(chuan)感(gan)(gan)器(qi)，其測量(liang)過程(cheng)可分為以(yi)下步驟：###一、結構(gou)與工作原(yuan)理(li)1.**撓性(xing)擺組件**：由石英(ying)(ying)(ying)(ying)玻璃制(zhi)(zhi)成(cheng)(cheng)的雙擺結構(gou)組成(cheng)(cheng)，包含檢(jian)(jian)測質量(liang)塊(kuai)和(he)撓性(xing)支撐梁。石英(ying)(ying)(ying)(ying)材(cai)料具有(you)(you)低熱(re)(re)膨脹系數(shu)(shu)和(he)高彈性(xing)特性(xing)。2.**差動(dong)電(dian)(dian)容(rong)檢(jian)(jian)測**：質量(liang)塊(kuai)兩(liang)側對稱(cheng)布置電(dian)(dian)容(rong)極(ji)板(ban)，單(dan)軸石英(ying)(ying)(ying)(ying)擾性(xing)加速(su)(su)度(du)(du)(du)傳(chuan)(chuan)感(gan)(gan)器(qi)批發，構(gou)成(cheng)(cheng)差動(dong)電(dian)(dian)容(rong)傳(chuan)(chuan)感(gan)(gan)器(qi)，間距(ju)約(yue)10-50μm。3.**閉(bi)環(huan)(huan)反(fan)饋(kui)系統**：通過靜電(dian)(dian)力(li)(li)或(huo)電(dian)(dian)磁力(li)(li)實現(xian)力(li)(li)平衡(heng)控(kong)制(zhi)(zhi)，保持質量(liang)塊(kuai)動(dong)態(tai)平衡(heng)。###二、動(dong)態(tai)測量(liang)流程(cheng)1.**加速(su)(su)度(du)(du)(du)輸(shu)入**：外部(bu)加速(su)(su)度(du)(du)(du)作用于傳(chuan)(chuan)感(gan)(gan)器(qi)時(shi)，檢(jian)(jian)測質量(liang)塊(kuai)因(yin)慣性(xing)力(li)(li)產(chan)生位移。2.**電(dian)(dian)容(rong)變化(hua)檢(jian)(jian)測**：質量(liang)塊(kuai)位移導致兩(liang)側電(dian)(dian)容(rong)差值變化(hua)（典(dian)型靈敏度(du)(du)(du)0.1pF/g）。3.**信(xin)號轉(zhuan)換**：電(dian)(dian)容(rong)變化(hua)經(jing)調(diao)制(zhi)(zhi)解調(diao)電(dian)(dian)路轉(zhuan)換為電(dian)(dian)壓信(xin)號（常用載(zai)波頻率1-10kHz）。4.**閉(bi)環(huan)(huan)反(fan)饋(kui)控(kong)制(zhi)(zhi)**：輸(shu)出(chu)信(xin)號經(jing)PID控(kong)制(zhi)(zhi)器(qi)生成(cheng)(cheng)反(fan)饋(kui)電(dian)(dian)流（典(dian)型范圍±10mA），石英(ying)(ying)(ying)(ying)擾性(xing)加速(su)(su)度(du)(du)(du)傳(chuan)(chuan)感(gan)(gan)器(qi)，驅動(dong)力(li)(li)矩(ju)器(qi)產(chan)生平衡(heng)力(li)(li)。5.**數(shu)(shu)據輸(shu)出(chu)**：反(fan)饋(kui)電(dian)(dian)流值與加速(su)(su)度(du)(du)(du)成(cheng)(cheng)線性(xing)關系（標準輸(shu)出(chu)±5V或(huo)4-20mA），經(jing)AD轉(zhuan)換輸(shu)出(chu)數(shu)(shu)字(zi)信(xin)號。###三(san)、關鍵技術特性(xing)-**靈敏度(du)(du)(du)**：可達10^-5g量(liang)級（0.1mg分辨率）-**帶寬**：0-100Hz（可通過阻尼調(diao)節）-**溫度(du)(du)(du)補(bu)償(chang)**：內(nei)置熱(re)(re)敏電(dian)(dian)阻網絡，補(bu)償(chang)范圍-40℃~85℃-**交叉耦合誤(wu)差**：###四、應(ying)用校準要點1.需在精密(mi)離(li)心機或(huo)重力(li)(li)場翻(fan)轉(zhuan)裝置中進行(xing)標定2.六位置法校準（±X/Y/Z軸向(xiang)）3.二次非線性(xing)誤(wu)差補(bu)償(chang)（典(dian)型值該傳(chuan)(chuan)感(gan)(gan)器(qi)通過力(li)(li)平衡(heng)原(yuan)理(li)實現(xian)10^-6g量(liang)級精度(du)(du)(du)，在戰略制(zhi)(zhi)導、航天器(qi)姿態(tai)控(kong)制(zhi)(zhi)等場景具有(you)(you)性(xing)，其抗(kang)沖擊能力(li)(li)可達1000g以(yi)上，單(dan)軸石英(ying)(ying)(ying)(ying)擾性(xing)加速(su)(su)度(du)(du)(du)傳(chuan)(chuan)感(gan)(gan)器(qi)，MTBF超過50，000小時(shi)。

石(shi)(shi)英(ying)(ying)撓性(xing)加(jia)速(su)度(du)(du)計(ji)是一種廣泛應用(yong)于(yu)現代慣性(xing)系(xi)統中的(de)(de)(de)(de)傳(chuan)感器，三軸石(shi)(shi)英(ying)(ying)擾性(xing)加(jia)速(su)度(du)(du)傳(chuan)感器，其測(ce)量范(fan)圍(wei)根據(ju)(ju)具體(ti)型號和(he)應用(yong)需求有所不(bu)同。一般而(er)言，這種加(jia)速(su)度(du)(du)計(ji)的(de)(de)(de)(de)測(ce)量范(fan)圍(wei)可以(yi)覆(fu)蓋從(cong)較(jiao)低(di)值(zhi)到較(jiao)高(gao)值(zhi)的(de)(de)(de)(de)廣泛區間：*某些(xie)型號的(de)(de)(de)(de)石(shi)(shi)英(ying)(ying)撓性(xing)加(jia)速(su)度(du)(du)計(ji)較(jiao)適用(yong)于(yu)低(di)量程的(de)(de)(de)(de)測(ce)量任(ren)務(wu)。**例如CX-3型**，它的(de)(de)(de)(de)典型測(ce)量范(fan)圍(wei)為±5g（重(zhong)(zhong)力加(jia)速(su)度(du)(du)單位(wei)），這種類型的(de)(de)(de)(de)設備在(zai)需要高(gao)精度(du)(du)測(ce)量的(de)(de)(de)(de)場合非常有用(yong)；同時也有提供(gong)如±20g、±40g等(deng)中間范(fan)圍(wei)的(de)(de)(de)(de)選項可供(gong)選擇。*其他一些(xie)特(te)殊設計(ji)的(de)(de)(de)(de)或的(de)(de)(de)(de)石(shi)(shi)英(ying)(ying)撓性(xing)加(jia)速(su)度(du)(du)計(ji)則(ze)能夠(gou)應對更高(gao)量級的(de)(de)(de)(de)輸入**高(gao)至(zhi)65個重(zhong)(zhong)力加(jia)速(su)度(du)(du)單位(wei)或以(yi)上**，這使得(de)它們(men)成為在(zai)高(gao)動態環境中進行導(dao)航和(he)制導(dao)的(de)(de)(de)(de)理(li)想選擇。此外(wai)還提供(gong)了正負號表示方向性(xing)的(de)(de)(de)(de)變化(hua)能力。總體(ti)而(er)言，在(zai)選擇具體(ti)的(de)(de)(de)(de)設備時應該(gai)根據(ju)(ju)實(shi)際的(de)(de)(de)(de)應用(yong)場景和(he)要求來確(que)(que)定(ding)合適的(de)(de)(de)(de)參數(shu)配置以(yi)確(que)(que)保(bao)佳(jia)的(de)(de)(de)(de)測(ce)量結果和(he)使用(yong)效果;同時還要考(kao)慮(lv)到諸如精度(du)(du)穩定(ding)性(xing)工(gong)作(zuo)環境溫度(du)(du)以(yi)及(ji)功(gong)耗等(deng)因素的(de)(de)(de)(de)綜合影響以(yi)做出更加(jia)合理(li)的(de)(de)(de)(de)決(jue)策依據(ju)(ju).