對檢(jian)漏(lou)方法的(de)要求：穩定(ding)性好(hao)，即(ji)可(ke)以(yi)在足夠長時間內靈敏度；所用“示蹤氣體”在空(kong)(kong)氣中含量低，***，不腐蝕零件；氦質(zhi)譜檢(jian)漏(lou)主(zhu)要領域：空(kong)(kong)調(diao)制冷工(gong)業(ye)——壓縮機(ji)、冷凝器(qi)、蒸發器(qi)及閥門等；真空(kong)(kong)科學與工(gong)業(ye)——泵、閥門、真空(kong)(kong)規管以(yi)及鍍膜機(ji)、真空(kong)(kong)爐等真空(kong)(kong)系統；對于容積較小(xiao)的(de)部(bu)件，如波紋(wen)管、各種(zhong)充氣接頭和氣管焊接件等，采用氦罩法被檢(jian)工(gong)件抽空(kong)(kong)，檢(jian)漏(lou)儀調(diao)到漏(lou)率（10-11Pa.m3/s），然后對氦罩沖氦。

氦質譜(pu)檢漏(lou)儀(yi)是如何(he)工作(zuo)(zuo)的(de)?氦質譜(pu)檢漏(lou)儀(yi)由離子(zi)(zi)源、分析(xi)器、、真空系統、電(dian)子(zi)(zi)線路及其(qi)他(ta)電(dian)氣部分組成。為了方便解(jie)釋(shi)氦質譜(pu)檢漏(lou)儀(yi)是如何(he)工作(zuo)(zuo)的(de)，我們以磁(ci)偏轉型的(de)氦質譜(pu)檢漏(lou)儀(yi)為例進行(xing)(xing)說明(ming)。在質譜(pu)室的(de)離子(zi)(zi)源N內(nei)，氣體被電(dian)離成離子(zi)(zi)。在電(dian)場(chang)(chang)作(zuo)(zuo)用(yong)下(xia)離子(zi)(zi)聚焦成東，并以-定的(de)速度(du)經由縫隙S1進入(ru)磁(ci)分析(xi)器，在均勻磁(ci)場(chang)(chang)的(de)作(zuo)(zuo)用(yong)下(xia)，具(ju)有-定速度(du)的(de)離子(zi)(zi)束，將按圓(yuan)形(xing)軌跡(ji)運動。調節加速電(dian)壓(ya)U使(shi)氦離子(zi)(zi)束M z恰能通過縫隙S2到(dao)達收集極K而(er)形(xing)成離子(zi)(zi)流。利(li)用(yong)弱電(dian)流量測(ce)設備，汽(qi)車行(xing)(xing)業檢漏(lou)廠(chang)，使(shi)之在輸(shu)出(chu)儀(yi)表與音(yin)響(xiang)裝置上反映(ying)出(chu)來。而(er)其(qi)他(ta)不同于M2的(de)離子(zi)(zi)束則以不同的(de)偏轉半徑而(er)被分開(kai)。

對檢(jian)漏(lou)方法的要求：能(neng)定位(wei)、定量，即(ji)不經(jing)能(neng)夠找出漏(lou)孔的位(wei)置(zhi)，還能(neng)知道(dao)漏(lou)率的大小，以(yi)便確定是否合乎質(zhi)量要求；能(neng)無損(sun)檢(jian)漏(lou)，不使被(bei)檢(jian)設備受到損(sun)傷和污染；氦質(zhi)譜(pu)檢(jian)漏(lou)主要領(ling)域：空(kong)調制冷(leng)工(gong)業(ye)——壓縮機、冷(leng)凝(ning)器、蒸發(fa)器及(ji)閥門等；真(zhen)空(kong)科學與工(gong)業(ye)——泵、閥門、真(zhen)空(kong)規(gui)管以(yi)及(ji)鍍膜機、真(zhen)空(kong)爐等真(zhen)空(kong)系統；檢(jian)漏(lou)的方式是：鏈接被(bei)檢(jian)化工(gong)管道(dao)和真(zhen)空(kong)泵組以(yi)及(ji)氦質(zhi)譜(pu)檢(jian)漏(lou)儀，用(yong)真(zhen)空(kong)泵組把管道(dao)抽真(zhen)空(kong)，達到一定真(zhen)空(kong)度。