超(chao)純金屬(shu)的(de)(de)檢(jian)測方(fang)法極為困難。痕量元素(su)的(de)(de)化學分(fen)(fen)析(xi)(xi)系指(zhi)一克樣品中(zhong)(zhong)含有微克級（10克/克）、毫微克級（10克/克）、微微克級（10克/克）雜質的(de)(de)確(que)定。常用的(de)(de)手(shou)段有中(zhong)(zhong)子和帶(dai)電粒子活(huo)化分(fen)(fen)析(xi)(xi)，原(yuan)子吸(xi)收光(guang)譜(pu)分(fen)(fen)析(xi)(xi)，熒(ying)光(guang)分(fen)(fen)光(guang)光(guang)度分(fen)(fen)析(xi)(xi)，純銀(yin)導(dao)電輥(gun)廠家(jia)，質譜(pu)分(fen)(fen)析(xi)(xi)，化學光(guang)譜(pu)分(fen)(fen)析(xi)(xi)及氣體(ti)(ti)分(fen)(fen)析(xi)(xi)等(deng)。在單(dan)晶(jing)(jing)體(ti)(ti)高純材(cai)料中(zhong)(zhong)，晶(jing)(jing)體(ti)(ti)缺陷對材(cai)料性(xing)能起顯著影(ying)響，稱為物理雜質，主要依(yi)靠在晶(jing)(jing)體(ti)(ti)生長過(guo)程中(zhong)(zhong)控制單(dan)晶(jing)(jing)平(ping)穩均(jun)勻(yun)的(de)(de)生長來(lai)減少(shao)晶(jing)(jing)體(ti)(ti)缺陷。

什(shen)么是靶(ba)材綁定？靶(ba)材綁定的(de)適(shi)用范圍、流程？

?綁定是(shi)指用焊(han)料(liao)將(jiang)靶(ba)材與(yu)背靶(ba)焊(han)接起來。主要(yao)有三種的(de)方式：壓(ya)接、釬焊(han)和導電膠。

?1.壓接：采用壓條，純(chun)銀(yin)導(dao)電輥哪家好(hao)(hao)，一般為(wei)了提高接觸的良(liang)好(hao)(hao)性(xing)，會增加石墨(mo)紙、Pb或In皮；

?2.釬焊(han)：一般使(shi)用軟釬料(liao)的情(qing)況下(xia)，要(yao)求濺(jian)射(she)功率小(xiao)于20W/cm2，釬料(liao)常用In、Sn、In-Sn；我司采用銦(yin)焊(han)綁定技術。

?3.導(dao)電(dian)膠：采用(yong)的導(dao)電(dian)膠要耐高溫(wen)，厚度在0.02-0.05um。

濺(jian)射(she)技(ji)術：濺(jian)射(she)是制(zhi)備(bei)薄膜(mo)材(cai)(cai)料的(de)主要技(ji)術之一，朝陽(yang)純銀導(dao)(dao)(dao)電(dian)輥，它利用離(li)子(zi)源產生的(de)離(li)子(zi)，在真空中經過加速聚集(ji)，而形(xing)成高速度能(neng)的(de)離(li)子(zi)束流，純銀導(dao)(dao)(dao)電(dian)輥加工，轟擊固(gu)體(ti)(ti)表(biao)面，離(li)子(zi)和固(gu)體(ti)(ti)表(biao)面原(yuan)子(zi)發生動能(neng)交(jiao)換，使固(gu)體(ti)(ti)表(biao)面的(de)原(yuan)子(zi)離(li)開固(gu)體(ti)(ti)并沉積在基底表(biao)面，被轟擊的(de)固(gu)體(ti)(ti)是制(zhi)備(bei)濺(jian)射(she)法沉積薄膜(mo)的(de)原(yuan)材(cai)(cai)料，稱(cheng)為濺(jian)射(she)靶(ba)材(cai)(cai)。各種類型的(de)濺(jian)射(she)薄膜(mo)材(cai)(cai)料無論在半導(dao)(dao)(dao)體(ti)(ti)集(ji)成電(dian)路、太(tai)陽(yang)能(neng)光(guang)伏、記錄介質、平面顯示以及工件表(biao)面涂層等方面都得到了(le)廣泛的(de)應(ying)用。